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[发明专利]结构色功能纳米结构及其制备方法-CN202310133752.4在审
发明人：史丽娜;王冲;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种结构色功能纳米结构及其制备方法，其中，该结构包括：介质衬底；位于介质衬底上的超表面结构，用于选择性的反射入射光；其中，超表面结构包括：金属膜，位于介质衬底上；介质层，位于金属膜上；金属纳米颗粒阵列，位于介质层上。
结构功能纳米及其制备方法

[发明专利]声表面波滤波器及其制备方法-CN202010643614.7有效
发明人：梁圣法;张文昌;项飞斌;牛洁斌;姚志宏;李冬梅;刘明;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：一种声表面波滤波器及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：步骤1：将带有纳米孔的过滤板置于掩模版与涂敷有电子抗蚀剂的压电衬底之间；步骤2：利用电子束曝光方法，将掩模版上的叉指电极掩模图形小孔成像转印到压电衬底的电子抗蚀剂上，在压电衬底上形成相对掩模版的叉指电极掩模图形缩小线宽尺寸的叉指电极图形；步骤3：对压电衬底的叉指电极图形外的裸露区域进行剥离或刻蚀；步骤4：去除电子抗蚀剂，在压电衬底上形成叉指电极，得到声表面波滤波器。本发明可以缩小器件的线宽，提高器件的中心频率，同时，所述制备方法可以实现器件的快速、大批量制备，降低加工成本。
表面波滤波器及其制备方法

[发明专利]基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法-CN202010256966.7有效
发明人：尚潇;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本公开提供一种基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法，所述基于硅纳米柱的结构色成像结构，包括：衬底；以及多个硅‑铬圆柱纳米结构形成的硅‑铬圆柱纳米结构阵列，位于所述衬底上，用于呈现结构色，每个所述硅‑铬圆柱纳米结构包括：硅圆柱纳米结构，以及覆于其上表面的金属掩膜铬。其能够有效缓解现有技术中结构色成像结构的饱和度低、纯净度低以及效率低等技术问题。
基于纳米结构成像测试系统制备方法

[发明专利]一种防伪彩色标签及其制作方法和印刷品的制备方法-CN202110466640.1在审
发明人：王冲;史丽娜;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种防伪彩色标签及其制作方法和印刷品的制备方法，包括：金属薄膜；位于所述金属薄膜上的纳米级介质薄膜，所述纳米级介质薄膜包括裸露所述金属薄膜的多个椭圆孔所形成的椭圆孔阵列。本发明提供的防伪彩色标签，基于表面等离激元共振原理，当纳米级介质薄膜侧接入入射光后，通过椭圆孔阵列激发表面等离激元共振产生的结构色，进而实现彩色防伪功能。本发明提供的技术方案，避免现有采用化学染料形成防伪标签的情况，不仅使得防伪彩色标签绿色环保，而且易于制作且防伪图案分辨率高。
一种防伪彩色标签及其制作方法印刷品制备方法

[发明专利]忆阻器、汉明距离计算方法及存算一体集成应用-CN202110457874.X有效
发明人：邢国忠;林淮;吴祖恒;牛洁斌;姚志宏;尚大山;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G11C13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种忆阻器，包括晶体管和阻变存储器，所述晶体管的漏极与所述阻变存储器的底电极相连；所述阻变存储器包括：由下至上的底电极、阻变材料层、电流限制层和顶电极，其中电流限制层通过减小浪涌电流以及优化热量分布，稳定低阻的波动性，从而提高汉明距离计算精度。
忆阻器距离计算方法一体集成应用

[发明专利]一种实现结构色的纳米结构及其制备方法-CN202210319265.2在审
发明人：史丽娜;李泠;刘明;李龙杰;尚潇;王冲;陈生琼;牛洁斌;薛惠文;胡劲宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及结构色超表面技术和显示技术领域，尤其涉及一种实现结构色的纳米结构及其制备方法，该实现结构色的纳米结构，包括：包括：衬底，位于衬底上的手性纳米结构，该手性纳米结构呈周期性阵列排布，该周期性阵列排布的参数为在x方向和y方向的排布周期均为200nm～500nm，以用于在各种观测条件下进行显色，该手性纳米结构具体采用大于预设折射率的介质材料，由于手性纳米结构的偏振转换能力以及材料的性质，可以降低损耗，提高显色分辨率。
一种实现结构纳米及其制备方法

[发明专利]一种防伪结构及其制备方法-CN202210320654.7在审
发明人：史丽娜;刘明;李龙杰;王冲;尚潇;陈生琼;牛洁斌;薛惠文;胡劲宇;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G02B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及结构色超表面技术和显示技术领域，尤其涉及一种防伪结构及其制备方法，该防伪结构包括：单层衬底或者双层衬底；位于单层衬底或者双层衬底上秤阵列排布的手性结构，阵列排布的周期为：在x方向和y方向上的排布周期均为500nm～900nm；在采用交叉偏振观测时，可观测到肉眼观测不到的防伪信息，该防伪信息为手性结构按照不同的排布周期所形成的，通过周期排布的手性结构来记载防伪信息，进而在交叉偏振观测下看到肉眼看不到的防伪信息，实现了结构色的防伪效果。
一种防伪结构及其制备方法

[发明专利]显色结构、显色结构的制备方法和防伪标识-CN202111037919.4在审
发明人：史丽娜;王冲;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种显色结构、显色结构的制备方法和防伪标识，其中显色结构包括：基底层；椭圆孔阵列层，形成于所述基底层上，所述椭圆孔阵列层包括多个椭圆状的通孔；第一显色颗粒层，设置在所述基底层上，位于所述通孔内，当光线入射到显色结构时，光线会在第一显色颗粒层和椭圆孔阵列层之间产生生米氏共振现象，光线能够在第一显色颗粒层和椭圆孔阵列层之间进行耦合，进而使得显色结构有选择性地反射入射光，从而产生生动的颜色，本申请实施例通过在椭圆状的通孔内设置第一显色颗粒层能够提高颜色的分辨率，特别是能够在亚波长范围内具有高分辨，且与目前技术中的化学染料和颜料相比具有环境友好性以及良好的耐久性。
显色结构制备方法防伪标识

[发明专利]全电控自旋纳米振荡器神经元器件-CN202110754795.5在审
发明人：邢国忠;王迪;林淮;刘龙;牛洁斌;刘宇;王艳;许晓欣;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L43/06 文献下载
摘要：本发明公开了全电控自旋纳米振荡器神经元器件，该器件包括：左电极、右电极、顶电极、重金属层、非磁性金属层、左反铁磁钉扎层、右反铁磁钉扎层和MTJ；MTJ包括由下至上的铁磁自由层、势垒隧穿层和铁磁参考层；在全电场调控下，直流电流产生的自旋转移矩与形状各向异性、DM反对称交换作用相互竞争，驱动磁畴壁往复运动实现磁化分量周期性振荡；该器件具有两种振荡模式，可产生稳定、均匀微波信号以实现神经元的振荡特性。可见，该器件可在全电场的情况下实现周期性振荡，无需依靠外部磁场。
全电控自旋纳米振荡器神经元器件

[发明专利]基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法-CN202010256967.1有效
发明人：史丽娜;李龙杰;牛洁斌;陈生琼;尚潇;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法。其中，该图像显示装置包括：衬底，该衬底为硅和二氧化硅组成的双层衬底；硅圆柱纳米结构，形成于该衬底上，且该硅圆柱纳米结构通过对光的米氏共振作用产生结构色；金属掩膜铬，覆盖于该硅圆柱纳米结构上；其中，该硅圆柱纳米结构和形成于其上的金属掩膜铬共同构成一个硅‑铬圆柱纳米结构，多个该硅‑铬圆柱纳米结构呈阵列排布形成一个圆柱纳米结构阵列。本发明提供的该基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法，采用周期纳米结构，对环境友好，与半导体工艺兼容，不褪色，改变纳米结构的尺寸和纳米结构阵列的间隙便可使结构色发生变化，容易观察。
基于结构图像显示装置系统装置制作方法

[发明专利]基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法-CN202010256939.X有效
发明人：李龙杰;史丽娜;牛洁斌;尚潇;陈生琼;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法。其中，该图像显示装置包括：衬底，所述衬底为硅和二氧化硅组成的双层衬底；硅圆柱纳米结构，形成于该衬底上，且该硅圆柱纳米结构通过对光的米氏共振作用产生结构色；其中，多个该硅圆柱纳米结构呈阵列排布形成一个圆柱纳米结构阵列。本发明提供的该基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法，采用周期纳米结构，对环境友好，与半导体工艺兼容，不褪色，改变纳米结构的尺寸和纳米结构阵列的间隙便可使结构色发生变化，容易观察。
基于结构图像显示装置系统装置制作方法

[发明专利]一种染料激光器及其制备方法-CN202110643108.2在审
发明人：陈生琼;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01S3/213 文献下载
摘要：本发明公开了一种染料激光器及其制备方法，包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底上的第一绝缘介质层；位于所述第一绝缘介质层背离所述半导体衬底一侧的多条单晶硅线，所述单晶硅线沿第一方向延伸，且所述多条单晶硅线沿第二方向周期排列，所述第一方向和所述第二方向相交；及，覆盖所述多条单晶硅线、且填充相邻所述单晶硅线之间间隙处的第二绝缘介质层，所述第二绝缘介质层中包括有染料。本发明提供的染料激光器不仅结构简单，并且该染料激光器的制备工艺简单。
一种染料激光器及其制备方法

[发明专利]一种硅纳米结构的制备方法及激光器-CN202110562250.4在审
发明人：陈生琼;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;尚潇;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本公开提供一种硅纳米结构的制备方法及激光器，包括：在衬底上形成具有刻蚀图形的光刻胶层；在光刻胶层上依次蒸镀铬掩膜层、铝掩膜层；剥离光刻胶层；根据铬掩膜层、铝掩膜层的图形，刻蚀衬底，依次去除铝掩膜层、铬掩膜层，得到含纳米狭缝的双硅线结构。本公开的制备方法可制备含纳米狭缝的双硅线结构，制造工艺简单，且当外层涂覆一层含增益材料的薄膜时，此结构的光学特性体现出激光的性能，此结构可用于纳米激光器。本公开还提供了一种含双硅线结构的激光器。
一种纳米结构制备方法激光器

[发明专利]图形化装置及其使用方法-CN201810957189.1有效
发明人：李海亮;牛洁斌;王冠亚;朱效立;谢常青;叶甜春 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-08-21 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种图形化装置及其使用方法，所述图形化装置包括：基板层；设置于所述基板层上的薄膜层；以及设置于所述薄膜层上的图形模板层，所述图形模板层包括凸出的图形结构，所述图形结构用于配合腐蚀液在衬底表面形成预设图形，其中，在腐蚀液环境中，所述图形结构与衬底表面接触后，衬底的接触部分被溶解。
图形化装及其使用方法

[发明专利]一种相位型衍射光栅-CN201811147241.3有效
发明人：刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;牛洁斌;王冠亚;李海亮;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及衍射光栅技术领域，尤其涉及一种相位型衍射光栅，包括：薄膜衬底；所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为Px，纵向周期为Py；所述栅孔的尺寸与所述横向周期Px和纵向周期Py呈预设比例；所述薄膜衬底的厚度根据入射光的波长的值确定，由此获得±1级的绝对衍射效率值相对提高，0级和高级的绝对衍射效率得到有效抑制。
一种相位衍射光栅

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