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[发明专利]一种MEMS膜片以及MEMS传感器-CN202310579923.6在审
发明人：阿努普·帕特尔;斯科特·莱尔·嘉吉;尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声科技（新加坡）有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS膜片以及MEMS传感器，MEMS膜片包括：主膜片，主膜片包括主体感测部以及固定部，若干固定部环形间隔的连接于主体感测部的外缘上；附加材料层，附加材料层设于固定部上，或，附加材料层设于主体感测部的边缘以及固定部上；其中,附加材料层的内应力大于主体感测部的内应力。与现有技术相比，本发明通过在主膜片上设置有附加材料层，附加材料层机械地加固在压力脉冲中经历高应力的膜区域，且附加材料层的内应力大于主体感测部的内应力，从而可以保障主膜片的柔顺性。
一种 mems 膜片以及传感器

[发明专利]一种麦克风芯片及麦克风-CN202211700659.9在审
发明人： 尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声科技（新加坡）有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明涉及光学麦克风技术领域，尤其涉及一种麦克风芯片及麦克风。本发明的麦克风芯片包括：基底，基底设有内腔；振膜，振膜支撑在基底上，振膜包括内膜部和与内膜部连接的外膜部，振膜经外膜部支撑于基底，内膜部与内腔相对设置；限位件，限位件支撑在基底上并位于振膜的沿振动方向的相对两侧并与振膜相间隔，限位件用于限制内膜部的振幅。本发明在内膜部运动至一定行程时，限位件能够限制内膜部继续运动，以降低振膜在较高声压下振动行程过大造成损坏的风险。
一种麦克风芯片

[发明专利]一种MEMS电容传声器-CN202211138934.2在审
发明人：阿努普·帕特尔;尤安·詹姆斯·博伊德;凯夫兰·雅尼克·皮埃尔 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS电容传声器，包括基底、支撑部以及振膜，其中：所述振膜通过支撑部所述支撑在所述基底上方，所述基底、所述支撑部、所述振膜围成了真空腔；所述振膜靠近所述真空腔的一侧通过连杆连接静电离合器；所述静电离合器连接有电容感测结构。与现有技术相比，本发明的优点是允许麦克风在客户可能期望的大范围大气压力下工作。这是以纯被动的方式静电实现的，这比其他需要复杂的电子和主动控制的设计具有优势，由于在不考虑转子位置直流电变化的情况下，只需考虑转子的微小交流扰动，所以将膜与感测结构物理解耦，从而简化了感测结构的设计。
一种 mems 电容传声器

[发明专利]一种静电离合器-CN202210981000.9在审
发明人：阿努普·帕特尔;尤安·詹姆斯·博伊德;凯夫兰·雅尼克·皮埃尔 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电离合器，静电离合器包括：多个接地的高阻抗节点电极阵列，形成一刚性可动体；多个偏置电极阵列，形成另一刚性可动体，使得当多个偏置电极阵列和多个高阻抗节点电极阵列之间存在相对位移时，在它们之间产生静电力。与现有技术相比，本发明的优点是允许麦克风在客户可能期望的大范围大气压力下工作。这是以纯被动的方式静电实现的，这比其他需要复杂的电子和主动控制的设计具有优势，由于在不考虑转子位置直流电变化的情况下，只需考虑转子的微小交流扰动，所以将膜与感测结构物理解耦，从而简化了感测结构的设计。
一种静电离合器

[实用新型]用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路-CN202122280705.1有效
发明人：阿努普·帕特尔;凯夫兰·雅尼克·皮埃尔;尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路。梳状驱动器包括可相对运动的第一组梳状齿和第二组梳状齿及若干电容器对。第一组梳状齿中的部分电连接到HIN，另一部分电连接到另一个独立的HIN，以形成在第一方向上交替布置的多个HIN域；第二组梳状齿中的部分电连接到偏置电极，另一部分电连接到具有相反极性的另一偏置电极，以形成在第一方向上交替排列的多个相反偏置域。电容器对分别形成在HIN域和偏置域之间，每一所述电容器对中的两电容器具有相反的声极性。本实用新型的梳状驱动器增加了给定单位单元横截面积的静电灵敏度，同时保持了可接受的电容和可接受的电压与位移曲线的线性度。
用于微机系统装置驱动器压电

[发明专利]微机电系统及其制造工艺-CN202111061567.6在审
发明人： 尤安·詹姆斯·博伊德;科林·罗伯特·詹金斯 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种微机电系统，包括具有多个交替设置的波谷和波峰的下膜，包含多个交替设置的波谷和波峰的上膜，以及设置在下膜和上膜之间的间隔层。间隔层包括由氮化物制成的对电极壁和支撑壁，对电极壁设置有导电元件。下膜槽与上膜顶部之间形成腔室，对电极壁分别悬挂在腔室内，支撑壁夹在下膜的波峰和上膜的波谷之间，相邻的支撑壁之间形成空间。相邻支撑壁之间的空间可以是空的或填充有氧化物，上膜和下膜之间不需要的电容显着降低。
微机系统及其制造工艺

[发明专利]微机电系统-CN202111061570.8在审
发明人： 尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种微机电系统，包括间隔层、第一波纹状导电膜片和第二波纹状导电膜片。所述间隔层包括沿第一方向延伸的对电极壁、狭槽和支撑壁。所述对电极壁、狭槽和支撑壁在第二方向上交替设置。所述第一波纹状导电膜片包括在第二方向交替设置的第一波峰和第一波谷，所述第二波纹状导电膜片包括在第二方向交替设置的第二波峰和第二波谷。所述间隔层被接收在由所述第一和第二波纹状导电膜片形成的腔体中。所述支撑壁分别夹在对齐的所述第一波谷和第二波峰之间。所述对电极壁分别悬置于在对齐的所述第一波峰和第二波谷之间形成的对应腔室中。本发明的微机电系统具有高水平的声音顺应性和灵敏度。
微机系统

[实用新型]麦克风-CN202123394170.7有效
发明人：斯科特·莱尔·嘉吉;尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种麦克风，其包括背板和设置在背板一侧的振膜，所述背板包括主体。所述背板的主体的一侧设有不与所述振膜接触的减薄区，并且在所述主体上形成至少一个孔。主体设有减薄区，从而提高了背板的柔性。当背板被弯曲时，增加的柔性可以减少背板上的应力负荷，从而减少背板损坏的可能性。此外，主体上设有孔，从而进一步增加了背板的柔性，并减少了背板上的应力负荷，降低了背板损坏的可能性。
麦克风

[发明专利]微机电系统-CN202111629634.X在审
发明人：阿努普·帕特尔;尤安·詹姆斯·博伊德;斯科特·莱尔·嘉吉 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微机电系统，其包括：外壳，限定有空腔和与所述空腔连通的开口；振膜，安装在所述开口处；至少一个悬臂，位于所述空腔内，所述悬臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之间的支点；柱塞，位于所述振膜和所述悬臂之间且用以将所述振膜的位移传递到所述悬臂的所述第一端；以及传感元件，连接到所述悬臂的所述第二端；其中，所述第一端与所述支点之间的距离小于所述第二端和支点之间的距离。本发明的微机电系统具有信噪比高、封装体积小、灵敏度高等优点。本发明的振膜的刚度比相关技术的振膜的数量级高，避免了在1标准大气压(atm)下的机械崩溃和大的直流变形。
微机系统

[发明专利]微机电麦克风-CN202111634533.1在审
发明人： 尤安·詹姆斯·博伊德;阿努普·帕特尔;科林·魏宏中 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微机电麦克风包括：基底，其包括设置在所述基底内的背腔以及设置在所述基底上并所述背腔连通的入声口；传感装置，设置在所述背腔的内侧壁；第一悬臂，设置在所述背腔内，其包括与所述传感装置耦接的端部；第一振膜，设置在所述入声口处，其中所述第一振膜的一侧与所述第一悬臂连接，另一侧用于接收外力；第二振膜，设置在所述背腔内；以及多个第二悬臂，其中每个所述悬臂包括机械支撑所述第一悬臂的第一端以及与所述第二振膜连接的第二端。通过将第一悬臂梁悬挂在第二悬臂梁上，第一悬臂梁的端部总是与传感装置的预设位置耦接。本发明的微机电麦克风可以防止振膜的位移的直流偏移。
微机麦克风

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