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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种扭摆式微型磁敏感器-CN200810227535.7有效
发明人：任大海;尤政;武凌祺;阎梅芝;戴震宇 -专利权人：清华大学
申请日： 2008-11-28 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： G01R33/028 文献下载
摘要：本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解调模块。低阻硅片由可动结构和支座构成；可动结构包括扭摆、两根折叠梁、应力释放结构和阻尼孔；可动结构上面加工有上层金属线圈、下层金属线圈、T字型开口和SiNx绝缘层；玻璃基底上包含金属极板、金属极板引线电极和硅引线电极；支座与玻璃基底阳极键合，并使可动结构与玻璃基底脱离，成悬空状态。本发明提供的磁敏感器制作简便、灵敏度高、灵活性强；输出的信号准确、稳定。
一种扭摆式微敏感

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