“崔正德”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果7个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]键合头以及包括该键合头的键合装置-CN202211540871.3在审
发明人： 崔正德;朴瑛奎;全泳坤;成知勳 -专利权人：美科陶瓷科技有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：提供一种键合头和键合装置，该键合头包括：底座块；加热块，设置在所述底座块的上方，并产生热；以及抗静电块，以能够吸附芯片的方式配置在所述加热块上方，并配置为与接地电极电连接，以去除残留在表面上的电子。由此，能够有效地去除残留在抗静电块的表面上的电子。
键合头以及包括装置

[发明专利]包含有用于减小热应力的缓冲层的静电吸盘-CN201310120710.3无效
发明人：崔镇植;崔正德 -专利权人：高美科株式会社
申请日： 2009-09-08 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：在静电吸盘（ESC）中包括用于吸收热应力的缓冲层，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体以及设置在所述主体上的基板。所述基板具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被暴露出来的电极。所述ESC包括端子单元，所述端子单元具有通过所述穿透孔和所述基板的插入部分与所述电极接触的端子；以及缓冲层，其设置在所述主体和所述基板中的至少一个与所述端子之间的边界区域，并吸收所述主体的热应力。因此，ESC的热应力被吸收到所述缓冲层，从而充分减少了由热应力造成的裂纹由此增加了ESC的耐久性寿命。
含有用于减小应力缓冲静电吸盘

[发明专利]接地结构及具有该接地结构的加热器和化学气相沉积设备-CN201080064362.7无效
发明人： 崔正德;陆贤美;崔镇植 -专利权人：高美科株式会社
申请日： 2010-11-24 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明涉及一种接地结构、以及具有所述接地结构的加热器和化学气相沉积设备。接地座具有壳体，用于容放接地连接器，接地连接器用于将电流导向接地蓄电器；位于壳体中的接地夹，所述接地夹为圆筒状以使接地夹内外相通，所述接地夹保持住所述接地连接器使得其内表面与接地连接器的表面接触；一对爪部，从所述接地夹的外表面靠近所述开口部处突出并沿所述外表面延伸，同时彼此间隔距离为所述开口部的宽度；紧固于所述爪部的容配加强件，用于加强接地夹和接地连接器间的结合力；以及连接所述接地夹外表面和接地座的接地线，以将接地电流传到所述接地座。通过加强接地夹和接地连接器间的结合力，可以抑制间隙的形成并因此防止电弧引起的接地连接器的损伤。
接地结构具有加热器化学沉积设备

[发明专利]包含有用于减小热应力的双缓冲层的静电吸盘-CN200980135899.5有效
发明人：崔镇植;崔正德 -专利权人：高美科株式会社
申请日： 2009-09-08 - 公布日： 2011-08-10 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：在静电吸盘和制造该静电吸盘的方法中，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体；具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被局部暴露出来的电极的基板；具有通过所述穿透孔和所述插入部分与所述电极接触的端子以及将所述主体与所述端子电绝缘开的绝缘构件的端子单元；设置在所述主体和所述绝缘构件之间的第一边界区域处的第一缓冲层，该第一缓冲层用于吸收热应力；以及设置在所述基板和所述绝缘构件之间的第二边界区域处的第二缓冲层，该第二缓冲层防止裂纹生长。因此，热应力被吸收到所述第一缓冲层并且第二缓冲层防止了裂纹生长。
含有用于减小应力缓冲静电吸盘

[发明专利]包含有用于减小热应力的缓冲层的静电吸盘-CN200980135897.6有效
发明人：崔镇植;崔正德 -专利权人：高美科株式会社
申请日： 2009-09-08 - 公布日： 2011-08-10 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：在静电吸盘(ESC)中包括用于吸收热应力的缓冲层，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体以及设置在所述主体上的基板。所述基板具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被暴露出来的电极。所述ESC包括端子单元，所述端子单元具有通过所述穿透孔和所述基板的插入部分与所述电极接触的端子；以及缓冲层，其设置在所述主体和所述基板中的至少一个与所述端子之间的边界区域，并吸收所述主体的热应力。因此，ESC的热应力被吸收到所述缓冲层，从而充分减少了由热应力造成的裂纹由此增加了ESC的耐久性寿命。
含有用于减小应力缓冲静电吸盘

[实用新型]接地结构、加热器以及化学气相沉积装置-CN200720195939.3有效
发明人：李盛玟;许康壹;崔正德;李范述 -专利权人：高美科株式会社
申请日： 2007-11-22 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：一种接地结构、加热器以及化学气相沉积装置，包括接地底座、接地端、导电保持件和连接部件。所述接地端可移动地插入于所述接地底座中。所述导电保持件设置于所述接地底座中以保持所述接地端。所述连接部件将所述导电保持件电连接至所述接地底座。因而，所述导电保持件可与所述接地端紧密接触，从而使所述接地端不会受损。
接地结构加热器以及化学沉积装置

[实用新型]连接部件、接地结构、加热器以及包括该连接部件的装置-CN200720306529.1有效
发明人：李盛玟;崔正德;崔在夏 -专利权人：高美科株式会社
申请日： 2007-12-19 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： H01R11/11 文献下载
摘要：一种接地结构，包括接地底座、接地端和连接部件。接地端可移动地插在接地底座中。连接部件将传导夹持器电连接于接地底座。此外，根据接地端的热膨胀，连接部件沿着接地端的长度方向弯曲。连接部件可包括用于夹持接地端的夹持部、固定于接地底座的固定部、以及连接于夹持部和固定部之间的弯曲部。弯曲部是弯曲的，用于允许夹持部沿着接地端的长度方向移动。
连接部件接地结构加热器以及包括装置