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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于晶圆的定位夹具-CN202321292971.9有效
  • 朱琪;肖滋兰;鉏晨涛;陆城燕 - 浙江埃纳检测技术有限公司
  • 2023-05-22 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本实用新型公开了一种用于晶圆的定位夹具，涉及夹具技术领域，旨在解决适用范围小的技术问题。其技术方案要点是：包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。
  • 一种用于定位夹具
  • [实用新型]一种晶片清洗室-CN202321086169.4有效
  • 肖滋兰;陆城燕;朱琪;鉏晨涛 - 浙江埃纳检测技术有限公司
  • 2023-05-09 - 2023-09-22 - H01L21/67
  • 本实用新型提供了一种晶片清洗室，包括：清洗块，所述清洗块的顶面固定安装有连接块，所述清洗块的底面固定安装有定位块，所述连接块的顶面开设有固定槽，所述固定槽的内部底面开设有连通口，所述固定槽的内部底面固定安装有遮挡盖，遮蔽盖采用透明材料；防漏组件，所述防漏组件设置在所述清洗块的内部，用于避免清洗液外流，通过设置承接台，承接台的顶面可以为放置晶片提供放置空间，通过设置喷洒杆，喷洒杆可以被伺服电机转动的旋转轴带动旋转，并使得喷洒杆的一端旋离安装槽的内部，并移动到存放孔的内部空间中，并将清洗液喷洒在晶片上，套接槽为清洗晶片的空间，且套接槽的槽底低于放入晶片的入口，从而避免喷洒杆喷洒出的清洗液出现外流的情况。
  • 一种晶片清洗
  • [发明专利]一种用于晶圆的定位夹具-CN202310584811.X在审
  • 朱琪;肖滋兰;鉏晨涛;陆城燕 - 浙江埃纳检测技术有限公司
  • 2023-05-22 - 2023-07-18 - H01L21/687
  • 本发明公开了一种用于晶圆的定位夹具，涉及夹具技术领域，旨在解决适用范围小的技术问题。其技术方案要点是：包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。本发明的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。
  • 一种用于定位夹具
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