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[发明专利]一种热释电红外传感器-CN202311147022.6在审
发明人：马龙全;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-09-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10N19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种热释电红外传感器，涉及半导体技术领域。所述的热释电红外传感器包括感应芯片、补偿芯片及芯片载体框架，所述芯片载体框架设有容纳腔，所述感应芯片和/或补偿芯片设于所述容纳腔内；所述芯片载体框架的数量为两个，容纳腔内设置感应芯片的芯片载体框架称为感应芯片载体框架；容纳腔内设置补偿芯片的芯片载体框架称为补偿芯片载体框架；所述感应芯片载体框架以及补偿芯片载体框架由上至下顺次层叠设置；所述感应芯片与所述补偿芯片电连接。本发明通过将感应芯片载体框架以及补偿芯片载体框架层叠设置实现两种芯片堆叠封装，大大提高了探测器的集成度，有助于实现探测器的小型化和多通道。
一种热释电红外传感器

[实用新型]一种圆柱电芯用气溶胶传感器-CN202223027905.7有效
发明人：唐金华;武斌;许宙;赵俊 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01N15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆柱电芯用气溶胶传感器，包括圆柱形壳体、用于产生与气溶胶浓度相关的光电信号的光路组件、用于将光路组件产生的光电信号转换为气溶胶浓度数据的电路组件以及用于输出气溶胶浓度数据的数据接口组件，光路组件和电路组件设置在圆柱形壳体的内部，数据接口组件设置在所述圆柱形壳体上。通过采用本实用新型结构的气溶胶传感器并将其安装在电池内，不仅提高了对电池内部产生的气溶胶进行检测的准确性和精准度，而且还避免了现有的传感器离电池组太远，监测和反应速度较慢的问题，同时还有效的实现了尽早监测电池的热失控，确保在危险发生之前能够提供可靠的报警信号，从而有效的防止了优于热失控扩展进而引发火灾、爆炸、人员伤亡等安全隐患的发生。
一种圆柱电芯用气溶胶传感器

[实用新型]一种气体检测装置-CN202320421273.8有效
发明人：武斌;申涛 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体检测装置，包括光源、检测组件以及探测器，光源发出的红外光，经过检测组件后，被探测器吸收；检测组件包括斩波轮以及气室，斩波轮内设置有腔室，光源发出的红外光穿过腔室和气室后被探测器吸收。与现有技术相比，本实用新型的一种气体检测装置，通过使用能够填充高浓度纯气体的腔室代替红外窄带滤光片结构，避免因红外窄带滤光片特性原因而引起的气体间的交叉干扰，实现精确测量。通过在斩波轮内设置多个腔室，在不同腔室中充有不同种类的气体，能满足多种气体的精确检测。
一种气体检测装置

[发明专利]快调制NDIR气体传感器-CN202310629650.1在审
发明人：武斌;宏宇 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种快调制NDIR气体传感器，包括红外发光吸收传感组件、滤光组件、支撑组件以及红外反射组件；所述红外发光吸收传感组件通过支撑组件与红外反射组件连接且形成NDIR气体传感器的光学腔室；所述滤光组件位于所述光学腔室内；所述红外发光吸收传感组件发出的红外辐射通过光学腔室照射至所述红外反射组件上，所述红外反射组件对红外辐射进行反射并透过滤光组件，使特定波长的红外照射至红外发光吸收传感组件上。通过使用本发明气体传感器，有效的解决由于调制问题引起的NDIR气体传感器发出的光源辐射强度低的问题，同时也有效的提高NDIR气体传感器分辨率和响应速度，从而为研发高性能的NDIR气体传感器奠定了坚实的基础。
调制 ndir 气体传感器

[发明专利]一种支撑结构的制备方法及支撑结构-CN202310430261.6在审
发明人：马龙全;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B29C45/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种支撑结构的制备方法及支撑结构，其中制备方法包括以下步骤：根据需要支撑物品的尺寸和形状设计相对应的支撑底座；准备符合要求的材料作为制备支撑底座的原料；根据支撑底座设计图进行开模，确认模具成型的样件质量，通过试模和修模确认加工模具；采用注塑加工方式进行支撑结构的制备。与现有技术相比，本发明的一种支撑结构的制备方法，通过优化支撑立柱结构，改进为支撑底座结构，提高了支撑结构的稳定性，降低传感器的噪声；采用注塑工艺进行生产加工，保证了支撑结构的一致性，同时相较于目前常用的机加工或者刻蚀加工方法，加工效率高、成本低、精度高；采用注塑工艺可以很好地匹配芯片尺寸。
一种支撑结构制备方法

[实用新型]一种MEMS压阻式压力传感器-CN202121482582.3有效
发明人：武斌;许克宇 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS压阻式压力传感器，包括具有线性渐变梁膜结构的硅应变膜、压敏电阻、重掺杂接触区域，金属引线，所述硅应变膜为硅衬底的正面经过腐蚀工艺并键合硅片层所形成的，所述压敏电阻位于梁膜结构的端部，所述金属引线和重掺杂接触区在硅应变梁膜的正面形成欧姆接触。本实用新型通过采用在硅衬底的正面设置具有线性渐变的梁膜结构、压敏电阻、重掺杂接触区以及金属引线并键合硅片所形成的压阻式压力传感器，使得通过调节渐变梁结构的线性变化比例，达到提高压力传感器线性度的目的，以及通过调整压敏电阻与渐变梁结构之间的尺寸大小，实现提高灵敏度的目的。
一种 mems 压阻式压力传感器

[发明专利]一种用于热电堆红外探测器的入射光线聚集器的制作工艺-CN201610966489.7有效
发明人：武斌;张绍达;郑星语 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2016-11-01 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01J5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于热电堆红外探测器的入射光线聚集器的制作工艺，其具体工艺步骤如下：(1)使用湿法氧化工艺在P‑型(100)硅基底上形成氧化层；(2)在P‑型(100)硅基底的正面依次进行旋涂光刻胶、前烘、曝光、显影形成图案，露出需要刻蚀区域的氧化层后烘干；(3)使用缓冲氧化物刻蚀水溶液(BOE)对暴露出的氧化层进行刻蚀，去光刻胶；(4)通过使用四甲基氢氧化铵(TMAH)各向异性刻蚀溶液，在P‑型(100)硅基底正面形成倾斜面，该倾斜面作为反射平面用来改变入射光线的传播路径。本发明通过采用光线聚集器，使得热电堆红外探测器敏感区域所获得的红外入射光线照射量大大增加，提高热电堆红外探测器的响应率。
一种用于热电红外探测器入射光线聚集制作工艺

[发明专利]一种热释电敏感元批量固晶工艺及热释电传感器-CN202310455199.6有效
发明人：马龙全;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H10N15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种热释电敏感元批量固晶工艺及热释电传感器，涉及红外传感器技术领域。本发明提供的热释电敏感元批量固晶工艺，通过在金属下电极表面植入多个焊球或焊球柱，敏感元通过焊球或焊球柱与焊盘固定连接，同时焊球或焊球柱形成敏感元的支撑结构，便于后续的封装；采用本发明的固晶工艺得到的芯片，可以通过焊球或焊球柱来引出电信号，无需额外引线，简化了产品电路设计，缩小产品尺寸的同时，提高了工艺集成度，可以实现器件的小型化。相比传统采用支撑结构的固晶工艺，本发明的固晶工艺在敏感元晶圆和焊盘的焊接过程中，二者几何中心对准度的误差容忍度更大；本发明以敏感元晶圆为单元，可以实现芯片的批量固晶。
一种热释电敏感批量工艺传感器

[发明专利]一种抗干扰气体的酒精检测器-CN202310463853.8在审
发明人：邓敏;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗干扰气体的酒精检测器，包括：气室套筒，内设有吸收气室和含有干扰气体的抗干扰气室；进气口和出气口，开设于气室套筒的外壁上且与吸收气室互通；红外发生器，设置于气室套筒的一端内部，红外发生器发射的红外光线依次透过抗干扰气室和吸收气室并朝向气室套筒的另一端内部；检测器，设置于气室套筒的另一端内部，用于接收红外发生器依次透过抗干扰气室和吸收气室后的红外光线。本发明通过增设的抗干扰气室中的干扰气体先对红外光线进行吸收，而后红外光线再到达吸收气室由酒精气体吸收，此时吸收气室中的干扰气体已经吸收不到红外光线，即最后到达检测器的红外光线消除了吸收气室中掺杂的干扰气体带来的检测干扰。
一种抗干扰气体酒精检测器

[发明专利]一种带滤光功能的硅透镜盖板及其制备方法-CN202310001771.1在审
发明人：宏宇;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带滤光功能的硅透镜盖板及其制备方法，其中，制备方法具体为：在第一硅衬底的上表面旋涂光刻胶并进行烘烤；对第一硅衬底上的光刻胶进行曝光和显影处理；对上述处理后的光刻胶进行处理和软化，形成透镜形状的光刻胶；再对第一硅衬底和所述透镜形状的光刻胶进行刻蚀，获得上表面呈透镜形状的第一硅衬底；在上述第一硅衬底的下表面制备第一连接层，并在第一连接层表面旋涂光刻胶；再在第一硅衬底下表面刻蚀第一腔体；在第一硅衬底的上表面上和第一腔体的内顶面上制备光学薄膜；获得带滤光功能的硅透镜盖板。本发明制备方法不仅为硅透镜盖板提供光线汇聚功能，而且还简化光学传感器结构的复杂程度，降低传感器生产成本。
一种滤光功能透镜盖板及其制备方法

[发明专利]一种热释电敏感元及热释电传感器的制备方法-CN202211425233.7在审
发明人：马龙全;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H10N15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种热释电敏感元及热释电传感器的制备方法，其中，热释电敏感元的制备方法，具体包括以下步骤：S1、对热释电晶圆进行单面抛光；S2、在所述热释电晶圆的抛光面上进行金属下电极的沉积；S3、并对所述热释电晶圆的另一侧面进行减薄抛光处理；S4、在所述热释电晶圆的另一侧面上进行金属上电极的沉积；S5、在所述金属上电极上沉积红外吸收层，获得热释电敏感元。通过采用本发明制备方法来制备热释电敏感元，有效的提高了热释电敏感元的吸收率，从而提升了使用该热释电敏感元的传感器的响应性能，同时也提升了传感器的一致性。
一种热释电敏感传感器制备方法

[发明专利]一种芯片集成式NDIR气体传感器及其制备方法-CN202310142649.6在审
发明人：宏宇;武斌 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01N21/359 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片集成式NDIR气体传感器，包括依次键合连接的顶盖组件、第一晶片和第二晶片；所述顶盖组件与第一晶片之间形成气室，所述顶盖组件上设有通气孔，所述第一晶片上设有位于所述气室中的MEMS红外光源和热电堆组件，所述热电堆组件上盖设有滤光片；所述第二晶片上与第一晶片键合的一侧设有用于对MEMS红外光源进行控制，并对热电堆组件产生的电信号进行处理的ASIC电路，以及用于对外界进行信号交换的引脚。本发明通过将MEMS红外光源和用于感应红外信号的热电堆组件均集成在第一晶片上，减小了传感器的体积，且还将用于对热电堆组件产生的信号进行处理的ASIC电路集成在传感器内部，有效降低了传输噪声，提高了检测精度。
一种芯片集成 ndir 气体传感器及其制备方法

[发明专利]一种气体检测装置-CN202310216483.8在审
发明人：武斌;申涛 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体检测装置，包括光源、检测组件以及探测器，光源发出的红外光，经过检测组件后，被探测器吸收；检测组件包括斩波轮以及气室，斩波轮内设置有腔室，光源发出的红外光穿过腔室和气室后被探测器吸收。与现有技术相比，本发明的一种气体检测装置，通过使用能够填充高浓度纯气体的腔室代替红外窄带滤光片结构，避免因红外窄带滤光片特性原因而引起的气体间的交叉干扰，实现精确测量。通过在斩波轮内设置多个腔室，在不同腔室中充有不同种类的气体，能满足多种气体的精确检测。
一种气体检测装置

[实用新型]一种动力电池压力传感器-CN202223029872.X有效
发明人：许克宇;武斌;许宙;赵俊 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种动力电池压力传感器，涉及传感器技术领域，包括外壳、传感器模块以及接口，传感器模块设于外壳的内部，接口设于外壳的一端；传感器模块包括PCB电路板、压力传感器以及单片机控制器，压力传感器以及单片机控制器设于PCB电路板上，压力传感器与单片机控制器电气连接。与现有技术相比，本实用新型的动力电池压力传感器，通过改进传感器装置的结构构造，将压力传感器布置在电池组内部，在单颗电芯发生问题时，可以快速的提供报警信号，对组内单节电池热失控进行及时有效的监控，方便实时、快速、高效监控内部压力情况，大大提高电动车锂电池整车安全。
一种动力电池压力传感器

[实用新型]一种锂电池热失控预警复合传感器-CN202223027887.2有效
发明人：许克宇;武斌;许宙;赵俊 -专利权人： 深圳市美思先端电子有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01R31/382 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种锂电池热失控预警复合传感器，包括上盖、传感器模块以及下盖，上盖和下盖装配连接后为一个主体，传感器模块设于主体的内部；单片机控制器分别于颗粒物传感器、二氧化碳传感器、温度传感器、AQS传感器、压力传感器电气。本实用新型的锂电池热失控预警复合传感器，通过改进传感器装置的结构构造，利用设置于传感器内部单片机控制器有效判断是否发生热失控，实现颗粒物，二氧化碳、甲烷、温度、AQS、压力组合监测，使得融合结合多个物理传感器的数据，可以提高监测速度，有助于减少感知过程中的不确定性，减少误报率。
一种锂电池失控预警复合传感器

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