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[实用新型]静电吸盘-CN202320270704.5有效
发明人：姚恒山;曹春生;姜玮;沈子扬;张路;高振威;王延茂 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种静电吸盘，包括：基底、加热层、陶瓷层、第一粘合层、第二粘合层、内密封圈和外密封圈，本申请通过利用内密封圈环绕包裹住第一粘合层、加热层、第二粘合层的侧面，再利用外密封圈环绕包裹住内密封圈，其中，所述内密封圈和外密封圈均是可直接从加热层侧拆卸下来，日常PM维护即可定期更换，降低了维护成本。进一步的，包裹性强的内密封圈至少可以和加热层、第一粘合层、第二粘合层的侧面完全贴合，外密封圈可以对内密封圈产生较大的束紧力，从而达到对ESC侧边的双重保护，避免了第一粘合层和第二粘合层受到化学气体和离子体侵蚀而产生裂纹的情况，提高了静电吸盘的使用寿命。
静电吸盘

[发明专利]一种晶圆侦测结构和晶圆侦测方法-CN202310276666.9在审
发明人：姚恒山;曹春生;姜玮;沈子扬;张路;高振威;王延茂 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆侦测结构和晶圆侦测方法，其中结构基于一刻蚀设备，刻蚀设备包括：静电吸盘，静电吸盘用于放置晶圆；升降组件，用于带动晶圆上升；转移组件，用于将晶圆转移到静电吸盘上，或将被顶起的晶圆转移；晶圆侦测结构包括设置在腔体内的至少两组监测传感器，监测传感器位于静电吸盘上方，其中一组监测传感器用于检测晶圆是否被抬升到位，其它监测传感器用于检测抬升后的晶圆是否发生倾斜。本申请通过采用上述技术方案，能够在晶圆发生倾斜时及时发现，减小晶圆划伤的可能性。
一种侦测结构方法

[发明专利]一种高开孔率泡沫炭材料的制备方法-CN201711030371.4在审
发明人：林起浪;王延茂;刘玉林 -专利权人：福州大学
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： C01B32/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种高开孔率泡沫炭材料的制备方法，属于炭材料领域。本发明以双马来酰亚胺、环氧树脂和二元胺为主要原料，先将沥青和环氧树脂球磨后，倒入聚合反应容器，并按比例称取双马来酰亚胺进行聚合反应，然后再加入二元胺搅拌获得预聚树脂，所得预聚树脂再经浇注成型、树脂的固化及炭化工艺制得所述泡沫炭材料。本发明所述的制备方法所制得泡沫炭材料具有良好的力学性能和开孔率，压缩强度达16~30MPa，密度0.35~0.52g/cm3，开孔率可达90%~98%。此外，本发明工艺简单，易于生产，操作简便；制备成本低，产品性能优异，可一次复杂成型。
一种高开孔率泡沫材料制备方法

[发明专利]一种未拉伸通用CPP薄膜的生产方法-CN201510048301.6在审
发明人：焦国平;齐继业;王延茂;李鹏飞 -专利权人：安徽松泰包装材料有限公司
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： B32B27/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种未拉伸通用CPP薄膜的生产方法，材料包括电晕层、芯层、热封层，经过配料、搅拌，加热熔融，激冷形成铸片，成型，测厚反馈，用电晕棒进行电晕处理、收卷，熟化模压成型。本发明模压出来的产品质量轻，强度好，透明度高，耐磨损，抗冲击等性能，具有良好的耐应力开裂，优异的化学稳定性及绝缘性，并取得光学性能和力学性能的平衡。
一种拉伸通用 cpp 薄膜生产方法

[发明专利]一种蒸煮级CPP薄膜的生产方法-CN201510047898.2在审
发明人：焦国平;齐继业;王延茂;李鹏飞 -专利权人：安徽松泰包装材料有限公司
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2015-05-27 - 主分类号： B29D7/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸煮级CPP薄膜的生产方法，a）称取19～21份三元无规共聚聚丙烯制造电晕层，59～61份均聚聚丙烯制造芯层，19～20份三元共聚聚丙烯，0.5～0.64份爽滑剂，0.08～0.22份抗静电剂制造热封层，分别在高速混合机中混合3分钟；b）将混合均匀的物料于245℃塑化剂出；c）熔体通过高压气刀贴附到冷辊上在23～27℃水浴中激冷形成铸片；d）成型，采用红外线系统进行测厚反馈；e）对电晕层的表面进行电晕火花处理，使其电晕张力变为44～50mN/m，再以60～70m/min的速度收卷；f）最后在27～28℃熟化48小时。本发明模压出来的产品质量轻，抗冲击，光滑性，清晰度高，耐磨损，具有良好的耐应力开裂，优异的化学稳定性及绝缘性低温热封性。
一种蒸煮级 cpp 薄膜生产方法

[发明专利]一种高附着、高表面张力CPP镀铝薄膜的生产方法-CN201510048471.4有效
发明人：焦国平;齐继业;王延茂 -专利权人：安徽松泰包装材料有限公司
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2015-05-27 - 主分类号： B32B27/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种高附着、高表面张力CPP镀铝薄膜的生产方法其中，电晕层：三元无规共聚聚丙烯 92～94%、防粘剂 4.5～5.5%，沸石母料1.5～2.5% ；芯层：三元共聚聚丙烯 100% ；热封层：均聚聚丙烯 92.9～93.9%、防粘剂 3%、爽滑剂2.5～3.5%、抗静电剂0.6%；包括以下步骤：配料；混合；塑化；成型；铸片；测厚；电晕；收卷；熟化；镀铝。通过电晕层选用了无规共聚聚丙烯作为主料配合特定比例的防粘剂，芯层只使用三元共聚聚丙烯作为原料，使得镀铝层不易脱落，在电晕层加入一定量的天然沸石粉，有效的阻止了部分低分子聚合物冲出表层，从而使镀铝层面能保持较高的表面张力；同时使得芯层在反应过程中不会有任何析出物，进一步保证了下表面的润湿张力，从而保证镀铝的附着效果。
一种附着表面张力 cpp 镀铝薄膜生产方法