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[发明专利]一种真空紫外光源结构-CN202210102617.9有效
发明人：冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;王殿恺;叶继飞;文明 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J61/33 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空紫外光源结构，包括锥形灯管、气瓶、气体流通管路、激励源、放大器、线圈(4)、屏蔽层(5)、通光窗片(2)和法兰(6)。通过锥形灯管的分区结构设计，实现在保证放电气压的前提下降低灯管末端气压，以减弱气体原子的自吸收效应，通过气体流通的设计，在锥形灯管中形成从高压至低压的压力梯度，有利于减弱气体原子的自吸收效应，提高输出的真空紫外光子数，还能及时带走放电区产生的污染物，避免污染物在通光窗片上的沉积，提高光源寿命。
一种真空紫外光源结构

[发明专利]一种真空紫外光源-CN202210102678.5有效
发明人：冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;王殿恺;叶继飞;文明 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J61/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空紫外光源，属于激光与原子相互作用技术领域，该光源包括放电激发系统、气瓶、气体流动控制系统、通光窗片(3)、法兰(4)以及激光器，激光器提供的激光将放电激发产生的亚稳态工作气体原子激发到高能级，高能级气体原子向低能级跃迁时放出真空紫外光子，提高真空紫外光输出。该光源能够解决目前气体放电灯主要存在的输出光子数不高的问题，提高真空紫外光亮度。
一种真空紫外光源

[发明专利]一种惰性气体放电真空紫外光源-CN202111336427.5有效
发明人：冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;朱潇潇;张佳乐 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J61/16 文献下载
摘要：本发明属于电子技术领域，具体涉及一种惰性气体放电真空紫外光源。本发明的惰性气体放电真空紫外光源，包括放电激发系统、气体流动控制系统、通光窗片、真空系统。通过引入氦气流降低了放电激发腔后的氪原子分压，减少了亚稳态氪原子对真空紫外光子的自吸收，提高真空紫外光输出，并能带走放电激发腔产生的污染物，避免了污染物在通光窗片上的沉积，提高了通光窗片的寿命，进而提高光源使用寿命。本发明能够解决目前气体放电灯主要存在的输出光子数不高和光源寿命短两方面的问题，提高真空紫外光输出和光源寿命。
一种惰性气体放电真空紫外光源

[发明专利]一种亚稳态氪原子束流制备装置-CN202210079807.3在审
发明人：冯高平;洪延姬;梁健玮;饶伟;宋俊玲;王殿恺;叶继飞;文明 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H05H3/02 文献下载
摘要：本发明属于亚稳态稀有气体原子制备技术领域，涉及一种亚稳态氪原子束流制备装置。本发明装置包括真空系统、氪气输送装置、放电激励装置和激光器，其中真空系统包括放电腔和光激发腔。在放电腔中，一部分氪原子直接被放电激发到亚稳态，一部分氪原子利用放电产生的真空紫外光和激光器提供的激光被光激发到亚稳态，形成了水平方向的亚稳态氪原子束流，同时为光激发腔提供了真空紫外光和激光。在光激发腔中，一部分氪原子被光激发到亚稳态，形成了竖直方向的亚稳态氪原子束流。通过调节流量控制器的状态和819.2nm的激光功率可以改变亚稳态氪原子束流强度。光激发采用无窗片结构设计，去除了窗片污染，提高了亚稳态氪原子束流强度与束流稳定性。
一种亚稳态原子制备装置