专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]热控制得到改进的基于MEMS的空间光调制器-CN202280013767.0在审
  • 亚历山大·佩恩;格雷戈里·雅各布 - 硅光机电股份有限公司
  • 2022-02-04 - 2023-10-03 - G02B26/08
  • 描述了基于微机电系统(MEMS)的空间光调制器(SLM),这些空间光调制器封闭在填充有气体的封装体中以提高SLM的可靠性和寿命,并且描述了在各种应用中操作这些空间光调制器的方法。通常,SLM包括多个MEMS调制器,每个调制器包括多个光反射表面,至少一个光反射表面耦合到悬置在衬底上方的可静电偏转元件,并且每个调制器适于反射并调制入射在其上的光束。封闭SLM的封装体包括光学透明盖,反射表面通过该光学透明盖暴露于光束,并且空腔填充有低摩尔质量填充气体,该低摩尔质量填充气体具有二或更小的原子序数和大于100mW/(m.K)的热导率。SLM可以包括悬置在衬底上方的可静电偏转带、或者二维MEMS调制器的线性阵列。
  • 控制得到改进基于mems空间调制器

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