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[实用新型]一种变极化可调功分器-CN202321326390.2有效
发明人：王耀光;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01P5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种变极化可调功分器，包括依次连接的耦合器、极化转换器与旋转关节，其中，耦合器和旋转关节对称设置在极化转换器的两侧；耦合器上设置有直通端口、耦合端口与旋转关节，耦合端口设置在耦合器的侧壁上，直通端口与旋转关节分别设置在耦合器的两侧；耦合端口与直通端口的极化方向正交；耦合器通过旋转关节与极化转换器连接；耦合器包括第一耦合器与第二耦合器，其中，第一耦合器与极化转换器的输入端连接，第二耦合器与极化转换器的输出端连接，第一耦合器中的耦合端口接波导微波吸收负载，第二耦合器中的直通端口与耦合端口作为功分器的两个功率输出口。通过这种设计能够实现信号的变极化等比例分配。
一种极化可调功分器

[实用新型]一种拨片式可调功分器-CN202321326720.8有效
发明人：王耀光;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01P5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拨片式可调功分器，包括主体部分，主体的两侧分别设置有输出口A与输出口B，主体的侧壁的中部设置有输入口；主体内位于输出口A与输入口之间设置有第一阻抗匹配元件，第一阻抗匹配元件位于主体内的顶部且占据主体内的通道高度的1/4‑1/3；主体内位于输出口B与输入口之间设置有第二阻抗匹配元件，第二阻抗匹配元件位于主体内的顶部且占据主体内的通道空间的1/4‑1/3；主体内与输入口相对的位置处设置有拨片，拨片通过销柱与主体的侧壁转动连接，拨片的宽度占据主体内的通道的宽度的1/3‑2/3；销柱与控制装置连接，控制装置用于控制销柱的转动。通过这种设计能够调节功率的分配。
一种拨片式可调功分器

[实用新型]一种用于MPCVD的紧凑型升降机构-CN202221971522.2有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于MPCVD的紧凑型升降机构，包括用于与样品台连接的样品台支撑柱和用于与沉积腔底板连接的底板支撑柱；底板支撑柱用于滑动安装在MPCVD的真空腔内，样品台支撑柱连接有第一驱动机构，底板支撑柱连接有第二驱动机构；样品台支撑柱位于底板支撑柱内部且滑动密封连接，第一驱动机构用于驱动样品台支撑柱在底板支撑柱内部移动，第二驱动机构用于驱动板支撑柱在MPCVD的真空腔内移动。本实用新型极大的缩减了装置的体积，在满足升降的基础上，能够大幅度减少MPCVD装置的结构成本；同时，底板支撑柱与样品台之间设置有滑动电磁屏蔽密封结构，通过滑动电磁屏蔽密封结构来实现底板支撑柱与样品台之间的滑动电气密封，减少并抑制了微波泄漏。
一种用于 mpcvd 紧凑型升降机构

[实用新型]一种用于MPCVD的天线终端-CN202221971546.8有效
发明人：刘艺昭;唐挺;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于MPCVD的天线终端，包括内导体、外导体、圆盘天线，外导体上端连接有用于与MPCVD的微波模式转换器连接的上法兰盘，下端连接有上盖法兰，上盖法兰连接有上盖内管，圆盘天线上端设置有支撑柱，支撑柱上端与上盖法兰连接，圆盘天线上端与内导体连接，内导体内部中空部位形成进气通道；圆盘天线下端设置有环形聚气槽，环形聚气槽与内导体的进气通道连通；圆盘天线通过支撑柱安装在上盖法兰上后，内导体与外导体之间形成微波通道，微波通道与上盖法兰下端区域连通；圆盘天线下端设置有第一密封槽。本实用新型能够有效地解决现有技术中石英密封环窗被等离子体刻蚀、沉积腔密封性不高导致单晶金刚石生长受污染的问题。
一种用于 mpcvd 天线终端

[外观设计]微波等离子体化学气相沉积装置-CN202230488867.1有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： 24-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：微波等离子体化学气相沉积装置。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于人造金刚石的微波等离子体化学气相沉积。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
微波等离子体化学沉积装置

[实用新型]一种用于MPCVD的样品台水冷结构-CN202221969128.5有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F25D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于MPCVD的样品台水冷结构，包括用于滑动安装在沉积腔锥底板内的样本台结构，样本台结构包括内部中空的样品台支撑柱，安装在样品台支撑柱上方的台柱、安装在台柱上的样品台上盖；样品台上盖顶部设置有放置钼托的定位环；台柱上设置有安装孔和与安装孔连通的阶梯通孔，台柱上安装孔与样品台上盖之间形成水冷安装区域，水冷结构安装区域内设置有水路板，水路板中部设置有进水孔，水路板顶部设置若干与进水孔连通的第一水槽，水路板下端面设置有与阶梯通孔对应的凸起，水路板上的凸起与台柱通孔配合后。本实用新型在实际的使用中能够保证样品台面温度的均匀性，具备能够保护样品基片不受热应力而破裂的优点。
一种用于 mpcvd 样品水冷结构

[外观设计]微波模式转换器-CN202230488475.5有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：微波模式转换器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是微波等离子化学气相沉积装置的部件，用于实现微波传输和工作模式的转换。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
微波模式转换器

[外观设计]沉积炉-CN202230488476.X有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：沉积炉。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于微波等离子体化学气相沉积装置的沉积炉。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
沉积

[外观设计]沉积样品台-CN202230488864.8有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：沉积样品台。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于微波等离子体化学气相沉积装置的沉积样品台。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
沉积样品

[实用新型]一种大功率可调微波模式转换器-CN202221971538.3有效
发明人：刘艺昭;唐挺;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01P1/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大功率可调微波模式转换器，包括矩形波导、安装在矩形波导上的三销钉底座、安装在三销钉底座上并延伸至矩形波导内的三根销钉、以及安装在矩形波导上的微波模式转换器；其中，矩形波导一端设置有波导法兰，用于与微波源输出口连接，另一端为短路面；微波模式转换器为铜制锥形体，锥形体底部边缘设置有螺纹孔，锥形体安装在矩形波导内，且上端安装在矩形波导的上端面开口处，通过螺栓进行固定；锥形体中部设置有通孔，通孔用于安装内导体天线，内导体天线延长端形成天线终端，内导体天线内部设置有冷却水路和气体通道。本实用新型解决现有技术中调节装置冗余、使用成本过高的问题。
一种大功率可调微波模式转换器

[外观设计]升降机构-CN202230488477.4有效
发明人：唐挺;刘艺昭;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： 12-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：升降机构。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于微波等离子体化学气相沉积装置中的样品台的升降。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
升降机构

[发明专利]一种微波等离子体化学气相沉积装置-CN202210901764.2在审
发明人：刘艺昭;唐挺;王耀光;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括多介质传输结构，多介质传输结构包括微波转换组件、与微波转换组件连接的天线终端组件以及与天线终端组件连接的沉积炉组件，沉积炉组件内设置有升降式样品平台组件；微波转换组件包括矩形波导、安装在矩形波导上的三销钉适配器以及安装在矩形波导上的微波模式转换器，微波模式转换器用于将矩形波导中的TE10模式转换为同轴波导中的TEM模式；天线终端组件包括第一连接件、内导体、上盖体、圆盘天线和下法兰盘；第一连接件两端分别与矩形波导及上盖体连接，内导体上端与微波模式转换器连接。本发明克服了现有装置中存在的生产过程中石英密封环窗被刻蚀污染的技术问题。
一种微波等离子体化学沉积装置

[实用新型]滑动短路器电磁密封装置-CN202220938965.5有效
发明人：姚昌雄;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及工业微波领域，具体地涉及一种结构简单、减少微波泄漏、提高产品品质的滑动短路器电磁密封装置。波导管左端开口，右端设置有封堵腔，在波导管内滑动配合有短路块，该短路块的右端连接有伸缩杆，该伸缩杆伸出封堵腔；在短路块上设置有与波导管内壁接触的电磁波阻挡片。本实用新型的滑动短路器电磁密封装置，通过波导管、封堵腔、短路块、伸缩杆以及电磁波阻挡片等的配合，电磁波会通过短路块和波导管内壁之间的间隙时，受到电磁波阻挡片的隔断阻挡，避免渗透到后面的波导腔中，提高了电磁密封性能，尤其是在超大功率情况下可能引起产品异响及打火等严重影响产品性能的异常。具有结构简单、减少微波泄漏、提高产品品质的特点。
滑动短路电磁密封装置

[实用新型]侧面馈电大功率波导同轴转换器-CN202220975640.4有效
发明人：李稳;黄龙娃;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01P5/103 文献下载
摘要：本实用新型涉及射频无线通讯领域，尤其涉及一种结构简单、体积小重量轻、性能稳定可靠的侧面馈电大功率波导同轴转换器。它包括波导腔，该波导腔一端设置有第一连接法兰，另一端设置有堵头块，在所述的波导腔内部设置有L型阶梯块，在所述的波导腔的侧部设置有与该L型阶梯块连接的N型连接器。本实用新型的侧面馈电大功率波导同轴转换器，通过波导腔、第一连接法兰、堵头块、L型阶梯块以及N型连接器等的配合，微波传入波导腔，通过L型阶梯块耦合给N型连接器，再向外输出，采用的部件少，节约了空间，可以大幅提高产品一致性，提升功率容量，且加工调试十分方便，具有结构简单、体积小重量轻、加工方便、性能稳定可靠的特点。
侧面馈电大功率波导同轴转换器

[实用新型]大功率油冷负载-CN202221022778.9有效
发明人：李稳;王曙光 -专利权人： 成都欧拉微波元器件有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及微波技术领域，具体地涉及一种结构精巧、方便微波吸收处理的大功率油冷负载。大功率油冷负载，包括箱体和设置在该箱体外的外壳体，在所述的箱体内设置有散热液和吸收体，该吸收体设置有伸出箱体顶部的连接器；在所述的外壳体的左侧设置有过滤网，右侧设置有散热风机。本实用新型的大功率油冷负载，通过箱体、外壳体、散热液、吸收体、连接器、过滤网以及散热风机等的配合，使用时在箱体中注入散热液，连接器连接波导，微波传入吸收体进行转化为热量发热，然后热量转换到散热液，散热液再将热量传到箱体表面，通过散热风机吹风散热到空气中，具有结构精巧、方便微波吸收处理的特点。
大功率负载

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