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[发明专利]一种半导体制造的尾气回收系统-CN202111613293.7有效
发明人：朱俭;李兰 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： F28D9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造的尾气回收系统，包括，换热机构，用于与尾气接触进行热量交换收集热量，尾气分化加速机构，设置在换热机构之间，并用于将尾气分隔压缩加速喷射与换热机构接触进行热量交换，换热机构包括集热结构和换热板，分化压缩结构设置在尾气管道上并设置在相邻两个换热板之间，本发明通过分化压缩结构对尾气进行分隔运输并压缩处理对尾气进行加压，使得加压后的尾气对换热板表面形成冲击，通过尾气产生的冲击避免尾气中含有的颗粒杂质粘附在换热板表面造成热交换效率下降导致热能浪费的问题，其次通过通气保障结构对尾气加压通过的路径进行疏通，保证尾气热量回收处理过程的持续进行，提高了尾气的回收处理效率。
一种半导体制造尾气回收系统

[发明专利]一种半导体刻蚀液的金属回收系统-CN202111667220.6有效
发明人：朱俭;李兰;李文涛 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C25C7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体刻蚀液的金属回收系统，包括电解装置，用于对半导体刻蚀液进行电解，电解装置具有阴极板，电解装置通过电解反应将半导体刻蚀液中的铜离子形成附着在阴极板上的电解铜粉，重量检测及控制装置，用于检测阴极板的重量，以判断更换阴极板的时刻，铜粉回收装置，用于对阴极板进行回收，铜粉回收装置与重量检测及控制装置电性连接，阴极板因电解铜粉的附着而达到设定重量时，重量检测及控制装置控制铜粉回收装置对阴极板进行回收，通过重量检测及控制装置对电解装置的阴极板的重量进行检测，以判断铜粉回收装置需要对阴极板进行回收的时刻，避免了人工从电解装置中取出阴极板不便和不及时的弊端。
一种半导体刻蚀金属回收系统

[发明专利]一种内部气流自调节型洁净系统及气流调节方法-CN202111420655.0有效
发明人：朱俭;李兰;王振;龚春东 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： F24F8/108 文献下载
摘要：本发明公开了一种内部气流自调节型洁净系统及气流调节方法，包括与控制系统连接的红外识别系统、外空气通入管道、内空气排出管道以及内循环管道，控制系统内设有洁净室的俯视二维基准图，且控制系统基于红外识别系统的监控结果计算俯视二维基准图内不同位置的人群分布密度以及俯视二维基准图内的人群分布总量；控制系统基于人群分布密度调控外空气通入管道和内空气排出管道的进气和出气方向，以实现对人群的定位追踪式净化和供氧；控制系统基于人群分布总量调控外空气通入管道、内空气排出管道以及内循环管道的工作方式，以按照供氧模式或自净化模式进行工作；本发明通过人群定向追踪方式将洁净室的空气流向始终朝向人群密集分布位置。
一种内部气流调节洁净系统方法

[实用新型]一种化学品用回收装置-CN202222078454.3有效
发明人：李兰;朱俭;黄荣华;龚春东;李文涛 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B08B9/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学品用回收技术领域，具体为一种化学品用回收装置，包括回收箱体、烘干箱体，回收箱体的侧面固定连接有烘干箱体，回收箱体的内部固定连接有输水管道，输水管道的下方固定连接有若干组冲洗管道，冲洗管道的末端均固定连接有冲洗喷头，回收箱体的内部转动连接有过滤板，过滤板的表面固定连接有过滤网，过滤板的侧面开设有限位滑槽，限位滑槽的内部固定连接有限位滑杆，限位滑杆的外侧滑动连接有滑板，滑板的侧面固定连接有连接块，解决了现有的器皿主要依靠手动清洗，由于实验完的化学器皿中含有有害成分，手洗的过程中容易对身体造成危害，且手动清洗的效率较低，浪费大量时间的问题。
一种化学品回收装置

[实用新型]-CN202123151928.4有效
发明人： -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号：文献下载
摘要：

[实用新型]一种化学品运输用手推车-CN202123158155.2有效
发明人：李兰;朱俭;黄荣华;龚春东;李文涛 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及运输设备技术领域，且公开了一种化学品运输用手推车，包括底板，所述底板顶部的两侧均栓接有固定套，所述固定套的顶部开设有四个圆孔，所述圆孔的内部套接有限位杆，所述限位杆的表面栓接有两个限位圈，所述底板的一侧栓接有三个弹簧，所述弹簧的另一端栓接有连接板；本实用新型通过将化学品容器罐放置在固定套的内部，随后将限位杆插入圆孔的内部，使限位圈与化学品容器罐进行套接，从而能够有效对化学品容器罐进行限位，避免化学品容器罐出现晃动掉落的情况；本实用新型通过万向轮移动该装置，当橡胶条意外碰撞的物体时，然后橡胶条和连接板带动弹簧进行压缩复位，从而能够有效对碰撞进行缓冲。
一种化学品运输用手推车

[发明专利]一种具有去气泡功能的半导体药液的配送系统-CN202210115983.8在审
发明人：朱俭;李兰 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2022-01-23 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B01F25/421 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有去气泡功能的半导体药液的配送系统，包括底座和接收桶，所述底座的上部四角位置均安装有支柱，所述配药桶的顶部安装有顶阀，所述配药桶的后部连接有输出管一，所述输出管一的一端连接有输出管二、所述输出管二的外部连接有输出管三，所述输出管三的一端连接有预混结构，所述接收桶的外部安装有排出管，且接收桶的顶部设有消泡器，所述顶板的顶部设有进排风结构；本发明的各项药剂能够被动混合，在配送的过程中具备混合功能，使得进入接收桶内的药液不会出现分层、分堆的现象，无需借用外部装置进行混合，提高了整个配送系统的功能性。
一种具有气泡功能半导体药液配送系统

[发明专利]一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架-CN202210083649.9在审
发明人：朱俭;李兰 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2022-01-23 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体供气领域用双瓶自动切换且连续供气的气瓶架，包括支撑座和连接架，所述连接架位于支撑座的外侧位置，且连接架的底部靠近两侧位置均固定安装有安装板，所述安装板的内部贯穿连接有安装销，所述支撑座的顶部放置有供气瓶；通过设置的卡接机构，能够对供气瓶进行卡紧，从而能够方便对供气瓶进行更换和安装，通过设置的拉紧防护机构，固定柱和拉紧杆配合使用能够在支撑座和连接架之间进行拉紧，可以防止气瓶架连接的管路出现松脱的情况，能够在气瓶架管路的上方进行防护，提高了气瓶架管路使用的安全性，通过设置的切换驱动机构，能够方便驱动座在三通阀座的两侧进行切换封堵，从而能够实现双瓶自动切换且连续供气。
一种半导体供气领域用双瓶自动切换连续气瓶架

[发明专利]一种半导体特种气体输送管道的检漏装置-CN202111656628.3在审
发明人：朱俭;李兰 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01M3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体特种气体输送管道的检漏装置，包括管外夹持机构、密封罩和气体检测机构，所述气体检测机构包括设置在所述管外夹持机构上的导流管和平衡管，以及通过螺纹连接在所述管外夹持机构上的气体检测瓶，所述导流管的一端延伸至所述管外夹持机构的内侧用于收集泄漏的特种气体，并且所述导流管的另一端能够延伸至所述平衡管的内侧用于排放收集的特种气体，所述气体检测瓶用于对所述导流管排出的泄漏气体实现可视化；装置通过夹持在气体管道外侧，并使用密封罩进行封闭，使得气体管道上待检漏的区域被封闭在装置内，在气体管道内的气体泄漏出时，泄漏的气体会被装置封闭在装置内，无法进一步泄漏至外界。
一种半导体特种气体输送管道检漏装置

[发明专利]一种防倒灌的半导体尾气的处理装置-CN202111613291.8在审
发明人：朱俭;李兰 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，包括，尾气管道，用于排出尾气，尾气水洗机构，设置在所述尾气管道内部，并用于对尾气水洗处理，所述尾气水洗机构包括多工位进气装置、多工位水洗装置和升降装置，本发明利用多工位水洗装置将水洗液分成多份填充在多工位中，并通过多工位进气装置将尾气分割成多份通入多工位水洗装置内部对应的区域，使得水洗液与尾气完全且有效接触，既避免了水洗液发生浪费，且保证了尾气的处理效果，其次通过升降装置调整多工位进气装置和多工位水洗装置之间的相对位置，调整多工位进气装置通入的尾气在水洗液中的深度以避免接触过尾气的水洗液，进一步提高了对水洗液使用的完全性以及尾气的处理效果。
一种倒灌半导体尾气处理装置

[实用新型]一种高压气体输送装置-CN202122068480.3有效
发明人：朱俭 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高压气体输送装置，其包括：气体输送管，所述气体输送管包括若干个分管，当气体检测器检测到输气管中的运输气体时，会发送信号至封堵机构，使得封堵机构上的驱动环和气流传感器运作，驱动环通过带动驱动轮转动，从而带动安装筒和气流传感器进行移动，当气流传感器感应到输气管外壁某处气流变化较为剧烈时，则表明输气管此处外壁破损，气流传感器会发送电信号至充气泵和驱动环，控制驱动环带动安装筒在外壁破损处来回移动，同时，充气泵对储胶环内部进行加压，使得储胶环内部储存的胶水能够冲出通孔并附着于输气管外壁破损处，对破损处进行及时封堵，避免运输气体长时间泄露，造成浪费。
一种高压气体输送装置

[实用新型]一种高纯化学品连续稳定输送装置-CN202122072908.1有效
发明人：朱俭 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B65G45/10 文献下载
摘要：本实用新型属于化学品输送设备技术领域，具体涉及一种高纯化学品连续稳定输送装置，包括输送管，所述输送管的一端设置有密封组件，所述密封组件的一端延伸至输送管的内部，所述输送管的顶部开设有开口，所述开口的一端延伸至输送管的内部，本实用新型设置了位于输送管一端与开口相互配合的密封组件，将清理块通过开口进入输送管的内部，按压旋盖，通过推块将清理块推至进气管处并将旋盖旋在输送管上，此时关闭进料管和下料管，外部的气体通过进气管进入输送管的内部，带动清理块对输送管的内壁进行清理，避免输送管堵塞，解决了高纯化学品在运输的过程中会发生自分解反应，从而粘结在输送装置的内壁上的问题。
一种高纯化学品连续稳定输送装置

[发明专利]一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统-CN202111490341.8在审
发明人：朱俭;李兰;王振;龚春东 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B01F35/71 文献下载
摘要：本发明公开一种自动排气式半导体化学试剂混合输送系统，具备试剂供给机构，设置有多个，试剂混合机构，与多个试剂供给机构均连接；定量配给机构，设置有多个，多个定量配给机构一对一的连接在每一个试剂供给机构与试剂混合机构的连接管路上，定量配给机构包括过量抽取部件、余量排出部件以及定量输出部件；发明利用过量抽取部件从试剂供给机构内抽取大于试剂配比量的化学试剂，通过余量排出单元通过注射器排气泡的原理将过量抽取部件内的部分化学试剂连通混入的空气一起排出以获得固定量的不含空气的化学试剂，再通过定量输出部件用固定量的化学试剂输送至试剂混合机构内进行混液，保证了混液结果的准确性。
一种自动排气半导体化学试剂混合输送系统

[发明专利]一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法-CN202111325391.0在审
发明人：朱俭 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B01F35/71 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法，包括药液桶、供给混料机构、换液升降机构、流量检测组件和倾斜施力机构，倾斜施力机构设置在换液升降机构的侧边，用于推动药液桶绕其底面的棱边朝向供给混料机构旋转，以使得供给混料机构及时泵取到药液桶底部的化学药液；控制系统，分别与供给混料机构、换液升降机构、流量检测组件和倾斜施力机构连接，控制系统根据流量检测组件的实时测量结果调控供给混料机构的泵取工作，且控制系统根据流量检测组件实时测量结果计算药液桶的剩余液量，控制系统基于计算的剩余液量依次调控倾斜施力机构和换液升降机构工作。本发明避免将药液倾斜聚集，保证化学药液的配比比例精度。
一种半导体制备化学药液自动供给混合系统方法

[实用新型]一种模块化化学品定量混配装置-CN202122072906.2有效
发明人：朱俭 -专利权人： 理纯（上海）洁净技术有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B01F27/808 文献下载
摘要：本实用新型属于化工设备技术领域，且公开了一种模块化化学品定量混配装置，包括桶体，所述桶体的内部安装有可转动的搅拌杆，且桶体的顶部开设有插孔，所述插孔的内部安装有插管，所述插管靠近插孔的上方安装有限位环，且插管的顶部安装有进料管，所述桶体的一侧开设有出料孔，且桶体靠近出料孔的一侧转动连接有侧盖，所述插管的内部安装有可转动的绞龙，且插管上安装有第一电机，所述第一电机的输出端与绞龙连接，所述侧盖的一侧安装有把杆，所述把杆上套设有橡胶套。本实用新型通过插管插入至桶体上的插孔中，让装置混合原料时，可以依据使用者需求调节原料进料的种类，可以用于不同的使用场景，提高装置的使用范围。
一种模块化化学品定量配装

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