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[实用新型]测热式微型流量传感器-CN200520117385.6无效
发明人：傅新;谢海波;杨华勇;段萱苡 -专利权人：浙江大学
申请日： 2005-12-19 - 公布日： 2007-01-03 - 主分类号： G01F1/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填充物；或在中间填充有硅胶填充物的单晶硅衬底上面设有热电堆半导体电极和加热元件，热电堆半导体电极从自下至上依次设有二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜。将传感器放在流道中，加热元件供电后产生热量，位于两侧的热电堆分别输出由各自所测量的流场范围内的温度分布差异而产生的电压信号，将两个电压信号相减后作为最终输出的电压信号，由此实现测热式流量测量。
式微流量传感器

[发明专利]一种测热式微型流量传感器-CN200510062113.5无效
发明人：傅新;谢海波;杨华勇;段萱苡 -专利权人：浙江大学
申请日： 2005-12-19 - 公布日： 2006-06-14 - 主分类号： G01F1/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填充物；或在中间填充有硅胶填充物的单晶硅衬底上面设有热电堆半导体电极和加热元件，热电堆半导体电极从自下至上依次设有二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜。将传感器放在流道中，加热元件供电后产生热量，位于两侧的热电堆分别输出由各自所测量的流场范围内的温度分布差异而产生的电压信号，将两个电压信号相减后作为最终输出的电压信号，由此实现测热式流量测量。
一种式微流量传感器

[实用新型]测热型和风速计一体化流速传感器-CN200420082051.5无效
发明人：傅新;谢海波;段萱苡;杨华勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2004-08-18 - 公布日： 2005-08-10 - 主分类号： G01F1/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测热型和风速计一体化流速传感器。在沟槽封装层自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽的硅衬底、横膈膜、一组电阻相同的复合金属丝阵列、盖在复合金属丝阵列上的金属丝封装层，复合金属丝阵列以中心一条加热丝为轴对称平行排列N对金属丝；在横膈膜左右两侧有与金属丝相同条数并与金属丝两端相连的芯片电节点。本实用新型将风速计和测热型探头集成为一排镍/铬复合金属丝阵列，探测一维流动的流速和流向，实现低流速的精密测量和较大的动态测量范围。该传感器具有体积小，成本低，能耗低等特点。该传感器既可用作探头式传感器进行常规管道的流量计量，又可作为管路式传感器测量微流控系统中微小管道的流量，扩大了传感器的应用范围。
测热型风速计一体化流速传感器

[发明专利]热脉冲时差式流量检测方法-CN200410067741.8无效
发明人：傅新;谢海波;段萱苡;杨华勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2004-10-29 - 公布日： 2005-04-06 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种热脉冲时差式流量检测方法。将传感器放入与流速方向平行的管道中，对加热测温元或者加热元提供脉冲供电，产生脉冲电流，测量加热测温元或者表征加热元温度的测温元的温度变化，得到加热测温元或者表征加热元温度的测温元输出信号曲线；再对沿流速方向处于加热测温元或者表征加热元温度的测温元下游的测温元的温度变化进行测量，亦得到测温元输出信号曲线；将两条曲线进行对比，通过检测该时间滞的时滞值，即测定流速。本发明特别适用于成分恒定的气体的中、低速范围的测量。它在传统热式质量流量的原理上进行改进，对加热元提供脉冲式供电，通过比较加热元的温度变化信号和测温元的温度变化信号之间的时滞来完成对流量的检测。
脉冲时差流量检测方法

[发明专利]测热型和风速计一体化流速传感器-CN200410053922.5无效
发明人：傅新;谢海波;段萱苡;杨华勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2004-08-18 - 公布日： 2005-03-02 - 主分类号： G01F1/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种测热型和风速计一体化流速传感器。在沟槽封装层自下而上依次装有腐蚀形成横截面为梯形沟槽的硅衬底、横膈膜、一组电阻相同的复合金属丝阵列、盖在复合金属丝阵列上的金属丝封装层，复合金属丝阵列以中心一条加热丝为轴对称平行排列N对金属丝；在横膈膜左右两侧有与金属丝相同条数并与金属丝两端相连的芯片电节点。由于本发明将风速计和测热型探头集成为一排镍/铬复合金属丝阵列，探测一维流动的流速和流向，实现低流速的精密测量和较大的动态测量范围。该传感器具有体积小，成本低，能耗低等特点。该传感器既可用作探头式传感器进行常规管道的流量计量，又可作为管路式传感器测量微流控系统中微小管道的流量，扩大了传感器的应用范围。
测热型风速计一体化流速传感器