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- [发明专利]半导体制造装置用阀-CN202211335159.X在审
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堀口肇
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株式会社开滋SCT
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2022-10-28
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2023-05-05
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F16K7/14
- 本发明提供一种半导体制造装置用阀，其防止阀座的扩径，维持整体的紧凑性，且能够发挥为了防止高压流体的泄漏所必要的推力，确保闭阀时的密封性，且防止对于阀座的过大的面压来提高耐久性，耐腐蚀性优异。通过在阀主体处(1)设置的隔膜(6)和阀座(7)的接触和分离来开闭。在阀主体处，设置推压隔膜来闭阀的开闭机构(8)，在该开闭机构的内部配置载荷分散部件(10)。载荷分散部件相对于阀座被以并列状态配置，且被以开阀状态时开闭机构的连续设置部位和载荷分散部件具有既定的间隙(X1)的状态配置，设置成维持开闭机构产生的推力的同时借助阀座和载荷分散部件将闭阀时必要的紧固载荷分散来承接的双重化构造。
- 半导体制造装置
- [发明专利]管接头与阀接头部的锁定装置-CN201880091836.3有效
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木暮悠策
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株式会社开滋SCT
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2018-12-18
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2023-03-31
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F16L19/00
- 目的是提供一种锁定装置，所述锁定装置适合于原料容器等的配管和阀的接头部，能够可靠地防止接头的松动和误操作，而且是简单的零件结构，使用方便性也非常良好，并且由于在向将接头增加拧紧的朝向赋予力的同时被固定，所以其稳定性也颇为良好。为了实现由被螺入部件（20）和螺入部件（21）侧构成的接头部（4）的松动防止而设置，具备安装于被螺入部件（20）侧的增加拧紧用的夹钳部件（42）、安装于螺入部件（21）侧的定位固定用的夹钳部件（41）、和用来将这两个夹钳部件（41、42）紧固的螺纹部件（43）。通过将两个夹钳部件（41、42）用螺纹部件（43）紧固，一边向将螺入部件（21）侧增加拧紧的朝向赋予力一边被固定于接头部（4）。
- 管接头接头锁定装置
- [发明专利]隔膜阀及其阀用阀座的更换方法-CN202180015750.4在审
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本间克彦
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株式会社开滋SCT
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2021-02-08
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2022-09-16
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F16K7/17
- 提供隔膜阀及其阀用阀座的更换方法，该隔膜阀即使在高温状态下进行高速开闭动作，也能够抑制阀座的压坏或变形的发生，并且稳定地确保大流量而无变动地维持高Cv值，容易更换阀座。本发明是一种隔膜阀(1)，其特征在于，具备：设置于主体(2)内的一次侧开口部(13)的用于装配阀座的外壁部(20)、设置于外壁部(20)的内周的台阶部(21)、压入固定至台阶部(21)的座环(4)、设置于座环(4)的凸缘部(32)、以及座环(4)与外壁部(20)之间和以凸缘部(32)为底部构成的用于装配阀座的压入槽(42)，压入固定至压入槽(42)的阀座(3)以将增大该阀座(3)的上部的外周的延伸部(27)盖上于外壁部(20)的顶部(23)附近位置且将减小阀座(3)的上部的内周的延伸部(28)盖上于座环(4)的顶部(35)附近位置的状态使阀座(3)的上部稍微突出。
- 隔膜及其阀用阀座更换方法
- [发明专利]手动用隔膜阀-CN202180013744.5在审
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饭塚久修
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株式会社开滋SCT
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2021-02-08
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2022-09-09
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F16K35/00
- 本发明在于，提供一种手动用隔膜阀，该手动用隔膜阀通过简单的构造来维持紧凑性并同时能够设定阀体的开闭范围，不会受到阀的内部形状的个体差异的影响，充分地确保全开时的流量，还能够任意地调整全开时的流量。阀本体1具备装配于主体10内部的阀体12和以能够进行升降运动的方式螺纹嵌合于主体10并使阀体12与阀座14接触分离的主轴13，在阀本体1的上方，安装有对主轴13手动地进行旋转操作的手柄2，在阀本体1的上部附近，具备全开位置调整机构20，全开位置调整机构20限制手柄2的开阀操作侧的全开时的转动，设定阀体12的全开时的流量的上限。
- 动用隔膜
- [发明专利]一次触摸式锁定阀和原料容器-CN201880062668.5有效
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木暮悠策
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株式会社开滋SCT
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2018-06-12
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2022-06-03
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F16K35/02
- 本发明自动锁定旋转手柄以防止不必要时的开闭操作，通过简便的内部机构来维持整体的紧凑型并通过一次触摸来解除锁定，能够通过优秀的操作性来操作。具备：内置阀体(4)的阀本体(1)、轴安装于阀本体的杆(3)、固接在杆上部的旋转手柄(6)、收纳于旋转手柄并固定于轴安装部(11)的保持体(21)、以及配置于保持体和旋转手柄的锁定机构(10)。锁定机构包括：装入保持体的弹簧(33)；设置在弹簧的下方回弹侧的球体(40)；后端侧的中途部分轴连接于保持体、后端部经由球体被回弹施力、并且前端部侧在回弹状态下抵接于旋转手柄的下缘部的卡止部件(25)；以及供卡止部件的前端部侧卡止于旋转手柄的卡合槽(23)，卡止部件在与卡合槽为相向位置的状态下，在被回弹施力的状态下自动锁定。
- 一次触摸式锁定原料容器
- [发明专利]金属隔膜阀-CN201810272832.7有效
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后藤晓;饭塚久修
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株式会社开滋SCT
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2018-03-29
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2021-06-25
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F16K7/17
- 本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀，其仅用很简单的构造，即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后，也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动，并且还具备较高的耐久性，很适合用于ALD工艺。技术方案是一种金属隔膜阀，具有：阀身，在与1次侧流路及2次侧流路连通的阀室中设有阀座；金属隔膜，配设在阀室的上方的中央部上下运动而向阀座抵接；阀杆，升降运动自如地设在该金属隔膜的上方，使金属隔膜的中央部向下方下降；在2次侧流路的一部分中设有流路节流部。
- 金属隔膜
- [发明专利]隔膜阀-CN201780084976.3有效
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高朝克图
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株式会社开滋SCT
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2017-11-15
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2021-05-07
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F16K7/16
- 提供一种隔膜阀，所述隔膜阀即使是被很紧凑地小型化的阀/阀体，也通过能够不损害阀体的强度而形成与规定的Cv值对应的最优的流路空间，能够发挥高流量且稳定的高Cv值。隔膜阀具备：阀座（52），配设在阀体（50）内的阀室；环状槽（53），设置在阀座（52）的外周围；隔膜（55），设置成能够经由推压机构相对于阀座（52）接触分离；以及一次侧流路（56），与阀室（51）连通；在该隔膜阀中，连续设置于环状槽（53）的二次侧流路（57）的内径（R）为环状槽（53）的槽宽（W）的2.0～4.5倍，环状槽（53）与二次侧流路（57）的交叉截面积（S）比二次侧流路（57）的截面积（T）小，并且相对于二次侧流路（57）的截面积（T）将交叉截面积（S）构成为35%以上，而得到规定的Cv值。
- 隔膜
- [发明专利]膜片阀-CN202010222521.7在审
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高朝克图
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株式会社开滋SCT
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2020-03-26
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2020-10-09
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F16K1/38
- 本发明的课题在于提供一种膜片阀，其构成简单，并且有效地防止反应产物对阀体密封部的产生和堆积，抑制闭阀时的咬合住，因此即使经过多次开闭、长期使用，也能够良好地维持阀的隔断性。一种膜片阀，其将对圆锥形状的片体进行保持的片保持件和膜片件结合在阀箱内，利用片保持件和膜片件夹紧膜片的内径口外周缘，利用阀帽以能够上下移动的方式保持膜片件，夹紧阀帽和膜片的外周缘以使片体为悬吊于膜片的构造，具有在片体的圆锥面形成的圆锥密封部和在阀箱的一次侧开口缘形成的削落阀座部，通过片体的滑动运动将在圆锥密封部产生的反应产物削落并且利用削落阀座部密封圆锥密封部。
- 膜片
- [发明专利]带有上锁机构的活门和集成阀-CN201610385761.2有效
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饭塚久修
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株式会社开滋SCT
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2016-06-03
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2019-11-05
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F16K35/00
- 提供一种构造紧凑、即使将活门连接在集成阀等的装置的密集场所处也不会向相邻装置干涉、是简单的构造、成本性良好并且不会损害手柄的形状及操作性、并且具备仅在阀闭时或阀开时的必要时能够进行手柄的上锁的误操作防止功能的带有上锁机构的活门和集成阀。前述带有上锁机构的活门，是在内置有用来将阀体开闭的阀轴的活门主体的上部转动操作自如地设有具有把持部的手柄主体的活门，在位于手柄主体的下方的活门主体的外周围的一部分上形成缺口台阶部面，在该缺口台阶部面内经由轴装接部转动自如地收纳具有上锁孔的上锁板材，并且设置为，当使该上锁板材转动到活门主体的全闭时或全开时的某个位置时能够使上锁孔面向活门主体的上表面区域来上锁。
- 带有上锁机构活门集成
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