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- [实用新型]镀膜装置-CN202120721032.6有效
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李军阳;张勇;李学文
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2021-04-09
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2022-01-04
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C23C16/509
- 本实用新型公开了一种镀膜装置,用于对PECVD中的基材进行镀膜。该镀膜装置包括:射频电源,用于提供射频信号;自偏压消除模块,与所述射频电源电连接,用于消除所述射频信号的自偏压;真空腔体,所述真空腔体设有至少两块第一电极板和至少两块第二电极板,每一块所述第一电极板的一端均与所述射频电源的第一端连接,每一块所述第二电极板的一端均与所述射频电源的第二端连接;其中,每一块所述第一电极板和每一块所述第二电极板均交替设置,至少一块所述第一电极板和至少一块所述第二电极板均用于放置所述基材。本申请实施例能够在第一电极板和第二电极板均放置基材,并保证基材的成膜均匀性,从而提高镀膜装置的载片量。
- 镀膜装置
- [实用新型]镀膜装置-CN202120721734.4有效
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李军阳;张勇;李学文
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2021-04-09
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2021-12-14
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C23C16/509
- 本实用新型公开了一种镀膜装置。该镀膜装置用于对PECVD中的基材进行镀膜,包括:射频电源,用于提供射频信号;隔离模块,与所述射频电源连接,用于隔离回路中的直流成分;真空腔体,所述真空腔体内设有第一电极板和第二电极板,所述第一电极板的一端与所述射频电源的第一端电连接,所述第二电极板的一端与所述射频电源的第二端电连接;其中,所述第一电极板和所述第二电极板均用于放置所述基材;所述隔离模块还用于对所述第一电极板和接地端之间进行隔离,并用于对所述第二电极板和接地端之间进行隔离。本申请实施例能够在第一电极板和第二电极板均放置基材,并保证基材的成膜均匀性,从而提高镀膜装置的载片量。
- 镀膜装置
- [实用新型]镀膜装置-CN202120721041.5有效
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李军阳;张勇;李学文
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2021-04-09
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2021-12-10
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C23C16/509
- 本实用新型公开了一种镀膜装置,用于对PECVD中的基材进行镀膜。该镀膜装置包括:射频电源,用于提供射频信号;电压叠加模块,与所述射频电源并联连接,用于根据所述射频信号生成偏压信号;真空腔体,所述真空腔体内设有第一电极板和第二电极板,所述第一电极板的一端与所述射频电源的第一端连接,所述第二电极板的一端与所述射频电源的第二端连接;其中,所述第一电极板和所述第二电极板均用于放置所述基材;所述偏压信号与所述射频信号叠加并生成叠加信号,所述叠加信号具有对称性。本实用新型的镀膜装置能够在第一电极板和第二电极板上都放置基材,从而提高了镀膜装置的载片量以及镀膜效率。
- 镀膜装置
- [实用新型]组合式镀膜系统-CN202120555911.6有效
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张勇;李学文;李军阳;刘兵吉
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2021-03-18
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2021-10-22
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C23C16/54
- 本实用新型公开了组合式镀膜系统,可用于对SHJ太阳能电池的基材进行镀膜,包括:基于HWCVD的第一镀膜腔,所述第一镀膜腔在所述基材的一面镀本征硅基薄膜;基于HWCVD的第二镀膜腔,设置在所述第一镀膜腔的后面,在所述基材的另一面镀本征硅基薄膜;基于PECVD的第三镀膜腔,设置在所述第二镀膜腔的后面,在所述基材的一面镀P型掺杂硅基薄膜以及n型掺杂硅基薄膜中的一种;基于PECVD的第四镀膜腔,设置在所述第三镀膜腔的后面,在所述基材的另一面镀P型掺杂硅基薄膜以及n型掺杂硅基薄膜中的另一种。本实用新型的组合式镀膜系统,能够提高太阳能电池的转换效率。
- 组合式镀膜系统
- [实用新型]反应炉-CN202023121104.8有效
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李时俊;李军阳;刘兵吉;黄章羽
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2020-12-22
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2021-08-20
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种反应炉,包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组;炉体连接于基座;反应管连接于基座,用于放置待加工物料;第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,以使位于炉体内的反应管与炉体分离;散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中,第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,当炉体与反应管分离后,散热模组可以对反应管进行单独散热,如此,物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热,避免被空气中的杂质污染,炉体可以保持在加热状态,能够减少整体散热时间,减少或者省去炉体的再次升温时间,有助于提升效率,减少能耗。
- 反应炉
- [实用新型]一种市场营销展示用多功能平台-CN202022691990.1有效
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李军阳
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北海职业学院
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2020-11-19
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2021-08-10
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A47F5/00
- 本实用新型涉及市场营销相关技术领域,且公开了一种市场营销展示用多功能平台,包括外壳、支撑杆、夹持板、底座、硅胶垫和滑槽,所述外壳一侧设置有照明灯,且照明灯一侧设置有第一卡块,同时第一卡块一侧开设有第一卡槽,所述支撑杆设置在外壳一侧,且支撑杆两侧均设置有第二卡块,同时第二卡块一侧开设有第二卡槽,所述夹持板设置设置在外壳一侧,且夹持板一侧设置有伸缩弹簧,同时伸缩弹簧一侧设置有挡板,所述底座设置在外壳一侧。本实用新型,通过设置夹持板、伸缩弹簧与挡板,可以对该多功能平台起到一个对内部物件进行固定夹持的效果,避免该多功能平台移动或碰撞时,对内部物件进行一个保护作用,从而提升了该多功能平台的保护性。
- 一种市场营销展示多功能平台
- [发明专利]反应炉-CN202011525080.4在审
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李时俊;李军阳;刘兵吉;黄章羽
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2020-12-22
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2021-03-23
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H01L21/67
- 本发明公开了一种反应炉,包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组;炉体连接于基座;反应管连接于基座,用于放置待加工物料;第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,以使位于炉体内的反应管与炉体分离;散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中,第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,当炉体与反应管分离后,散热模组可以对反应管进行单独散热,如此,物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热,避免被空气中的杂质污染,炉体可以保持在加热状态,能够减少整体散热时间,减少或者省去炉体的再次升温时间,有助于提升效率,减少能耗。
- 反应炉
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