专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]致动器装置的制造方法及液体喷射装置-CN200510053843.9有效
  • 李欣山;村井正己;新保俊尚;伊藤牧 - 精工爱普生株式会社
  • 2005-03-11 - 2005-09-14 - B41J2/045
  • 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性,又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化,从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1~3nm范围内地形成的工序,并且,形成所述压电元件的工序包括:通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛(Ti)来形成钛种层的工序;以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜,并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶,从而形成所述压电层的工序。
  • 致动器装置制造方法液体喷射

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