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[发明专利]半导体设备的调试方法及半导体器件的制备方法-CN202010547902.2有效
发明人：鲍锡飞;沈润生 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体设备的调试方法，包括以下步骤：提供模拟晶圆；将模拟晶圆置于刻蚀腔室内，在使用刻蚀气体对模拟晶圆进行刻蚀的同时，使用温度控制装置对腔室内温度进行调控；刻蚀过程中，各刻蚀孔表面均形成有聚合物层；获取整个模拟晶圆中聚合物层的厚度分布图；将获取的厚度分布图与目标厚度分布图进行比对；根据比对结果调整温度控制装置对模拟晶圆各区域的温度调控效果，以调节聚合物层在整个晶圆的厚度均匀性。基于在模拟晶圆上形成聚合物层来检测出聚合物层均过厚或者过薄的区域，调整温度控制装置对模拟晶圆各个区域的温度调控效果能够对聚合物层在整个晶圆表面的厚度分布做出控制，达到提高正式生产中聚合物层分布的均匀性的目的。
半导体设备调试方法半导体器件制备

[发明专利]一种基于能量单元切割的突出煤层消突方法-CN202310899296.4在审
发明人：蒋静宇;张放;魏民涛;赵伟;陈钢;沈润生 -专利权人：中国矿业大学
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： E21C41/18 文献下载
摘要：本发明涉及的一种基于能量单元切割的突出煤层消突方法，将煤层待消除突出危险性区域划分成若干个矩形能量切割单元，由底板岩巷向各个单元均匀施工若干列穿层水力冲孔钻孔并进行冲孔；水力冲孔钻孔施工完毕并封孔后，将水力冲孔钻孔与瓦斯抽采管路相连接，进行瓦斯抽采；所有水力冲孔钻孔与瓦斯抽采管路连接完毕后，再由底板岩巷向各个单元施工穿层钻孔进行定向聚能爆破。本发明实现了突出煤层的高效卸压增透抽采，释放煤层应力，降低煤体能量，减少了大量时间和人力物力成本。
一种基于能量单元切割突出煤层方法

[发明专利]一种煤矿井下立体多维瓦斯治理方法-CN202111210597.9有效
发明人：魏民涛;罗中正;沈润生;张格强;秦波涛;程子华;高远;陈洪涛;高向阳;唐俊;杨洪伟;蒋剑飞;司贤让;陈严 -专利权人：河南神火煤电股份有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： E21B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种煤矿井下立体多维瓦斯治理方法，包括以下步骤：S1、在煤层下方布置底板岩巷和钻机；S2、操作钻机以与煤层呈锐角钻进；S3、完成直段主孔钻进后；控制钻进方向逐渐平行于煤层方向，继续钻进；S4、放入分隔造斜器，使钻杆方向逐步倾斜向煤层方向，与煤层呈锐角钻进；继续钻入至煤层顶板，完成一个羽状定向分支孔的钻进；S5、调整分隔造斜器位置，改变孔底马达的钻进方向，完成对称位置的另一个羽状定向分支孔的钻进；S6、将造斜器移至另一组预设开孔位置，重复多次，最终完成由若干对羽状定向分支孔构成的立体化定向瓦斯抽采孔。本发明将羽状分支定向钻孔与的穿层钻孔、顺层钻孔相结合，实现在煤层水平和垂直方向的立体化瓦斯治理。
一种煤矿井下立体多维瓦斯治理方法

[发明专利]晶圆晶边缺陷的检测方法和检测系统-CN202310745069.6在审
发明人：李振兴;周保保;沈润生;孙玉乐;王张柯 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06V10/75 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种晶圆晶边缺陷的检测方法和检测系统。该检测方法，包括：建立特征数据库，特征数据库包括特征参数的预设值；提供完成预设制程的待测晶圆，并将待测晶圆上与待测晶圆的边缘之间的距离在3mm～1mm内的区域设置为待测区域；对待测区域进行扫描，以得到扫描图像；对扫描图像进行数据处理，以得到待测区域对应的特征参数的实际值；根据实际值和预设值，判定预设制程是否存在异常。可以实时检测完成预设制程的待测晶圆是否存在异常，克服人工无法实时监控晶圆晶边的缺陷且存在误判风险的问题。
晶圆晶边缺陷检测方法系统

[发明专利]一种松软煤层底板穿层沿顶梳状钻孔全程瓦斯抽采方法-CN202011224078.3有效
发明人：魏民涛;唐俊;沈润生;高远;高向阳;程子华;张格强;陈洪涛;秦波涛 -专利权人：河南神火煤电股份有限公司;中国矿业大学
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： E21B7/04 文献下载
摘要：本发明属于煤矿瓦斯治理类技术领域，公开了一种松软煤层底板穿层沿顶梳状钻孔全程瓦斯抽采方法，即采用底板穿层沿顶梳状钻孔冲孔‑压裂‑冲孔增透煤层抽采瓦斯，具体步骤包括：首先在底板巷施工穿层钻孔进入煤层顶板，沿顶布置水平顺层钻孔，同时每隔25‑30m施工向下分支压裂钻孔，进入煤层底板2m；其次对分支煤孔实施水力冲孔，同时排出煤渣，逐渐增加注水压力，实现阶段封孔，启动煤层水力压裂，注水压力25MPa‑30MPa，达到目标压力和时间后停止压裂，降低注水压力再冲孔；重复以上步骤，完成全部分支钻孔增透工作；最后连接抽放管实施煤层全程瓦斯抽采。本发明适用于松软煤层，可以大幅度增加煤层透气性，降低煤层的瓦斯压力和含量，提高煤层瓦斯治理效果。
一种松软煤层底板穿层沿顶梳状钻孔全程瓦斯方法

[实用新型]一种用于煤矿水力冲孔出煤量称重的装置-CN202320024487.1有效
发明人：魏民涛;蒋静宇;沈润生;张伟;张敬军;张格强;程子华;杨洪伟;陈洪涛 -专利权人：河南神火煤电股份有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： E21C25/60 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种用于煤矿水力冲孔出煤量称重的装置，它包括储煤仓和设置在储煤仓下方的称重装置，所述储煤仓的一个侧面设有一个可开启的仓门，另一个侧面设有一个进煤口；所述储煤仓内设有两层，上层与下层的一侧铰接，另一侧通过液压装置连接；上层与下层之间设有第一层滤网，所述第一层滤网设置在仓门的下方；所述第一层滤网的一个侧边与设置仓门的储煤仓侧面连接，第一层滤网的另一个侧边与设置进煤口的储煤仓侧面通过隔板连接；所述隔板的下方设有液压装置。本实用新型在冲孔过程中实时对冲孔出煤量进行称重并在冲孔达标时提醒工人停止作业，冲孔结束后煤浆可由液压装置自动倒入矿车或者运输皮带，大大降低了工人的劳动强度。
一种用于煤矿水力冲孔出煤量称重装置

[发明专利]一种煤矿构造区厚煤带突出能量单元的精准切割方法-CN202310014927.X在审
发明人：魏民涛;蒋静宇;沈润生;张伟;张敬军;张格强;程子华;杨洪伟;陈洪涛 -专利权人：河南神火煤电股份有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： E21F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及的一种煤矿构造区厚煤带突出能量单元的精准切割方法，从底板岩巷向远离断层附近变厚带的煤层施工一个参数测定钻孔，取样测定不受断层影响的煤层瓦斯含量；从底板岩巷向断层附近变厚带施工多个诱喷钻孔，当钻孔施工至见煤点时，取样测定煤层瓦斯含量；从底板岩巷向诱喷钻孔中间施工若干穿层钻孔作为风力扩孔钻孔，在诱喷钻孔和风力扩孔钻孔中间穿插施工若干补充抽采钻孔；依次对诱喷钻孔、风力扩孔钻孔和补充抽采钻孔进行封堵并连接抽采管路，通过瓦斯抽采降低断层附近变厚带的瓦斯压力和瓦斯含量。本发明安全消除断层附近煤层变厚带的异常富集能量，实现煤矿构造区厚煤带的瓦斯高效抽采和精准消突。
一种煤矿构造区厚煤带突出能量单元精准切割方法

[发明专利]一种半导体器件的制作方法-CN202110291475.0有效
发明人： 沈润生;鲍锡飞;朱长立 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/8242 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种半导体器件的制作方法，包括以下步骤：提供衬底；在衬底上形成叠层结构，叠层结构的顶部为盖层；在盖层上形成掩膜结构，掩膜结构包括由上至下依次堆叠的掩膜层和图形转移层；对掩膜结构进行第一刻蚀，以形成第一盲孔，第一盲孔贯穿掩膜结构且止于盖层中；对掩膜结构进行第二刻蚀，去除掩膜层，以平整图形转移层的顶面以及修整第一盲孔的底部。
一种半导体器件制作方法

[发明专利]一种定向长钻孔联合底板穿层钻孔立体化瓦斯抽采方法-CN202110484241.8有效
发明人：秦波涛;魏民涛;高远;沈润生;卢志杰;陈成宇;程子华;张格强;唐俊;李东风;高向阳;陈洪涛;周游 -专利权人：中国矿业大学;河南神火煤电股份有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： E21F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种定向长钻孔联合底板穿层钻孔立体化瓦斯抽采方法，通过煤层底板岩巷向煤层顶底板施工定向穿层主钻孔，每间隔20‑30m施工穿层分支钻孔，并对各分支孔进行水力冲孔作业，冲孔压力不低于10MPa，直至完成全部钻孔施工与冲孔工序后，连接抽放管进行采前煤层瓦斯预抽、工作面掘进及回采期间采动卸压瓦斯抽采以及采后老空区瓦斯抽采，服务全过程。该发明利用煤层顶底板穿层定向钻孔交叉穿过煤层，采取水力化增透措施，实现对煤层瓦斯预抽，同时采掘作业进一步松动煤岩层，促进瓦斯解吸，提高定向长钻孔瓦斯抽效果，同时一条底板巷能服务1～2个回采面，大幅减少岩巷掘进工程量，有效缓解矿井“抽、掘、采”接替紧张，促进矿井高效集约化发展。
一种定向钻孔联合底板立体化瓦斯方法

[发明专利]一种机台试运行的方法、系统-CN202210843766.0在审
发明人：朱长立;沈润生;章家伟;张启强 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本公开提出一种机台试运行的方法、系统，所述方法包括：提供产品批次；检查所述产品批次的历史数据，并对所述历史数据满足预设条件的产品批次进行标记；确定待试运行的制程机台；识别并使用经过所述标记的产品批次对所述待试运行的制程机台进行试运行。本公开检查所述产品批次的历史数据，并对所述历史数据满足预设条件的产品批次进行标记，筛选出需要试运行的制程机台或制程配方，通过设备自动化管理系统从经过所述标记的产品批次中选择合适范围的批次对待试运行的制程机台或制程配方进行试运行，提升机台试运行的准确率，提高产品的制程能力指数，提升产品良率。
一种机台试运行方法系统

[实用新型]一种矿用瓦斯抽采主管路气固自动分离装置-CN202221027606.0有效
发明人： 沈润生;程子华;王文广;王志丰;徐雷;赵琳;张斌;洪冲;葛飞 -专利权人：河南神火煤电股份有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B01D46/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种矿用瓦斯抽采主管路气固自动分离装置，涉及瓦斯抽采技术领域，本实用新型包括气固分离箱体，气固分离箱体的内部固定连接有铁抽采管，气固分离箱体的顶部设置有出气口，铁抽采管的顶部固定连接有第一蝶阀，铁抽采管的顶部通过第一蝶阀连通有第一三通管，出气口的顶部固定连接有第二蝶阀，出气口的顶部通过第二蝶阀连通有第二三通管，第二三通管的一端固定连接有第三蝶阀，第二三通管通过第三蝶阀与第一三通管相连通。本实用新型通过设置较为简单的结构对气体进行净化，设置独特的清渣结构，具有采管路内煤渣等杂物自动分离，净化混合气体、清理过程中不影响抽采系统正常工作、不增加抽采主管路抽采阻力和制造成本低的优点。
一种瓦斯主管路气固自动分离装置

[实用新型]一种可调节风向的煤矿通风装置-CN202123099376.7有效
发明人： 沈润生;赵永光;韩忍;高永坤;陈月华;王亚洲;李相威;秦卫兵;高向阳 -专利权人：河南神火煤电股份有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： E21F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节风向的煤矿通风装置，涉及煤矿设备技术领域。包括底座，底座上侧设有移动装置装置，移动装置前侧设有调节装置，所示调节装置内设有出风装置，调节装置包括第一支撑板，第一支撑板固定连接有L形板，L形板固定连接有第一电机，第一电机固定连接有第一转轴，第一转轴贯穿L形板，第一转轴固定连接有U形架，出风装置置于U形架内，出风装置右侧水平插设有第二转轴，第二转轴右侧套设有第一转动件，第一转动件转动连接有第二转动件，第二转动件插设有第三转轴，第三转套设有第二支撑板，第三转轴顶端固定连接有第二电机。本实用新型通过设置调节装置，能够实现出风装置多角度出风的效果。
一种调节风向煤矿通风装置

[实用新型]一种分支孔钻孔角度监测装置-CN202120317973.3有效
发明人：王君;彭从庆;魏明涛;石本华;李仲远;沈润生;高向阳;旷永华;刘海东;欧云科;闫宪良;杨廷彬;魏虎;王江涛;李超;胡代洪 -专利权人：重庆平山机电设备有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： E21B47/022 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分支孔钻孔角度监测装置，分支孔钻孔角度监测装置包括电子水辫、通缆钻杆及设有喷嘴的钻孔器，所述通缆钻杆设于所述钻孔器和所述电子水辫之间，所述通缆钻杆与所述钻孔器和所述电子水辫同轴固接，所述钻孔器内设有与所述通缆钻杆和所述电子水辫电连接、用以检测所述喷嘴的倾斜角的角度传感器，还包括与所述电子水辫电连接、用以显示所述角度传感器检测到的角度值的角度显示装置。相较于传统通过刻度盘监测分支孔钻孔的方向(角度)，上述分支孔钻孔角度监测装置不仅能够监测各分支孔的具体角度，而且监测精度高，操作方便，从而可以提高每个分支孔钻孔方位的精确度。
一种分支钻孔角度监测装置

[实用新型]一种钻孔角度监测装置-CN202120317974.8有效
发明人：王君;彭从庆;魏明涛;石本华;李仲远;沈润生;高向阳;旷永华;刘海东;欧云科;闫宪良;杨廷彬;魏虎;王江涛;李超;胡代洪 -专利权人：重庆平山机电设备有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： E21B47/022 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钻孔角度监测装置，钻孔角度监测装置包括水辫、钻杆及设有喷嘴的钻孔器，所述钻杆设于所述钻孔器和所述水辫之间，且所述钻杆与所述钻孔器和所述水辫同轴固接，还包括与所述水辫固接、用以检测所述喷嘴的倾斜角的角度传感器以及与所述角度传感器连接、用以显示所述角度传感器检测到的角度值的角度显示装置。相较于传统通过刻度盘监测分支孔钻孔的方向(角度)，上述钻孔角度监测装置不仅能够监测各分支孔的具体角度，而且监测精度高，操作方便，从而可以提高每个分支孔钻孔方位的精确度。
一种钻孔角度监测装置

[实用新型]一种静态梳状钻孔装置-CN202120319284.6有效
发明人：魏明涛;石本华;李仲远;沈润生;高向阳;刘海东;欧云科;闫宪良;杨廷彬;魏虎;王江涛;李超;胡代洪 -专利权人：重庆平山机电设备有限公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： E21B7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种静态梳状钻孔装置，静态梳状钻孔装置包括具有钻杆的钻机，钻杆的末端固接有用以破碎岩层和煤层的钻孔器，钻孔器设有喷嘴，钻机通过高压管连接有高压水泵，通过高压水泵和高压管向钻机输入高压水，高压水经钻杆输送至钻孔器，并通过喷嘴形成高压水射流，以施工分支孔。上述静态梳状钻孔装置能够通过一次下杆实现对于先导孔和分支孔的施工，从而可以提高施工效率，且上述施工方式针对主孔(先导孔)的施工数量少，分支孔全部为有效进尺，其无效进尺比例小，从而可以在一定程度上降低生产成本；同时，上述静态梳状钻孔装置能够解决先导孔施工后由于塌孔而导致后续施工无法进行的问题。
一种静态钻孔装置

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