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[发明专利]一种微通道板导电层结构及其制备方法-CN202310525779.8在审
发明人：廉卓禧;王丹;朱香平;洪云帆;李相鑫 -专利权人：西安交通大学;西安中科原子精密制造科技有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J43/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道板导电层结构及其制备方法，导电层结构包括微通道板基板，在微通道基板上设置Al2O3衬底，在Al2O3衬底上设置若干层复合薄膜，复合薄膜包括Al2O3薄膜和TiN薄膜，将TiN/Al2O3复合陶瓷薄膜作为微通道板的导电层，通过设置TiN的薄膜厚度，使得在几十至几百兆欧量级能够调控微通道板的体电阻，满足不同应用场景的需求，并且在施加不同偏置电压下，导电层的体电阻变化较小，提高了微通道板导电层的稳定性。制备方法利用原子层沉积技术，交替调整TiN和Al2O3材料所需的前驱体，制备出TiN/Al2O3复合陶瓷薄膜作为微通道板的导电层。在Al2O3的原子层沉积次数一定时，随着子循环中的TiN原子层沉积循环次数的增加，微通道板的体电阻明显降低。
一种通道导电结构及其制备方法

[实用新型]红紫外复合火焰探测器-CN202120507442.0有效
发明人：赵卫;洪云帆;朱香平;韦永林 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G08B17/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种红紫外复合火焰探测器，涉及火焰探测器技术领域，其包括主控、第一红外探测模块、第二红外探测模块、紫外探测模块以及至少一个火警信息反馈模块；第一红外探测模块和第二红外探测模块分别用于探测不同波段的红外线，紫外探测模块用于探测紫外线；第一红外探测模块、第二红外探测模块、紫外探测模块以及火警信息反馈模块均与主控信号连接。本实用新型主要解决复合型火焰探测器对细微火苗监测的灵敏度不高的问题；第一红外探测模块和第二红外探测模块分别用于探测不同波段的红外线，对火焰产生的红外线，其探测波段更宽，对细微火苗监测的灵敏度高。
紫外复合火焰探测器

[实用新型]一种紫外-可见光火焰探测器-CN202120509523.4有效
发明人：赵卫;洪云帆;朱香平;韦永林 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G08B17/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种紫外‑可见光火焰探测器，涉及火焰探测器技术领域，其包括主控U0、黑硅光电探测模块、运算放大模块以及信息反馈模块；所述黑硅光电探测模块、所述运算放大模块以及所述主控U0依次信号连接，所述主控U0与所述信息反馈模块信号连接。本实用新型主要解决如何使火焰探测器能够及时汇报工业炉膛的火焰熄灭，同时又能降低误报率的问题；该种紫外‑可见光火焰探测器基于黑硅光电探测模块，利用了黑硅探测器在紫外‑可见光波段的超高灵敏性特点，使用一个黑硅探测器即可实现在紫外‑可见光波段的检测，完成对于火焰燃烧的实时有效的监测，对于火焰的探测具有较高灵敏度的同时，能够有效降低误报率，且能够节约成本。
一种紫外可见光火焰探测器