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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]三工位循环离子束抛光装置及加工方法-CN201610705265.0在审
发明人：邓翔宇 -专利权人： 成都森蓝光学仪器有限公司
申请日： 2016-08-23 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三工位循环离子束抛光装置及加工方法，属于精密光学技术领域。抛光装置包括主真空室、主真空室门、矩形阀、推车、副真空室、副真空室门，主真空室中设有通向副真空室的主室导轨；副真空室为矩形，长度为三个工位，其长度方向与主室导轨垂直，并在该方向上设有副室导轨；副室导轨上设有工位移动平台，工位移动平台上设有与主室导轨衔接的左车导轨和右车导轨；左车导轨上设有左工件移动车及左夹具，右车导轨上设有右工件移动车及右夹具。本发明使得多块工件能够循环加工，主真空室可以连续不断的进行抛光加工，实现工件的连续换料、送料操作，大大提升了离子束抛光加工效率。
三工位循环离子束抛光装置加工方法

[发明专利]离子束抛光离子源坐标位置标校系统和标校方法-CN201610705733.4在审
发明人：邓翔宇 -专利权人： 成都森蓝光学仪器有限公司
申请日： 2016-08-23 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束抛光离子源坐标位置标校系统和方法，属于精密光学技术领域。它包括离子源，还包括法拉第杯及杯安装座、信号放大器、PLC、计算机和运动系统运动系统安装在离子束抛光设备上，离子源安装在运动系统上，法拉第杯位于运动系统各个运动轴的行程范围内；法拉第杯依次与信号放大器、PLC、计算机电联接。本发明能快速有效的测量出离子源束流中心坐标位置相对于工件坐标的偏差，并在运控控制系统中进行补偿，有效的提升加工坐标的精确对准，从而提升离子束抛光精度；通过硬件和软件相结合的系统方法，采用X轴和Y轴的分步扫描方法，能实现X轴和Y轴的坐标偏差测量和补偿。
离子束抛光离子源坐标位置系统校方

[发明专利]水冷环形热阴极离子源中和器-CN201610705234.5在审
发明人：邓翔宇 -专利权人： 成都森蓝光学仪器有限公司
申请日： 2016-08-23 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种水冷环形热阴极离子源中和器，属于光电技术领域。它包括主体、光阑、电极固定板、钨丝电极柱、前侧电极和后侧电极，电极固定板固定在主体上，光阑固定在主体上端，钨丝电极柱穿过电极固定板，前侧电极、后侧电极固定在电极固定板上；还包括冷却水管和环状钨丝，环状钨丝固定在主体上，前侧电极、后侧电极分别套在钨丝电极柱下端；冷却水管固定在主体外侧的凹形半圆槽上。本发明结构简单、经济实用、使用方便，成本低、寿命长，采用水冷方式，降低了热阴极发热导致温度升高对系统稳定性和加工去除稳定性的影响，使得离子源在应用中更加稳定和可靠。
水冷环形热阴极离子源中和

[发明专利]离子束抛光离子源坐标位置标校系统和标校方法-CN201510529474.X无效
发明人：施春燕 -专利权人： 成都森蓝光学仪器有限公司
申请日： 2015-08-26 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束抛光离子源坐标位置标校系统和方法，属于精密光学技术领域。它包括离子源，还包括法拉第杯及杯安装座、信号放大器、PLC、计算机和运动系统安装在离子束抛光设备上，离子源安装在运动系统上，法拉第杯位于运动系统各个运动轴的行程范围内；法拉第杯依次与信号放大器、PLC、计算机电联接。本发明能快速有效的测量出离子源束流中心坐标位置相对于工件坐标的偏差，并在运控控制系统中进行补偿，有效的提升加工坐标的精确对准，从而提升离子束抛光精度；通过硬件和软件相结合的系统方法，采用X轴和Y轴的分步扫描方法，能实现X轴和Y轴的坐标偏差测量和补偿。
离子束抛光离子源坐标位置系统校方

[发明专利]三工位循环离子束抛光装置及加工方法-CN201510529284.8无效
发明人：施春燕 -专利权人： 成都森蓝光学仪器有限公司
申请日： 2015-08-26 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三工位循环离子束抛光装置及加工方法，属于精密光学技术领域。抛光装置包括主真空室、主真空室门、矩形阀、推车、副真空室、副真空室门，主真空室中设有通向副真空室的主室导轨；副真空室为矩形，长度为三个工位，其长度方向与主室导轨垂直，并在该方向上设有副室导轨；副室导轨上设有工位移动平台，工位移动平台上设有与主室导轨衔接的左车导轨和右车导轨；左车导轨上设有左工件移动车及左夹具，右车导轨上设有右工件移动车及右夹具。本发明使得多块工件能够循环加工，主真空室可以连续不断的进行抛光加工，实现工件的连续换料、送料操作，大大提升了离子束抛光加工效率。
三工位循环离子束抛光装置加工方法

[发明专利]水冷环形热阴极离子源中和器-CN201510529388.9无效
发明人：施春燕 -专利权人： 成都森蓝光学仪器有限公司
申请日： 2015-08-26 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种水冷环形热阴极离子源中和器，属于光电技术领域。它包括主体、光阑、电极固定板、钨丝电极柱、前侧电极和后侧电极，电极固定板固定在主体上，光阑固定在主体上端，钨丝电极柱穿过电极固定板，前侧电极、后侧电极固定在电极固定板上；还包括冷却水管和环状钨丝，环状钨丝固定在主体上，前侧电极、后侧电极分别套在钨丝电极柱下端；冷却水管固定在主体外侧的凹形半圆槽上。本发明结构简单、经济实用、使用方便，成本低、寿命长，采用水冷方式，降低了热阴极发热导致温度升高对系统稳定性和加工去除稳定性的影响，使得离子源在应用中更加稳定和可靠。
水冷环形热阴极离子源中和

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