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[实用新型]一种薄片物料出料移送机构-CN202321021293.2有效
发明人：李奇林;欧阳鸿;冯冠乔 -专利权人： 江苏德怡半导体技术有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种薄片物料出料移送机构，该机构包括工位台，工位台上并排设有多个弹夹仓的固定位；机构还包括于固定位的出料端夹持位于弹夹仓内的工件的夹爪模组，和驱动夹爪模组移至上料工位上的驱动模组，以及对应固定位设置的托料模组；驱动模组包括安装夹爪模组的安装架，和驱动安装架横向移动的横移单元；夹爪模组对应多个固定位设有多个，夹爪模组沿多个固定位的排布方向滑动设置在安装架上，安装架上设有定位夹爪模组的定位件，夹爪模组包括上下相对设置的两夹持块，和驱动两夹持块上下相对活动的驱动单元；本方案通过上下相对的两夹持块可于弹夹仓的出料端将工件拉出，相比较传统的推料方式，可避免工件因受挤压力导致的变形。
一种薄片物料移送机构

[发明专利]一种等离子表面处理设备-CN202310477951.7在审
发明人：李奇林;欧阳鸿;冯冠乔 -专利权人： 江苏德怡半导体技术有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子表面处理设备，包括电极板和底座，底座上设有凹槽，凹槽的底面上设有离子喷射区，电极板设于离子喷射区上，电极板上设有承放工件的承载机构；设备还包括将电极板密封在凹槽内的活动盖；活动盖的下表面上设有进气扩容凹腔，以及密封进气扩容凹腔的扩散板；扩散板上对应离子喷射区均匀分布有多个出气孔，出气孔的轴线与离子喷射区所在平面垂直；活动盖与底座贴合的侧壁上设有第一进气道，第一进气道连通进气扩容凹腔的内侧壁，底座上设有与第一进气道连通的第二进气道，离子喷射区上设有贯穿底座的排气孔；本发明通过进气扩容凹腔和扩散板上的出气孔可保证电离气体可均匀喷射在工件上表面上，一次性加工面积大，整体结构简单。
一种等离子表面处理设备