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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种高比重钨基合金蚀刻剂及其配制和使用方法-CN202210961403.7有效
发明人：王金;代国庆 -专利权人： 常州百事瑞机电设备有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23F1/38 文献下载
摘要：本申请提出了一种高比重钨基合金蚀刻剂及其配制和使用方法，涉及半导体制造领域。一种高比重钨基合金蚀刻剂，按重量百分比计算，包括以下组成：强氧化剂18‑30％、催化剂6‑15％、缓蚀剂0.1‑1.0％、稳定剂1‑3％、pH缓冲剂1‑5％，余量为水；所述蚀刻剂的pH为13‑14。配制方法为：往水中加入催化剂，再添加强氧化剂，混合均匀后加入缓蚀剂、稳定剂和pH缓冲剂，调节pH为13‑14，即可配制得到所述高比重钨基合金蚀刻剂。本配方选取的化学试剂对作业人员具有较低的健康风险系数，且作业后产生的工业废水具有较低的环境风险系数，克服了现有工艺下作业安全风险性高和环境污染负荷大的特点。
一种比重合金蚀刻及其配制使用方法

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