专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种基于铌酸锂薄膜材料的反射式光学电场传感器-CN202310352931.7在审
  • 谢树果;杨燕;田雨墨;郭子贤;张申达 - 北京航空航天大学
  • 2023-04-04 - 2023-07-25 - G02B6/124
  • 本发明涉及一种基于铌酸锂薄膜材料的反射式光学电场传感器,采用铌酸锂薄膜材料作为传感器基体,并在所述铌酸锂薄膜材料上沿光路传播方向依次刻蚀形成渐变耦合结构、偏振选择结构、反射式MZ电光调制器、宽带高增益电极、天线结构,所述反射式MZ电光调制器仅包括一个Y分支光波导,并在Y分支光波导的平行波导臂上设置布拉格反射光栅;通过对传感器输入激光信号,可以将电场信号调制在激光上,并利用长光纤对调制后的激光进行传输;后端再通过光电探测器进行解调并送入接收机中进行测量,可以得到待测电场信息。该传感器结构简单,节省输出光纤,尺寸小,灵敏度高,干扰小,电场测量结果准确,测量可重复性高。
  • 一种基于铌酸锂薄膜材料反射光学电场传感器
  • [发明专利]基于铬掩膜的铌酸锂薄膜亚微米线宽脊型光波导制备方法-CN202210453489.2有效
  • 谢树果;田雨墨;杨燕 - 北京航空航天大学
  • 2022-04-27 - 2023-01-24 - G02B6/13
  • 本发明公开了一种基于铬掩膜的铌酸锂薄膜亚微米线宽脊型光波导制备方法,包括以下步骤:获取待加工的铌酸锂薄膜样品;使用电子束蒸发镀膜系统在所述铌酸锂薄膜样品表面沉积铝膜,在铝膜表面旋涂光刻胶,用电子束曝光光刻机将掩膜图案刻在样品上;将样品放置于显影液中进行显影,用电子束蒸发镀膜系统在样品表面沉积铬膜;将样品放入剥离液中,去除光刻胶,留下铬掩膜图形;利用电感耦合等离子体对样品进行刻蚀,得到铌酸锂薄膜亚微米线宽脊型光波导。该方法可以制备获得亚微米级线宽的脊型光波导,且光波导的侧壁垂直度高,基于此工艺加工的铌酸锂光波导器件体积小,易集成,具有良好的光约束条件。
  • 基于铬掩膜铌酸锂薄膜微米线宽脊型光波导制备方法

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