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[发明专利]流量传感器及其制作方法-CN202210668802.4有效
发明人：丰永;沈省;兰之康 -专利权人：南京高华科技股份有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01F1/69 文献下载
摘要：本申请公开了一种流量传感器及其制作方法，所述方法包括：提供柔性衬底(1)；在所述柔性衬底(1)表面形成牺牲层(2)；在所述牺牲层(2)上形成加热电阻(3)，所述加热电阻(3)位于所述柔性衬底(1)表面的中心；在所述柔性衬底(1)表面形成多个焊盘(4)，多个所述焊盘(4)绕所述柔性衬底(1)表面的中心阵列分布；在所述牺牲层(2)上形成多个导线(5)，每个所述导线(5)连接在所述加热电阻(3)及相应所述焊盘(4)之间；去除所述牺牲层(2)；使所述柔性衬底(1)径向收缩，以使所述加热电阻(3)远离所述柔性衬底(1)表面。本申请的方法无需在衬底上设置隔热腔，而且能够使加热电阻和柔性衬底之间保持较大的距离来进行隔热，有利于提高器件灵敏度，降低器件制作难度。
流量传感器及其制作方法

[实用新型]一种宽时高温大热流传感器-CN201721115701.5有效
发明人：张翠平;丰永;方俊;杨敏;王京港;沈省;卢斌 -专利权人：南京理工大学紫金学院
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： G01J5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种宽时高温大热流传感器，包含热流敏感芯体，设置在沿热流敏感芯体轴向两侧的绝热瓷环A、绝热瓷环B，不锈钢壳体，不锈钢端盖和转接板，热流敏感芯体的引出线和外接导线焊接到转接板上，热流敏感芯体由敏感面和两段截面不等的圆柱形铜储热体组成，敏感面涂覆黑体辐射涂料，圆柱形铜储热体的外表面抛光并镀上一层薄银涂层。本实用新型通过在敏感面涂覆黑体辐射涂料，提高了敏感面吸收率，储热体设计成两段截面不等的圆柱形，在前端小截面处与不锈钢外壳间、后端与热流端盖处分别放置绝热瓷环，减少热流入射时热量向储热体的传递，此外还延长了工作时间，改进了结构的整体可靠性。
一种高温热流传感器

[发明专利]一种宽时高温大热流传感器-CN201710780089.1在审
发明人：张翠平;丰永;方俊;杨敏;王京港;沈省;卢斌 -专利权人：南京理工大学紫金学院
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： G01J5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种宽时高温大热流传感器，包含热流敏感芯体，设置在沿热流敏感芯体轴向两侧的绝热瓷环A、绝热瓷环B，不锈钢壳体，不锈钢端盖和转接板，热流敏感芯体的引出线和外接导线焊接到转接板上，热流敏感芯体由敏感面和两段截面不等的圆柱形铜储热体组成，敏感面涂覆黑体辐射涂料，圆柱形铜储热体的外表面抛光并镀上一层薄银涂层。本发明通过在敏感面涂覆黑体辐射涂料，提高了敏感面吸收率，储热体设计成两段截面不等的圆柱形，在前端小截面处与不锈钢外壳间、后端与热流端盖处分别放置绝热瓷环，减少热流入射时热量向储热体的传递，此外还延长了工作时间，改进了结构的整体可靠性。
一种高温热流传感器