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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种石英音叉结构-CN202310542769.5在审
发明人：梁金星;方飞浒;杜宇之 -专利权人：东南大学
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英音叉结构，包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座；石英叉指设置在石英基座上，所述一对锤头设置在石英叉指端部；石英叉指上下表面设置变截面凹槽结构，叉指侧壁和凹槽内的表面设有导电薄膜。本发明能够有效地改善叉指沿长度方向上的应力分布情况，在压‑电转换中，大大提高石英叉指上的电荷产生和电荷收集效率；在电‑压驱动应用中叉指上下表面设置变截面凹槽，可以有效地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率，降低谐振器阻抗值。本发明结构可采用湿法刻蚀工艺，在制作工艺成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点，可应用于高品质石英音叉谐振器、以及基于石英音叉的角速度传感器、光声气体传感器等。
一种石英音叉结构

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