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[实用新型]一种自动化串水装置-CN202221373424.9有效
发明人：刘鼎;赵福志;殴毅;黄应发;陈拔云;庄雪生;陈海江;柳超;谭清亮 -专利权人：友联船厂（蛇口）有限公司;招商局重工（深圳）有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： F24H1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及船舶管路冲洗作业的技术领域，具体涉及自动化串水装置，包括转运框架、串水组件和控制箱，串水组件安装在转运框架上，串水组件包括水柜、离心泵和过滤器，水柜上设有加注口，离心泵一端连接水柜，另一端连接串水管路，串水管路的出水端水流经所述过滤器回流至水柜构成闭合回路；水柜上设有加热器、液位报警开关和温度传感器，闭合回路上设有温度计、流量计、压力表和压力传感器；控制箱分别与加热器、液位报警开关、温度传感器和压力传感器电连接。当压力传感器检测到压力过高时可使水泵减速乃至停止工作，并发出故障报警信息。本申请中的自动化串水装置自动化程度高、故障率低、运行稳定以及减少值守人员，大大提高清洗效率。
一种自动化装置

[发明专利]基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列的制作方法-CN200610066888.4无效
发明人：石莎莉;陈大鹏;景玉鹏;殴毅;董立军;叶甜春 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2006-03-31 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： H01L21/822 文献下载
摘要：一种基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列，其与反光板连接的悬臂梁固支在利用各向同性腐蚀出的近似楔型硅柱上，其阵列中单元结构分为独立式和嵌套式。该非制冷红外焦平面阵列器件的工艺步骤如下：1.在<100>硅基片上淀积氮化硅薄膜；2.在正面氮化硅薄膜表面光刻，表面淀积铬薄膜，剥离；3.刻蚀氮化硅薄膜，去铬，清洗处理表面；4.在图形表面光刻，表面淀积金薄膜，剥离，在支撑悬臂梁上形成厚的间隔镀金；5.继续在图形表面光刻，表面淀积金薄膜，剥离，在反光板上形成薄的镀金；6.正面腐蚀硅衬底，形成近似楔型硅柱来支撑悬臂梁，同时释放悬臂梁和反光板薄膜形成非制冷红外焦平面阵列。
基于衬底牺牲制冷红外平面阵列制作方法