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[发明专利]一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器-CN202310736435.1在审
发明人：赵志辉;陈新 -专利权人： 星奇（上海）半导体有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F16K17/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，包括：阀体，其底部设有进气通道和出气通道；阀芯组件，其设置在阀体内部，阀芯组件上设有阀腔，阀腔的腔底分别开设有用于连通进气通道和阀腔的阀芯孔以及用于连通阀腔和出气通道的连通孔；升降式阀杆组件，其上的阀杆封堵在阀芯孔中，升降式阀杆组件上安装有下弹簧座；升降式调节旋钮，其转动连接在阀体顶部，升降式调节旋钮上固定有调节螺钉，调节螺钉的螺杆与阀体顶端螺纹连接，且调节螺钉的螺杆端向下压接有上弹簧座；主弹簧，其压接在下弹簧座和上弹簧座之间；副弹簧，其压接在下弹簧座和阀芯组件之间。副弹簧外置，可延长副弹簧的寿命、避免副弹簧频繁动作形成颗粒导致污染高纯介质。
一种弹簧外置高纯气体压力调节器

[发明专利]一种使用气体测试流控部件Cv值的测试系统和测试方法-CN202310739049.8在审
发明人：赵志辉;陈新 -专利权人： 星奇（上海）半导体有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用气体测试流控部件Cv值的测试系统和测试方法，包括：气源瓶体；测试管路，测试管路一端与气源瓶体的出气阀连接，测试管路上沿其气体移动方向依次设置有第一温度计、第一过滤减压阀、第一压力表、待测流控部件、第二压力表、流量计、第二温度计、第一截止阀。该系统更加简便，不需要准备水箱、水泵等较大设备，测试系统占地面积更小，使用更方便；并且使用气体对小尺寸、小Cv值的流控部件的测试精确性高，也贴近实际需求。同时，因气体从气源瓶体出来之后，温度偏低，因此使用两个温度计，在计算时用平均值，可以保证温度更接近试验气体介质温度，大大提高了测量精度。
一种使用气体测试部件 cv 系统方法

[实用新型]一种针对气控部件寿命测试的高精度多模安全平台-CN202321229090.2有效
发明人：赵志辉 -专利权人： 星奇（上海）半导体有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种针对气控部件寿命测试的高精度多模安全平台，包括：测试柜，其上设有测试室，测试室的前侧设有密封柜门，密封柜门上设有观察窗，测试室内部固定有进气管、出气管，进气管的进气端与外部的特定气体源连接，进气管另一端和出气管一端连接有待测气控部件，出气管的另一端与外部的尾气处理装置连接，进气管上安装有压力表，测试室顶端安装有抽气管和负压表；抽气泵，其安装在抽气管的出气口上；控制器，其安装在测试柜的底部，控制器均与待测气控部件、负压表、抽气泵电连接。该装置能够对气控部件的寿命进行测试，并且，负压表能够检测特定气体是否泄露到测试室中，以保证测试人员在打开密封柜门时的安全性。
一种针对部件寿命测试高精度安全平台

[发明专利]一种用于液体汽化器综合性能测试的平台及测试方法-CN202310651169.2在审
发明人：赵志辉 -专利权人： 星奇（上海）半导体有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于液体汽化器综合性能测试的平台及测试方法，该平台包括：载气罐、液罐、液体汽化器、气体流量控制器、液体流量计、真空泵、真空计、蒸汽流量计、调压阀、温控器、气溶胶监测仪、控制终端，液体汽化器出口的蒸汽管上设有观察窗。该测试平台配置有观察窗和气溶胶监测仪，可以随时记录液体汽化器出口流体状态(有无出现明显液态流体)和蒸汽中的雾气含量，即可测得液体汽化器的汽化能力，并且还可以使用该测试平台测试液体汽化器的使用寿命，填补了现有技术的空白；另外，可以更换不同介质的载气罐和液罐，使得该测试平台可以根据不同的介质，对液体汽化器的汽化能力进行测试，适用范围广。
一种用于液体汽化器综合性能测试平台方法