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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]角度调节装置及相应的物理气相沉积装置-CN202321207806.9有效
发明人：黄善发;臧宇;王祎翱 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种角度调节装置及相应的物理气相沉积装置，其中，角度调节装置包括固定法兰、活动法兰及数个调节螺栓组件；固定法兰用于连接待调节设备的固定部，活动法兰用于连接待调节设备的待调节部；固定法兰与活动法兰上分别设有数个螺栓连接孔，且固定法兰与活动法兰相对而设，数个调节螺栓组件分别用于连接固定法兰及活动法兰上对应的螺栓连接孔，以实现对固定法兰与活动法兰的连接，并且可通过调节各个调节螺栓组件与对应的固定法兰及活动法兰上的螺栓连接孔的相对位置来调节固定法兰与活动法兰之间的相对夹角。该角度调节装置及包括该角度调节装置的物理气相沉积装置具备结构简单、易于调节、性能良好、适应性广泛的特点。
角度调节装置相应物理沉积

[实用新型]圆头螺母及螺栓组件-CN202321207877.9有效
发明人：黄善发;王祎翱 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F16B37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种圆头螺母及螺栓组件，其中，所述圆头螺母包括一体成型设置的圆头部及柱形部；所述圆头螺母的轴线方向设有贯穿该圆头螺母的通孔；所述圆头部的外侧壁呈外球形弧面状，所述柱形部呈柱形结构，所述圆头部与所述柱形部同轴设置，且所述圆头部的第一端与所述柱形部的第一端相连接，所述柱形部的第二端呈垂直于所述圆头螺母的轴线的平面状；所述圆头部的第一端的外径尺寸大于所述圆头部的第二端的外径尺寸，且所述通孔的直径尺寸等于所述圆头部的第二端的外径尺寸。该圆头螺母及螺栓组件具备适用性好、结构简单、使用方便、应用范围广泛的特点。
螺母螺栓组件

[实用新型]一种腔内平行度测量工具-CN202321235530.5有效
发明人：张清华;臧宇;王祎翱 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种腔内平行度测量工具，包括：测量座，测量座的一侧设置有若干支撑脚，测量座上靠近每个支撑脚的位置均开设有一个通孔，测量座使用时水平放置在加热盘上，若干支撑脚与加热盘接触，若干支撑脚用于确定检测平面；测量棒，测量棒在每个通孔内部均滑动穿设有一个；锁紧螺钉，锁紧螺钉螺纹连接在测量座上，拧紧锁紧螺钉时，锁紧螺钉与测量棒抵触。本申请在腔盖关闭时，精确测量配气盘与加热盘之间的平行度，且使用场景更加广泛、工作可靠、成本低。
一种平行测量工具

[发明专利]角度调节装置及相应的物理气相沉积装置-CN202310563462.3在审
发明人：黄善发;臧宇;王祎翱 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种角度调节装置及相应的物理气相沉积装置，其中，角度调节装置包括固定法兰、活动法兰及数个调节螺栓组件；固定法兰用于连接待调节设备的固定部，活动法兰用于连接待调节设备的待调节部；固定法兰与活动法兰上分别设有数个螺栓连接孔，且固定法兰与活动法兰相对而设，数个调节螺栓组件分别用于连接固定法兰及活动法兰上对应的螺栓连接孔，以实现对固定法兰与活动法兰的连接，并且可通过调节各个调节螺栓组件与对应的固定法兰及活动法兰上的螺栓连接孔的相对位置来调节固定法兰与活动法兰之间的相对夹角。该角度调节装置及包括该角度调节装置的物理气相沉积装置具备结构简单、易于调节、性能良好、适应性广泛的特点。
角度调节装置相应物理沉积

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