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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种热丝化学气相沉积室用沉积工件固定装置-CN202321365628.2有效
  • 郭俊;杨作红;师春伟;李寅龙;郭振军 - 山西和风佳会环保科技有限公司
  • 2023-05-31 - 2023-10-24 - C23C16/458
  • 本实用新型涉及热丝化学气相沉积技术领域，具体是一种热丝化学气相沉积室用沉积工件固定装置，其包括圆柱型的沉积室，沉积室的内腔中部固定有沉积工件，沉积室的侧壁开设有室门通孔，室门通孔分为上室门通孔和下室门通孔，沉积室的侧壁上铰接有覆盖室门通孔的室门，沉积室的内腔侧壁上开设有盲孔，盲孔内均旋拧有支撑螺杆，支撑螺杆远离盲孔的端部均一体固定有卡接块，支撑螺杆上旋拧有支撑螺母；水平沉积室弧带的侧壁开设有通孔，通孔内贯穿有紧固螺杆，紧固螺杆远离通孔的端部一体固定有紧固块，紧固螺杆上旋拧有紧固螺母；沉积工件的侧壁上开设有三个抵接槽；解决了现有的HFCVD装置在固定沉积工件时存在热能利用率低、成本高的问题。
  • 一种化学沉积工件固定装置
  •  1 
  • 共 1 条
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