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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于可替换的灯的适配器-CN201910809633.X有效
发明人：约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： F21V23/06 文献下载
摘要：本发明的实施方式大体关于一种改进的适配器，所述适配器用于在快速热处理(RTP)腔室中用作热辐射源的简化灯。在一个实施方式中，提供有灯组件。灯元件包含具有灯丝设在所述舱体中的舱体；按压密封件，耦接至舱体；及适配器，具有插座，所述插座经调整轮廓以接收所述按压密封件的至少一部分，其中所述按压密封件可移除地与所述适配器啮合。
用于替换适配器

[发明专利]用于低压环境的灯驱动器-CN201680003959.8有效
发明人： 欧勒格·V·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁;约瑟夫·M·拉内什 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式涉及用于在热处理腔室中作为热辐射源的灯的灯驱动器。灯驱动器包括电源、至少两个DC/DC转换器、至少两个DC/DC转换器之间的直接连接、以及附接至直接连接且可附接至基准电压的接线，每个DC/DC转换器与电源串联。多个灯驱动器可用来为定位于接地灯头组件中的多个灯供电。灯与接地灯头组件之间的电位减少，其减少了灯与灯头组件之间产生电弧的风险。
用于低压环境驱动器

[发明专利]灯的固持及绝缘特征结构-CN201580026139.6有效
发明人：姚东明;约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式一般涉及用于热处理腔室中被用作热辐射源的灯的经改良的固持及绝缘特征结构。在一个实施方式中，提供处理腔室。该处理腔室包括用于半导体基板热处理的灯组件、灯组件壳体、功率分配组件及分隔板，灯组件具有灯电连接器及第一侧向操作元件，灯组件壳体具有用于容纳灯组件的通道，功率分配组件具有用于承接灯电连接器及将功率传送到灯电连接器的插座，分隔板设置于灯组件壳体与功率分配组件之间，其中分隔板具有经成形以允许灯电连接器通过分隔板的通道，及分隔板具有固持特征结构，固持特征结构经构造以啮合或松开第一侧向操作元件。
绝缘特征结构

[发明专利]易取灯头-CN201480063229.8有效
发明人：约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-10-06 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本文所描述的实施方式大体涉及一种用于热处理腔室中的灯头组件的改良的功率分配组件。在一个实施方式中，灯头组件包括用于半导体基板的热处理的多个灯和具有多个开口的功率分配组件，所述功率分配组件向多个灯提供功率且各个开口被调整尺寸以允许灯从中通过。
灯头

[发明专利]用于可替换的灯的适配器-CN201480068623.0有效
发明人：约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明的实施方式大体关于一种改进的适配器，所述适配器用于在快速热处理(RTP)腔室中用作热辐射源的简化灯。在一个实施方式中，提供有灯组件。灯元件包含具有灯丝设在所述舱体中的舱体；按压密封件，耦接至舱体；及适配器，具有插座，所述插座经调整轮廓以接收所述按压密封件的至少一部分，其中所述按压密封件可移除地与所述适配器啮合。
用于替换适配器

[发明专利]易取灯头-CN201710620484.3在审
发明人：约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-10-06 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文所描述的实施方式大体涉及一种用于热处理腔室中的灯头组件的改良的功率分配组件。在一个实施方式中，灯头组件包括用于半导体基板的热处理的多个灯和具有多个开口的功率分配组件，所述功率分配组件向多个灯提供功率且各个开口被调整尺寸以允许灯从中通过。
灯头

[发明专利]高效率高准确度加热器驱动器-CN201410718136.6有效
发明人：亚历山大·戈尔丁;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-02-18 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明揭示了一种快速热处理腔室，所述快速热处理腔室具有灯具驱动电路，灯具驱动电路包含两个晶体管和两个二极管。快速热处理腔室包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，温度控制器提供控制信号给灯具驱动器，控制信号为晶片温度与期望温度的函数。灯具驱动器包含由控制信号控制的两个晶体管，使得供应给多个卤素灯具的功率的功率因数(power factor)在0.9到1之间的范围。
高效率准确度加热器驱动器

[发明专利]高效率高准确度加热器驱动器-CN201180009496.3有效
发明人：亚历山大·戈尔丁;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-02-18 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明揭示了一种快速热处理腔室，所述快速热处理腔室具有灯具驱动电路，灯具驱动电路包含两个晶体管和两个二极管。快速热处理腔室包含多个卤素灯具、灯具驱动器、测量晶片温度的温度传感器以及连接至温度传感器和灯具驱动器的温度控制器，温度控制器提供控制信号给灯具驱动器，控制信号为晶片温度与期望温度的函数。灯具驱动器包含由控制信号控制的两个晶体管，使得供应给多个卤素灯具的功率的功率因数(power factor)在0.9到1之间的范围。
高效率准确度加热器驱动器

[发明专利]灯故障检测器-CN200810000075.4有效
发明人： 欧勒格·V·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁;约瑟夫·迈克尔·拉尼什 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-01-04 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： H05B37/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于为快速热处理系统中使用的灯组检测灯故障的装置和方法。该灯故障检测系统使能识别多个灯中的失效灯，并还提供故障类型的识别。该装置对经过每个灯测得的电压降值应用灯故障检测方法来确定灯是否处于故障状态。在一个实施方式中，场可编程门阵列用于对灯电压值应用故障检测方法。
故障检测器

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