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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板支撑框架及包含该框架的基板处理设备-CN200910151373.8有效
  • 朴锡珠;黄成龙 - 周星工程股份有限公司
  • 2009-07-02 - 2010-01-06 - H01L21/683
  • 本发明是用以将基板承载至腔室的基座上或将其从该处卸载的基板支撑框架，其中基板支撑框架设置于基座上方，该框架包括：一本体，支撑该基板的一边缘部分；一第一开口部，穿过该本体的一中心部分，并对应到该基座的一中心部分；数个第一凸出部分，从该本体的一侧延伸至该第一开口部；及数个第一凹陷部分，其各者对应到该等凸出部分的相邻二者之间的一空间，其中，该等第一凸出部分的各者对应到该基座上的一第二凹陷部分，且该等第一凹陷部分的各者对应到该基座上的一第二凸出部分。
  • 支撑框架包含处理设备
  •  1 
  • 共 3 条
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