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[发明专利]一种束张角可调的扫描电子束成像系统及电子束控制方法-CN202310873845.0在审
发明人：于文霞;葛子银;王猛 -专利权人： 无锡亘芯悦科技有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种束张角可调的扫描电子束成像系统及电子束控制方法，属于扫描电子束成像技术领域。所述系统通过合理设置多级透镜与可移动孔径光阑的位置，一方面实现电子束束流调节以及束张角高度优化控制，使得高斯像，球差，色差，衍射等像差得到优化，从而得到电子束成像系统的最佳分辨率；另一方面各级透镜以及可移动孔径光阑结构和功能相对独立，工程易实现。本申请提供的扫描电子束成像系统，能够在保证低能扫描电子束高分辨成像的同时能够满足高能电子束不受浸没式复合物镜工作距离限制，实现最优高分辨成像；而且既可以针对磁性样品进行扫描成像，又可以对非磁性样品进行扫描成像。
一种张角可调扫描电子束成像系统控制方法

[发明专利]一种前馈式主动减振装置及主动减振系统-CN202310172616.6在审
发明人：陈艳威;李振亮;安俊杰;王玮 -专利权人： 无锡亘芯悦科技有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F16F13/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种前馈式主动减振装置及主动减振系统，该装置包括被动减振单元以及前馈式主动减振单元，所述前馈式主动减振单元包括直线执行器，所述直线执行器被配置为与所述负载运动平台的直线电机位于同一水平面，且与所述负载连接，所述直线执行器用于对所述负载施加与所述直线电机反向的主动力，以抵消所述运动部件运动所导致负载的振动。本发明可以保证负载运动平台的运动不会导致减振系统存在转动模式，保证负载不会出现倾角、倾覆等情况，保证了减振系统的减振效果以及设备的稳定运行；且能够实现实时前馈式控制，不再需要做各种检测，无需设置传感器来测量负载振动的情况，大大降低了设备的成本，大大降低控制算法和系统的复杂性。
一种前馈式主动装置系统