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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]等离子体处理装置-CN202210942522.8在审
发明人： 田村智洋 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明的实施方式提供一种能用同一装置来执行对基板的中央部的处理和对外缘部的处理的等离子体处理装置。实施方式的等离子体处理装置在下部电极与上部电极之间产生等离子体，并具有处理台、中央顶板、外周顶板和驱动机构。处理台与下部电极电连接并具有载置作为处理对象的基板的载置面。中央顶板与上部电极电连接并具有与载置面相面对的中央面。外周顶板与上部电极电连接，并具有与载置面相面对且设置成围绕中央面的外周的外周面。驱动机构使中央顶板和外周顶板相对地位移。
等离子体处理装置

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