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[发明专利]基板处理设备及使用该基板处理设备的基板处理方法-CN201810662922.7有效
发明人：丁荣贤;成乐范 -专利权人： PSK有限公司
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理设备，其包括装备前端模块；工艺腔室，其处理基板；传送腔室，其具有传送机器人，所述传送机器人将所述基板传送至所述工艺腔室中或传送出所述工艺腔室；以及缓冲器单元，其定位于所述传送腔室与装备前端模块之间且具有边缘夹持器支撑构件，所述边缘夹持器支撑构件支撑边缘夹持器，所述边缘夹持器定位于所述基板的边缘处且与所述基板一起经移动至所述工艺腔室中。本发明的基板处理设备有可能降低由翘曲基板引起的损失且有效地处理基板，还有可能防止基板处理设备的损坏。
处理设备使用方法

[发明专利]基底位置检测方法、基底处理方法和基底处理装置-CN200810004753.4无效
发明人： 成乐范 -专利权人： PSK有限公司
申请日： 2008-01-28 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明披露了基底位置检测方法、基底处理方法和基底处理装置，具体披露了一种对放置在支撑板上的基底的位置进行检测的方法，其中，通过测量支撑板的温度来检测放置在支撑板上的基底的位置。将基底放置在支撑板上之后，测量支撑板的温度并且将它与参考温度进行比较。如果测量温度处于参考温度范围之内，则判定基底是放置在支撑板上的适当位置处。另一方面，如果测量温度处于参考温度范围之外，则判定基底不在支撑板上的适当位置处。当基底不是放置在支撑板上的适当位置处时，就产生警报，或者中止对基底的处理。
基底位置检测方法处理装置