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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用-CN202111350194.4有效
发明人：王烨;王彦铿 -专利权人： 广州聚利笙科技有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23F3/03 文献下载
摘要：本发明提供一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用。本发明是通过超声化学去油脂‑电化学抛光‑初次阳极氧化‑化学蚀刻‑光刻‑再次阳极氧化‑末道处理等过程，最终获得阳极氧化铝纳米微阵列芯片。阳极氧化铝纳米微阵列芯片可负载核酸和/或蛋白质和/或小分子化合物后作为高通量生物芯片。负载核酸和/或蛋白质和/或小分子化合物前，将阳极氧化铝芯片置于过氧化氢溶液中加热至沸腾处理1h以提高阳极氧化铝表面羟基含量，然后进行氨基化修饰，使表面修饰带有活性的氨基基团。本发明的阳极氧化铝纳米微阵列芯片用作生物芯片时，有序的纳米孔增加了生物芯片的比表面积，可以负载更高密度的核酸探针，提高信号强度。
一种基于 mems 阳极氧化铝纳米阵列芯片及其制备工艺应用

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