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[实用新型]用于晶圆片载盘存放的运输车-CN202321321411.1有效
发明人：林基明;李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人： 浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于晶圆片载盘存放的运输车，该运输车包括箱体、多个放置组件、空气净化装置、电源以及行走机构，其中，箱体内部设置有分隔板，以将箱体分成相互隔绝的第一空间和第二空间；多组放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在第一空间内，且每组放置组件分别包括两个相对设置在箱体两侧内壁的固定板；空气净化装置集成在箱体上以用于净化第一空间内的空气；电源容纳于第二空间内，用于为空气净化装置供电；行走机构设置于箱体的底部。通过上述技术方案，该运输车能够有效避免晶圆片在转运过程中被污染，同时提高晶圆片的转运效率。
用于晶圆片载盘存运输车

[实用新型]维修工具-CN202320408400.0有效
发明人：谢国辉;翟虎;林宏达;李孟轩;孙金梅 -专利权人： 浙江丽晖智能装备有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B25B13/48 文献下载
摘要：本公开涉及一种维修工具，用于对曝光机内部区域的螺母进行拆卸和安装，包括：维修杆，包括相对的维修端和连接端；延长杆，延长杆的一端形成有用于供连接端插入的插槽，以及弹性锁止结构，设于插槽，用于可解锁地将维修杆的连接端锁止于插槽内。该维修工具通过延长杆整体加长了维修工具的长度，方便操作，且可以通过弹性锁止结构将维修杆可解锁地锁止于延长杆，对于曝光机内不同大小的螺母可以更换不同大小的维修杆，提高维修工具的通用性。
维修工具

[发明专利]一种纳米级图形转移的工艺方法及其应用-CN202310278478.X在审
发明人：谢国辉;李孟轩;孙金梅;林宏达;翟虎 -专利权人： 浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开了一种纳米级图形转移的工艺方法及其应用，该方法包括：(1)采用防粘试剂I对硅模板进行防粘处理I，得到模板I；(2)将PET膜覆盖在结构面含有快速模板胶稀释剂的所述模板I上，得到中间材料，然后采用压印设备对所述中间材料进行纳米压印I，得到柔性软模板；所述快速模板胶稀释剂中快速模板胶的含量为74‑76wt％；(3)采用防粘试剂II对所述柔性软模板进行防粘处理II，得到模板II；(4)采用所述压印设备并利用所述模板II对涂覆有紫外纳米压印胶的衬底片进行纳米压印II，得到压印产品。本发明提供的方法使得纳米图形转移更精确。
一种纳米图形转移工艺方法及其应用

[发明专利]一种二氧化硅-蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用-CN202310314617.X在审
发明人：李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人： 浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体氮化镓外延基材领域，具体涉及一种二氧化硅‑蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用。该方法包括：(1)在刻蚀气体存在下，对基体I进行第一刻蚀处理，得到中间体I；(2)在刻蚀溶剂存在下，对所述中间体I进行第二刻蚀处理；所述第二刻蚀处理的条件至少满足：温度为24‑26℃，时间为30‑35秒；其中，所述刻蚀溶剂中含有HF溶液，且在所述刻蚀溶剂中，所述HF溶液的浓度为45‑55体积％。本发明提供的二氧化硅‑蓝宝石复合衬底的蓝宝石基面能够充分裸露，且能够避免由SiO2材料形成的圆锥体底部形成蓝宝石圆凸台，解决蓝宝石衬底的过刻蚀导致的SiO2圆锥体积难以最大化的问题。
一种二氧化硅蓝宝石复合衬底及其制备方法应用

[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用-CN202310259548.7在审
发明人：林宏达;翟虎;李孟轩 -专利权人： 浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用，蓝宝石复合衬底包括由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底和设置在所述基底上的至少两个圆锥体，各个所述圆锥体相同，且所述圆锥体由二氧化硅材料形成，所述圆锥体的锥底与所述基底直接接触，所述圆锥体的高度与底径的比值为1：1.1‑1.9，该蓝宝石复合衬底具有体积最大化的二氧化硅材料形成的至少两个圆锥体、充分裸露的由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底底面，其制备工艺简单，适用于工业化生产。
一种蓝宝石复合衬底及其制备方法应用

[实用新型]晶圆片花篮-CN202320209183.2有效
发明人：林基明;李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人： 浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本公开提供一种晶圆片花篮，包括：花篮主体(2)，花篮主体包括两块沿第一方向相对设置的主板(22)，主板上设有沿垂直于第一方向的第二方向间隔排列的多个插板(23)，多个插板之间形成晶圆片插槽；以及辅助件，辅助件(1)能够可拆卸地设置在花篮主体(2)的沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向的插入端，辅助件(1)包括分别沿第三方向对齐于两个主板的两个第一支撑梁(11)以及分别设置在第一支撑梁上的沿第二方向排列的限位板(12)，限位板沿第三方向一一对齐于插板。通过上述技术方案，晶圆片通过辅助件插入花篮中，限位板能够起到限位作用，解决了手动放入花篮中的晶圆片会出现剐蹭、串位栏、叠片等放置不当导致的表面刮伤。
晶圆片花篮