专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种激光划片机用吸盘-CN202321645670.X有效
  • 曹正第;赵陨;韩华超;刘荒;袁悦;张志勇;李东旭;陈立新;尹宁;高振峰;张哲;艾平 - 沈阳新势汇博科技有限公司
  • 2023-06-27 - 2023-10-27 - B23K26/36
  • 本申请提供了一种激光划片机用吸盘,包括吸盘台面和气动接头;吸盘台面的顶部设有至少一个环形的凹槽,每一凹槽上设有至少一个第一通孔,吸盘台面内部设有空腔,凹槽通过至少一个第一通孔与空腔连接,吸盘台面的侧壁设有插孔,插孔与空腔连接;气动接头的一端连接插孔,气动接头的另一端用于与真空源连接。由于本申请在吸盘内部设置了空腔,使得真空源没有直接与凹槽连通,而是通过空腔(放置晶圆后的空腔经过抽空空气后为真空环境)与凹槽连通。当真空源的气压出现波动时,由于真空环境的空腔对气压的波动进行了大量的缓冲,从而能够在真空源气压波动时,仍然牢固地吸附晶圆,降低切割晶圆的废片率。
  • 一种激光划片吸盘

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