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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]导电颗粒去除方法和系统-CN202310078222.4在审
发明人：邱胜华;林宏谦;曹红亮;李长春 -专利权人：楼氏电子（苏州）有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供一种导电颗粒的去除方法和系统。所述方法包括：使静电吸盘向靠近晶圆的方向移动；利用所述静电吸盘对所述晶圆上的导电颗粒进行吸附，从而去除所述晶圆上的导电颗粒。根据本申请实施例，采用静电吸盘去除晶圆拉伸过程中或者晶圆加工完成后产生的导电颗粒，避免了导电颗粒对晶圆的影响，提高了成品率。
导电颗粒去除方法系统

[实用新型]微机电系统MEMS管芯和麦克风装置-CN202220727113.1有效
发明人： 林宏谦;陈立丞 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及微机电系统MEMS管芯和麦克风装置。MEMS管芯包括：基板，该基板中形成有开口；以及振膜，该振膜围绕其外周附接至基板并且在该开口上方，其中，该振膜包括间隔开的第一层和第二层。将背板设置在间隔开的第一层与第二层之间。将一个或更多个柱状支承件通过贯穿该背板设置的孔来设置，并且连接该间隔开的第一层与第二层。在间隔开的第一层与第二层的至少一部分之间存在至少部分真空。第一层还包括至少接近所述一个或更多个柱状支承件中的各个柱状支承件的内部子层和外部子层，其中，该内部子层包括贯穿该内部子层设置的一个或更多个孔缝。
微机系统 mems 管芯麦克风装置

[发明专利]MEMS声换能器和麦克风装置-CN202210047523.6在审
发明人： S·舒伯姆;林宏谦 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本公开涉及MEMS声换能器和麦克风装置。一种MEMS声换能器包括：基板，在该基板中形成有开口；振膜，该振膜包括带槽绝缘层和第一导电层。带槽绝缘层绕其周边附接至基板并且在开口上方，并且第一导电层设置在带槽绝缘层的第一表面上。背板与振膜分离并且设置在振膜的与基板相反的一侧。
mems 声换能器麦克风装置

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