“王月媖”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器及制备方法-CN201710408515.9有效
发明人：许高斌;王月媖;陈兴;马渊明;李坤 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖，其中传感器本体分为主体、一对测量电极体和一对驱动电极体三部分，一对测量电极体位于主体X方向的两侧，一对驱动电极体在主体Y方向两侧，且分别与主体对称呈齿状交错配合结构，最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的梳齿状微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的竖直z方向的磁场大小的测量，通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用，带动主体有往受力方向运动的趋势，再是驱动电极体上的梳齿上产生的静电力的复合作用下，使主体以某一频率机械振动，引起电容变化，进而推算出所测量的磁场大小。
一种用于磁场测量梳齿传感器制备方法

[发明专利]一种用于强磁场测量的平面扭转式微传感器-CN201710408165.6有效
发明人：许高斌;王月媖;陈兴;马渊明;李坤 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： G01R33/028 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于X、Y方向强磁场测量的平面扭转式微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖，其中传感器本体分为线圈电极锚区、扭转平面、电容电极锚区三部分，其中线圈电极锚区和电容电极锚区分别位于扭转平面中部的Y方向两侧外部，扭转平面中部的Y方向两侧分别向内凹，最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的平面扭转式微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的X、Y方向的磁场大小的测量，通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用，带动扭转平面有往受力方向扭转的趋势，使扭转平面以某一频率机械振动，引起上下极板间电容变化，进而推算出所测量的磁场大小。
扭转锚区传感器本体平面扭转传感器磁场强磁场测量电容电极线圈电极封盖基底测量电容变化机械振动交流信号金属线圈洛伦兹力依次连接极板键合强磁受力托卡向内推算外部