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- [发明专利]分离装置及分离方法-CN201810257250.1有效
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河崎仁彦
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琳得科株式会社
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2018-03-27
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2023-09-26
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H01L21/67
- 提供一种分离装置及分离方法，防止保持部件保持的粘接片材的被保持区域与该保持部件粘接。该分离装置具备：多个保持机构(20),通过保持部件(22)保持粘接片材(AS)端部，粘接片材在一个表面(AS1)和另一个表面(AS2)至少一个上粘贴有多个被粘接体(CP)或被分割为多个的被粘接体(CP)；分离机构(30)，使保持粘接片材端部的保持机构相对移动，对粘接片材赋予张力，扩大被粘接体相互间隔，粘接片材通过被赋予规定能量(UV)，其粘接力下降，具备对粘接片材赋予规定能量的能量赋予机构(50)，保持部件通过与粘接片材一个表面(AS1)侧抵接的一侧保持部件(22A)、及与粘接片材另一个表面(AS2)侧抵接的另一侧保持部件(22B)，夹入并保持粘接片材端部，一侧保持部件(22A)以及另一侧保持部件(22B)中的至少一个可透过规定的能量。
- 分离装置方法
- [发明专利]分离装置及分离方法-CN201810319555.0有效
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河崎仁彦
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琳得科株式会社
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2018-04-11
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2023-03-28
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H01L21/67
- 一种能够切实地使粘接片材的端部保持在分离用保持机构的分离装置及分离方法。该分离装置具备：多个分离用保持机构，保持一体物中粘接片材的端部，一体物的粘接片材的一个表面和另一个表面的至少一个粘贴有多个被粘接体或被分割为多个的被粘接体；分离机构，使保持粘接片材的端部的分离用保持机构相对移动，对粘接片材赋予张力，扩大被粘接体相互间隔，具有转移机构，保持一体物并将一体物转移至多个分离用保持机构，转移机构具备：多个转移用保持机构，保持一体物中粘接片材的另外端部；张力赋予机构，使保持粘接片材的另外端部的转移用保持机构相对移动，对包含分离用保持机构保持的端部的粘接片材外缘部赋予规定的张力；输送机构，输送通过转移用保持机构保持的一体物。
- 分离装置方法
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