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[发明专利]具有射束倾斜的带电粒子束装置及其方法-CN202180083435.5在审
发明人：任伟明;刘学东;沙赫杜尔·霍克;季晓宇;H·A·迪伦 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：一种带电粒子装置，包括带电粒子源(401)和第一偏转器(421)，该第一偏转器(421)被配置为使带电粒子束偏转而以射束倾斜角度着陆在样品表面上，其中第一偏转器基本上位于物镜(411)的主平面处。在其他实施例中，该装置可以包括第一偏转器、第二偏转器和第三偏转器，该第一偏转器位于带电粒子源与物镜之间，并且被配置为使带电粒子束偏转远离主光轴；该第二偏转器基本上位于物镜的焦平面处，并且被配置为使带电粒子束偏转回主光轴；并且该第三偏转器基本上位于物镜的主平面处，其中第三偏转器被配置为使物镜的摆动中心移位到离轴摆动位置，并且其中第一偏转器和第二偏转器被配置为使带电粒子束偏转以使其穿过离轴摆动位置，在第一着陆位置处着陆在样品的表面上并且具有射束倾斜角度。
具有倾斜带电粒子束装置及其方法

[发明专利]使用增强偏转器操纵带电粒子束的装置-CN202180032940.7在审
发明人：王勇新;董仲华;季晓宇;沙赫杜尔·霍克;任伟明;刘学东;叶国凡;简国晋 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：一种装置包括被定位在第一层中、被配置为影响带电粒子束的第一带电粒子束操纵器和被定位在第二层中、被配置为影响带电粒子束的第二带电粒子束操纵器。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括具有第一组相对电极和第二组相对电极的多个电极。电连接到第一组的第一驱动器系统可以被配置为向第一组提供多个离散输出状态。电连接到第二组的第二驱动器系统可以被配置为向第二组提供多个离散输出状态。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括多个段；以及控制器，具有被配置为个体地控制多个段中的每段的操作的电路系统。
使用增强偏转操纵带电粒子束装置

[发明专利]具有多个检测器的带电粒子束装置和成像方法-CN202180027392.9在审
发明人：刘学东;周为民;陈晓雪;季晓宇;李衡;沙赫杜尔·霍克;李宗肴;刘书豪;任伟明 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：公开了使用带电粒子束装置对样品进行成像的系统和方法。带电粒子束装置可以包括复合物镜，该复合物镜包括磁透镜和静电透镜，该磁透镜包括空腔，以及位于紧邻磁透镜的极片的上游并且在磁透镜的空腔内部的电子检测器。在一些实施例中，偏转器可以位于电子检测器和与样品相邻的极片的开口之间以实现大视场。通过改变静电物镜中的(多个)控制电极的电位，可以在不改变着陆能量的情况下操纵检测器之间的电子分布。电子源可以用若干离散电位来操作以覆盖不同的着陆能量，而电子源和提取器之间的电位差是固定的。
具有检测器带电粒子束装置成像方法