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[发明专利]差动共焦球面曲率半径快速相对测量方法与装置-CN202210722005.X有效
发明人：邱丽荣;汤亮;赵维谦;徐可米 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01B11/255 文献下载
摘要：本发明公开的差动共焦球面曲率半径快速相对测量方法与装置，属于光学精密测量技术领域。本发明中，在同一批被测元件中挑选一个已知曲率半径R0的元件作为样板S0，并在其共焦位置处进行扫描以获得差动共焦光强响应曲线及其线性段拟合方程；依次装卡被测件Sn，将采集的差动光强值映射到线性段拟合方程以实现Sn离焦量Δzn的无扫描快速测量；通过Δzn和R0计算得到被测元件的曲率半径Rn。本发明只需1次扫描和N次重复装卡即能够实现N件同批次球面元件曲率半径的快速高精度测量，相比于现有测量方法(N件被测样品需要2N次扫描)，本发明既能够保留差动共焦高精度测量的优势，又能够显著提高大批量球面元件的加工检测效率和精度。
差动球面曲率半径快速相对测量方法装置

[发明专利]一种激光微结构高效加工及精密测量的方法和装置-CN202210415464.3有效
发明人：赵维谦;全宏升;刘超;邱丽荣;徐可米 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开的一种激光微结构高效加工及精密测量的方法和装置，属于激光加工及精密监测技术领域。本发明在Z方向进行定焦和测量时，通过一对标准激光干涉仪镜组模块对称分布放置在Z向气浮运动轴模块中心的两侧，一方面能够有效避免运动传感器的阿贝误差；另一方面，相对于单个的标准激光干涉仪镜组模块，成对出现的标准激光干涉仪镜组模块将会对轴向运动的微小位移进行放大，有效的减小微位移测量误差，提高Z向加工和监测的精度。同时利用抗表面倾角变化和散射的激光差动共焦定模块来实现Z向定焦和监测。本发明能够同步实现对激光微结构的加工及精密测量，且能够提高位移传感误差精度，进而提高三维激光微结构的加工精度和测量精度。本发明还具有如下优点：整体结构鲁棒性强、稳定性高，抗外界撞击扰动。
一种激光微结构高效加工精密测量方法装置

[实用新型]一种提高钻头耐用性的激光涂覆装置-CN202221523070.1有效
发明人：陈景煜;徐可米 -专利权人：中科精仪科技（广东）有限公司
申请日： 2022-06-18 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C23C24/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光涂覆装置技术领域，尤其是一种提高钻头耐用性的激光涂覆装置，包括箱体，所述箱体的开口端连接有柜门，所述箱体的顶端设置有入光口，箱体的顶端位于入光口处设置有激光器，所述箱体的内侧对称设置有反射镜及聚焦镜，本实用新型中，通过设置的第三齿轮及第一齿轮来驱动置物板进行移动，由于第三齿轮及第一齿轮的直径不同，因此使用者可以根据实际情况来选择转动第三齿轮或第一齿轮，从而实现置物板不同速度的移动，确保了钻头涂覆的均匀性，本实用新型设计合理，且结构简单，便于用户操作，实用性较强。
一种提高钻头耐用性激光装置