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[发明专利]管外微波等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置及方法-CN202310046925.9在审
发明人：蔡冰峰;康志文;郭康富 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C03B37/018 文献下载
摘要：本发明提供了一种管外微波等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置及方法，包括微波腔体，微波腔体与微波发生装置连接，微波发生装置用于产生常压微波等离子体；在微波腔体内设有外层石英管，在外层石英管内同轴设有中心石英管；中心层工艺气入口与中心石英管的一端连通，在同一端，外层工艺气入口与外层石英管和中心石英管之间的腔体连通；外层石英管的另一端开口高度超出微波腔体之外，用于向靶棒喷出离子物料以形成沉积层，中心石英管另一端的开口位于微波腔体的高度范围内。本发明采用微波等离子体作为热源，能量利用率高，微波等离子体能量耦合效率接近100%；原料利用效率高，无燃烧设备，设备工作稳定。
微波等离子体化学沉积制备光纤预制装置方法

[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置-CN202211436035.0在审
发明人：康志文;蔡冰峰;郭康富 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括依次连接的微波发生器、隔离器、三销钉微波调谐器、微波模式转换器与短路活塞，所述微波模式转换器上设有伸入微波腔体且与石英窗口上方对应的微波天线与上冷却风入口，所述微波模式转换器的下方设有位于微波腔体内的石英窗口，所述微波腔体内的样品台上设有金属钼台，所述微波腔体上设有冷却水道。本发明采用上述结构的一种微波等离子体化学气相沉积装置，对腔体结构、石英窗口的密封结构与散热等方面进行改进，改善沉积生产出金刚石薄膜的产品质量。
一种微波等离子体化学沉积装置

[发明专利]一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法-CN202110273909.4有效
发明人：康志文 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： C03B37/018 文献下载
摘要：本发明涉及光纤及光电子器件技术领域，公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法，通过在石英管组件的中心设置中心靶棒，使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积(常规PCVD工艺)，也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体外沉积，特别适合生产带低折射率包层的预制棒。同时，相比常规的PCVD工艺，在制备低折射率包层的预制棒时不需要用掺氟石英管，降低了沉积失败的风险。
一种等离子体化学沉积法制光纤预制装置方法

[实用新型]一种随动式往复运动机构-CN202221014477.1有效
发明人：康志文 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F16H19/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种随动式往复运动机构，包括：基座和设置于基座上的丝杆传动机构，丝杆传动机构的中部固定设有一主动载台，主动载台在丝杆传动机构的带动下沿直线导轨在基座上进行往复运动；主动载台的两侧分别设有一随动载台；主动载台与随动载台通过挂钩随动件进行联动；挂钩随动件包括铰接于主动载台一侧的挂钩、用于限定挂钩位置的挂钩挡块和挂钩拉轴，挂钩的中部设有凸缘且尾端设有阶梯部，基座的侧面设有挂钩支点，挂钩挡块固定于主动载台的侧面，挂钩拉轴固定于所述随动载台的侧面，相比于现有其他具有相似功能的机构，具有结构简单、成本较低和可靠性高的优点。
一种随动式往复运动机构

[发明专利]一种用于等离子体化学气相沉积工艺的微波谐振腔-CN202210455725.4在审
发明人：康志文 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开一种用于等离子体化学气相沉积工艺的微波谐振腔，包括圆柱形微波谐振腔体的A面两侧分别设置有第一冷却水腔、第二冷却水腔；所述圆柱形微波谐振腔体的中心贯穿有PCVD沉积衬底管，PCVD沉积衬底管位于从圆柱形微波谐振腔体的中心；所述圆柱形微波谐振腔体中心设置有腔体内空腔，腔体内空腔外侧设置有冷却水通道，若干冷却水通道均匀分布在圆柱形微波谐振腔体的侧壁内；所述冷却水通道与腔体内空腔顶侧、底侧分别设置的第一冷却水腔、第二冷却水腔连通。本发明具有内置循环水冷却系统，适应高温环境工作，减少腔体尺寸变形，负载反射系数维持较低水平，提高微波能量利用率，获得高密度等离子体的特点。
一种用于等离子体化学沉积工艺微波谐振腔

[发明专利]管外等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置和方法-CN202210367066.9在审
发明人：康志文 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C03B37/014 文献下载
摘要：本发明涉及光纤预制棒技术领域，具体涉及管外等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的装置，它包括射频电源，射频电源通过射频电缆与射频匹配器连接，射频匹配器的输出端连接射频线圈；它还包括气体注入装置和与气体注入装置连通的反应石英管，射频线圈位于反应石英管外部，并与反应石英管同轴布置。本发明采用感应耦合等离子体作为热源，等离子体焰炬温度高，能量密度高，原料利用效率得到提高，沉积速率得到提高，可生产大直径光纤预制棒；本发明还提供了管外感应耦合等离子体化学气相沉积制备光纤预制棒的方法，通过本发明的方法生产，掺F后生产的光纤预制棒的折射率较高，相对于PCVD工艺可以生产大直径的光纤预制棒。
等离子体化学沉积制备光纤预制装置方法

[实用新型]一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置-CN202120943716.0有效
发明人：康志文 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： C03B37/014 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，包括底板以及加热炉，所述加热炉的顶部插接有两组限位销，且限位销设置在加热炉得到前后两端，所述挡板两侧外壁开设有一号滑槽，并在加热炉的两侧内壁开设有二号滑槽，且限位销插接在一号滑槽和二号滑槽之间。本实用新型所述的一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置，一是通过在石英管组件的中心设置中心靶棒，使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积，也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体外沉积，特别适合生产带低折射率包层的预制棒；二是通过在加热炉的外部设置限位销，能够对装置内的器件进行修理与检测，从而降低装置修理的难度。
一种等离子体化学沉积法制光纤预制装置

[实用新型]一种用于PCVD熔缩工序的多层石墨发热体结构-CN202022918145.3有效
发明人：康志文 -专利权人： 武汉友美科自动化有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C03B37/012 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于PCVD熔缩工序的多层石墨发热体结构，包括石墨圆筒体和两个电极接入点，两个电极接入点和石墨圆筒体之间通过石墨杆固定连接，且两个石墨杆以石墨圆筒体直径方向中点为中心对称设置在石墨圆筒体两侧，所述石墨圆筒体为多层结构，石墨圆筒体内层由半圆弧形的第一内发热电阻和第二内发热电阻组成，石墨圆筒体外层由半圆弧形的第一外发热电阻和第二外发热电阻组成，本实用新型通过双层发热结构的设计，能够在保持发热功率不变的情况下，将缩短炉内热区的长度缩短一半，将热区作用在石英棒更窄的区间内，可以有效解决PCVD熔缩工序中经常出现的中心气泡，黑线等缺陷问题。
一种用于 pcvd 工序多层石墨发热结构

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