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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法-CN201510883961.6有效
发明人：方硕焕;金亨俊;林志晚 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2015-12-04 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本公开提供了薄膜晶体管基板及其制造方法。一种薄膜晶体管基板包括：栅极电极，设置在基底基板上；有源图案，与栅极电极交叠；源极金属图案，包括设置在有源图案上的源极电极和与源极电极分隔开的漏极电极二者；缓冲层，设置在源极金属图案上并接触有源图案；第一钝化层，设置在缓冲层上；以及第二钝化层，设置在第一钝化层上。缓冲层中的氢的密度大于第一钝化层中的氢的密度且小于第二钝化层中的氢的密度。
薄膜晶体管及其制造方法

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