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[发明专利]二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法-CN201010293704.4无效
发明人： 李以贵;白万青;邓勇;陈少军;孙健 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-09-27 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种微机电系统技术领域的二氧化硅薄膜力学特性测试用薄膜的制备方法，通过在硅片上依次热氧化生长一层二氧化硅薄膜并涂布一层光刻胶，然后将掩模板置于光刻胶正上方进行曝光并显影后将掩模板的图案转移到基片上，再采用电感耦合等离子刻蚀法进行刻蚀得到方腔结构，最后采用湿法刻蚀方腔结构得到硅支柱结构支撑下的二氧化硅薄膜。
二氧化硅薄膜力学特性测试制备方法

[发明专利]基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器-CN201010263850.2有效
发明人：刘景全;马华安;唐刚;李以贵;杨春生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-08-27 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：一种微机电技术领域的基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器，包括：圆形框架和设于圆形框架内的PDMS膜、若干压电悬臂梁和质量块，其中：若干压电悬臂梁径向内嵌于PDMS薄膜内且一端固定在圆形框架上另一端悬空，质量块内嵌于PDMS薄膜内且位于圆形框架的中心。本发明使压电换能元件在低频振动环境下获得较大的输出功率，以解决传统的MEMS压电能量采集器工作频带窄的问题。
基于 pdms 薄膜结构 mems 宽频压电能量采集

[发明专利]静电MEMS微执行器联合装置及其加工方法-CN201010264121.9无效
发明人： 李以贵;白万青;陈少军;孙健 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-08-27 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种微机电系统技术领域的用于测量碳纳米管压阻特性的静电MEMS微执行器联合装置及其加工方法，包括：静电叉指微驱动器和放置碳纳米管的微型容器，其中：微型容器位于静电叉指微驱动器的下方且与静电叉指微驱动器的一端相连接，静电叉指微驱动器具体为纵向叉指静电驱动器，包括：固定电极、可动电极和通电区，其中：固定电极固定于硅片上，可动电极通过固定锚悬浮于硅片上，通电区分别设置于固定电极和可动电极上。本发明由静电梳状驱动器的可动电极发生纵向移动直接导致的，测量所得更加准确。而且基于硅工艺的加工方法，更加简单易行。
静电 mems 执行联合装置及其加工方法

[发明专利]压电双晶片式MEMS能量采集器及其制备方法-CN201010178083.5无效
发明人：杨春生;唐刚;刘景全;李以贵;柳和生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-05-20 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：一种微机电技术领域的压电双晶片式MEMS能量采集器及其制备方法，装置包括：若干压电双晶片悬臂梁，每个压电双晶片悬臂梁包括：硅固定基座、压电双晶片和质量块，其中：所述的压电双晶片包括：金属基片、两层压电薄膜和两层电极；方法包括：使用提拉法使金属基片的上下表面附有压电薄膜，并在压电薄膜上溅射或蒸发一层金属材料，得到压电双晶片；将压电双晶片粘贴在硅片的上表面；在硅片的下表面形成一个矩形槽；切割硅片和压电双晶片；制备若干质量块，并将质量块粘贴在压电双晶片的悬空端；对压电双晶片进行极化。本发明转换效率高，输出功率大，制作简单可靠，在无线传感器网络节点的设计与制作中具有广泛的应用前景。
压电双晶 mems 能量采集及其制备方法

[发明专利]曲率可控的人工复眼镜头及其制备方法-CN201010154340.1无效
发明人：刘景全;何庆;杨春生;芮岳峰;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-04-24 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： G02B3/10 文献下载
摘要：一种光学微器件技术领域的曲率可控的人工复眼镜头及其制备方法，该方法通过采用聚合物制作待复制镜头的凹模，采用双面法将平面复眼透镜阵列制备成曲率可控的人工复眼镜头。本发明制备所得的人工复眼镜头，包括：基底和位于基底外表面上的若干小眼构成，其中：小眼为圆形、六边形或者方形结构，所述的基底和复眼透镜均为聚二甲基硅氧烷制成。本发明适用于各种使用环境，体积小可以于图像传感器直接组成光学成像系统或者替代原有的单孔径镜头，有助于提高动态捕捉能力和三维信息提取能力。
曲率可控人工复眼镜头及其制备方法

[发明专利]实心微针阵列的切割制备方法-CN201010178571.6无效
发明人：刘景全;闫肖肖;杨春生;芮岳峰;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-05-20 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：一种生物医学工程技术领域的实心微针阵列的切割制备方法，采用斜边宽底切割刀与直边宽底切割刀组合或直接采用斜边宽底切割刀，根据切割方向、切割深度和切割间距对硅片进行切割得到微针初坯，最后采用湿法腐蚀修饰微针初坯，得到基于切割的实心微针。本发明制备方法简单且采用机械加工，尺寸可控；采用湿法刻蚀微针针尖，成本低利于普及。制造出的微针形状多样，且针尖较尖锐，利于刺入皮肤。
实心阵列切割制备方法

[发明专利]台阶微针阵列的制备方法-CN201010157116.8无效
发明人：刘景全;闫肖肖;杨春生;芮岳峰;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：一种生物医学工程技术领域的台阶微针阵列的制备方法，首先通过光刻在硅片上开出硅刻蚀窗口并采用湿法刻蚀硅刻蚀窗口中的硅，然后用切片机切割硅片得到微方柱阵列，并进一步切割微方柱阵列得到若干微方块，最后采用湿法刻蚀微方柱阵列得到台阶微针阵列。本发明制备得到高度不同的微针阵列，此微针阵列通过渐进式刺入皮肤。同时本发明制备过程简单，采用湿法刻蚀和机械加工结合的方法制备此微针阵列，成本低且便于普及。
台阶阵列制备方法

[发明专利]微机电系统压电双晶片的制备方法-CN201010157876.9无效
发明人：刘景全;唐刚;李以贵;杨春生;柳和生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：一种MEMS技术领域的微机电系统压电双晶片的制备方法，包括：使用微加工工艺制备压电双晶片基片；在已制备的基片上、下表面，使用提拉法制备PZT薄膜；在已制备的压电双晶片上下两面镀金或银电极；使用激光修整压电双晶片；极化上下两层压电薄膜。本发明制备MEMS压电双晶片的方法，具有制备简单、成本低，并集成MEMS制造工艺等特点，有利于MEMS压电器件的制作及应用。
微机系统压电双晶制备方法

[发明专利]超声波全方位发生器-CN201010122641.6无效
发明人： 李以贵;张冠;孙键;刘景全;杨春生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-03-12 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：一种医用技术领域的超声波全方位发生器，包括：硅基和压电陶瓷传感片，其中：硅基上设有30°~60°的倒角，压电陶瓷传感片和硅基的倒角面键合。本发明结构简单，使用寿命长，可以实现无电机驱动的360°全方位超声波发生，应用前景广泛。
超声波全方位发生器

[发明专利]基于超声供能的共振式可植入微能源装置-CN201010114031.1无效
发明人：刘景全;杨春生;唐刚;李以贵;何丹农 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-02-25 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：一种生物医学技术领域的基于超声供能的共振式可植入微能源装置，包括：超声发射单元、超声声能接收单元和储能单元，其中：超声发射单元设置于体外，超声声能接收单元和储能单元设置于体内，储能单元和超声声能接收单元相连。本发明体积小，对体内的干扰和影响小，采用共振方式采集发射到体内的超声，能量转换效果高，而且对植入体的方位要求不高，超声传输可避免电磁对生物微器件的干扰，而且声能在体内传输安全。
基于超声共振植入能源装置

[发明专利]金属丝生物微电极的制备方法-CN201010300280.X无效
发明人：刘景全;芮岳峰;杨春生;闫肖肖;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-01-14 - 公布日： 2010-07-28 - 主分类号： A61N1/05 文献下载
摘要：一种生物医学工程技术领域的金属丝生物微电极的制备方法，包括：在基底表面旋涂聚合物胶，经固化处理后制成弹性聚合物薄胶，将弹性聚合物薄胶从基底释放后切块；将金属丝经清洗后穿过弹性聚合物薄胶，使薄胶作为保护层，在该结构上沉积聚合物作为金属丝微电极的电极绝缘层，最后剥离弹性聚合物薄胶，制成金属丝微电极。本发明制备所得金属丝生物微电极工艺过程简单易操作，电极宽度可控性和制作精度高；绝缘层使用聚合物沉积方法，与金属丝结合力好，不容易脱落；金属丝微电极集成度高，在一根金属丝上可制作多个电极点，能够提供同时多点刺激功能，同时电极点沿金属丝圆周方向露出，提高了电极对肌肉的刺激效果。
金属丝生物微电极制备方法

[发明专利]压电超磁致伸缩复合式宽频振动能量采集器-CN201010300986.6无效
发明人：刘景全;唐刚;杨春生;马华安;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-02-01 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：一种能源技术领域的压电超磁致伸缩复合式宽频振动能量采集器，包括：框架、双稳态梁、悬臂梁和永磁铁，双稳态梁的两端固定于框架上，永磁铁附着于双稳态梁上，悬臂梁的一端固定于框架上，另一端悬空设置，正线磁致伸缩层、压电层和负线磁致伸缩层依次相连。本发明采用双稳态结构，并利用复合材料中压磁相的磁致伸缩效应和压电相的压电效应的乘积特性来实现磁、机和电的转换，使MEMS换能元件在低频振动环境下获得较大输出功率。不但结构简单，制作容易，体积减小，并且它可运行于低频环境中，且可在较宽的环境振动频率范围内输出较大稳定的功率。
压电超磁致伸缩复合宽频振动能量采集

[发明专利]变沟道微型血液分离器-CN201010300876.X无效
发明人： 李以贵;孙健;张冠;陈少军;邓勇 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-01-28 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种医疗器械技术领域的变沟道微型血液分离器，包括：储藏腔、若干条沟道、收集腔、基片和玻璃盖，其中：储藏腔设置于沟道的一端，收集腔设置于沟道的另一端，储藏腔、沟道和收集腔设置于基片之上，玻璃盖和基片相连，玻璃盖位于储藏腔、沟道和收集腔之上。本发明利用毛细管作用，不需要额外提供动力，可在各种环境中使用，普通的血液分离技术至少需要采集的血液量级为毫升级，而本发明采用微细加工技术，器件尺寸小，只需要采集纳升级的血液就可以实现血液分离，所得血浆足以用于血液检测。
沟道微型血液分离器

[发明专利]曲面人工复眼及其制备方法-CN200910310213.3无效
发明人：刘景全;何庆;芮岳峰;杨春生;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2009-11-23 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G02B3/10 文献下载
摘要：一种光学仿生技术领域的曲面人工复眼及其制备方法，包括：基底和位于基底外表面上的若干复眼透镜，其中：每一个复眼透镜为圆形或六边形结构，其直径或对角线长度为80至250微米，高度为8至25微米。本发明能够使改曲面和现有的CCD传感器配合，从而实现曲面人工复眼摄像镜头的功能，有助提高摄像镜头的视场角和动态捕捉能力。
曲面人工复眼及其制备方法

[发明专利]具有凸半球结构的硅平台制备方法-CN200910054918.3无效
发明人： 李以贵;孙健;张冠;陈少军;高阳 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2009-07-16 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种微机电系统技术领域的具有凸半球结构的硅平台制备方法，包括：在硅基片上旋涂一层正光刻胶，将掩模板置于硅基片正上方，利用X射线透过掩模板对硅基片上的光刻胶层进行动态曝光；按照与第一步中动态曝光相垂直的方向，对硅基片进行第二次动态曝光，然后对硅基片上的光刻胶进行显影，制成带有凸半球状光刻胶硅基片；利用湿法腐蚀对硅基片进行刻蚀，当半球形光刻胶被腐蚀完毕后，硅基片表面就形成了硅凸半球形状。本发明采用移动曝光技术只需要在常温下进行，不需要对光刻胶进行高温处理，通过控制光刻胶的厚度来精确得到任意弧度的硅凸半球，可得到的最大弧度为180°。
具有半球结构平台制备方法