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[发明专利]多托盘压载抽蒸气系统-CN201811122857.5有效
发明人：拉梅什·钱德拉赛卡兰;戴维斯·威尔曼 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及多托盘压载抽蒸气系统。具体而言，一种用于供应汽化前体的系统包括外壳，该外壳包括输出端。多个托盘以堆叠的间隔配置被设置在所述外壳内侧。所述多个托盘被配置成容纳液态前体。第一导管使载气供应源流体地连接至所述外壳并且包括多个开口。第一阀门被沿着所述第一导管设置并且被配置成选择性地控制从所述载气供应源通过所述第一导管输送所述载气到所述第一导管的多个开口。所述多个开口被配置成分别引导所述载气经过所述多个托盘中的液态前体。所述外壳的所述输出端提供所述载气与所述汽化前体的混合物。
托盘压载抽蒸气系统

[发明专利]多托盘压载抽蒸气系统-CN201410680419.6有效
发明人：拉梅什·钱德拉赛卡兰;戴维斯·威尔曼 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及多托盘压载抽蒸气系统。具体而言，一种用于供应汽化前体的系统包括外壳，该外壳包括输出端。多个托盘以堆叠的间隔配置被设置在所述外壳内侧。所述多个托盘被配置成容纳液态前体。第一导管使载气供应源流体地连接至所述外壳并且包括多个开口。第一阀门被沿着所述第一导管设置并且被配置成选择性地控制从所述载气供应源通过所述第一导管输送所述载气到所述第一导管的多个开口。所述多个开口被配置成分别引导所述载气经过所述多个托盘中的液态前体。所述外壳的所述输出端提供所述载气与所述汽化前体的混合物。
托盘压载抽蒸气系统