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- [发明专利]一种晶片双面刷洗机-CN202311025164.5在审
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杨杰;宋昌万;孔玉朋;蒋君;陈传磊
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2023-08-15
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2023-10-27
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H01L21/67
- 本发明涉及一种晶片双面刷洗机，包括箱体、料仓、移料装置、翻转装置及处理装置，箱体内设置有底板，料仓包括进料仓、出料仓，移料装置包括移料机构、第一抓取机构及第二抓取机构，翻转装置包括第一翻转机构、第二翻转机构，处理装置包括浸泡机构、第一刷洗机构、第二刷洗机构及甩干机构，移料机构位于底板中部，第一料仓、第二料仓和第一刷洗机构分别沿第一方向分布在移料机构两侧，浸泡机构、第一翻转机构和第二翻转机构、第二刷洗机构、甩干机构分别沿第二方向分布在移料机构两侧。本发明实现了对晶片进行全面高效的双面刷洗，自动化程度高，清洗效果好，且不会对晶片造成损伤，整体结构简单、设计巧妙，降低了成本，实用性好。
- 一种晶片双面刷洗
- [实用新型]一种晶片甩干机构-CN202321513867.8有效
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蒋君;杨杰;宋昌万;孔玉朋
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2023-06-14
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2023-10-24
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H01L21/67
- 本实用新型涉及一种晶片甩干机构，包括夹持组件、驱动组件及限位组件，夹持组件包括第一转盘、第二转盘及多个夹持件，第二转盘可转动地设置在第一转盘上，夹持件设置在第一转盘上，多个夹持件之间形成夹持区域，多个夹持件用于将晶片夹住，驱动组件与第一转盘连接，用于驱动第一转盘旋转使晶片旋转，第一转盘上开设有第一通槽，第二转盘底部设置有限位柱，限位柱的端部伸出第一通槽，限位组件可沿上下方向伸缩并将限位柱固定，使驱动组件可驱动第一转盘旋转带动夹持件相对第二转盘旋转并将晶片松开。本实用新型仅采用一个驱动源就可实现旋转甩干和夹持松开两个功能，降低了成本，提高了工作效率，自动化程度高，结构简单、设计巧妙，实用性好。
- 一种晶片机构
- [实用新型]一种晶片夹紧旋转机构-CN202321513885.6有效
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蒋君;杨杰;宋昌万;孔玉朋
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2023-06-14
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2023-10-24
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H01L21/687
- 本实用新型涉及一种晶片夹紧旋转机构，包括夹持组件、第一驱动组件及第二驱动组件，夹持组件包括第一转盘、第二转盘及第一夹持单元，第一转盘可转动地设置在第二转盘上，第一夹持单元包括多个第一夹持件、第一连杆，第一夹持件可转动地设置在第二转盘上，多个第一夹持件绕第一转盘的轴线分布，每个第一夹持件通过一个第一连杆与第一转盘连接，第一驱动组件与第一转盘连接，用于驱动第一转盘旋转以带动多个第一夹持件旋转将晶片夹紧，第二驱动组件与第二转盘连接，用于驱动第二转盘旋转使晶片旋转。本实用新型通过第一驱动组件可使晶片夹紧，通过第二驱动组件可使晶片旋转，提高了工作效率，自动化程度高，结构简单、设计巧妙，实用性好。
- 一种晶片夹紧旋转机构
- [发明专利]一种晶圆精洗工装-CN202311141737.0在审
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杨杰;宋昌万;蒋君;孔玉明
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2023-09-06
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2023-10-13
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H01L21/67
- 本发明提供一种晶圆精洗工装，涉及晶圆精洗工装技术领域，包括底座，所述底座的上方依次设有三个分别用于清洗、冲洗、烘干的精洗滚筒，所述精洗滚筒的两端均转动连接有支撑筒，所述精洗滚筒的上方间隔设置有四个传料筒，所述支撑筒均通过隔离箱与传料筒固定连通，所述精洗滚筒的内侧壁上均螺纹套接有载物短筒，所述精洗滚筒之间设置有用于对载物短筒传动的筒内传动结构，所述载物短筒的侧壁上铰接有活动盖板，所述载物短筒的侧壁上共同转动连接有两个限位传动杆，通过上述技术方案，其目的在于，在晶圆双面高效清洗工装为行业内多样性研发提供的方向上，提供一种能够对晶圆进行双面高效精洗，以及避免精洗过程二次污染的精洗工装。
- 一种晶圆精洗工装
- [实用新型]一种基于晶圆清洗的刷洗组件-CN202320279094.5有效
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杨杰;宋昌万;蒋君;孔玉朋
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2023-02-22
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2023-09-26
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B08B11/00
- 本实用新型公开了一种基于晶圆清洗的刷洗组件，包括承载平台、清洗平台，承载平台并沿着半径方向设置若干组定位嘴，使晶圆所在的下端面对定位嘴覆盖并固定，同时承载平台自身产生以中心为轴心的旋转运动；清洗平台的升降支架所在上端部通过横向设置的转动支架连接刷头组件，使得刷头组件位于承载平台所在的上端部；刷头组件的刷头件接触在位于承载平台上的晶圆上表面，通过旋转驱动件带动刷头件接触在晶圆表面时自身同步产生旋转运动，转动支架带动刷头组件从晶圆中心逐步向外沿的偏转运动。整个装置将承载平台与清洗平台相互配合，能够实现将对于晶圆表面的清洁作业，提高了清洗的效率，并实现了全自动化作业。
- 一种基于清洗刷洗组件
- [实用新型]一种晶圆形貌量测设备-CN202121506498.0有效
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杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2021-07-02
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2022-03-15
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G01B11/24
- 本实用新型公开了一种晶圆形貌量测设备，包括量测机架、位于所述量测机架上的量测平台、位于所述量测平台上的X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿所述Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于所述驱动气缸活塞杆端的量测传感器；所述量测平台数量为两个，所述量测平台通过减震支撑块与所述量测机架连接，所述量测平台上设置有载具，晶圆位于所述载具上；所述X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组。本实用新型在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对晶圆表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低。
- 一种圆形貌量测设备
- [实用新型]一种碳化硅籽晶贴片机-CN202121810451.3有效
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杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2021-08-04
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2022-01-25
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C30B35/00
- 本实用新型公开了一种碳化硅籽晶贴片机，包括机架、位于所述机架上的加工台、位于所述加工台上的供料盒、位于所述加工台中心位置处的移载机械臂、用于晶片滴胶的滴胶组件、用于晶片烘烤的烘烤组件以及用于晶片贴片的贴料组件；所述移载机械臂能够实现晶片在供料盒、滴胶组件、烘烤组件以及贴料组件之间进行来回移载；所述滴胶组件包括安装架、容纳壳体、真空吸盘、驱动模组以及滴胶阀；所述烘烤组件包括烘烤罩体、烤盘以及顶柱；所述贴料组件包括贴料定心台、移载结构、贴料气缸以及升囊。本实用新型实现了对碳化硅籽晶的贴片操作，无需人工操作，极大地降低了工人的劳动强度，减少了人力的消耗，并且大大提高了贴片效率与贴片品质。
- 一种碳化硅籽晶贴片机
- [实用新型]一种料盒清洗机-CN202121725336.6有效
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杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2021-07-27
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2022-01-25
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B08B9/34
- 本实用新型公开了一种料盒清洗机，包括输送线体、沿所述输送线体长度方向依次设置的清洗工位与吹干工位以及用于所述吹干工位供气的供气组件；所述输送线体上设置有治具架；所述清洗工位包括清洗腔室、用于液体输入的进液管以及位于所述清洗腔室内的清洗喷嘴，所述进液管包括药剂管与清水管，所述清洗喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行喷淋；所述吹干工位包括吹干腔室、用于气体输入的进气管以及位于所述吹干腔室内的吹干喷嘴，所述吹干喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行吹干；所述供气组件包括依次连接设置的储气罐、空气加热器以及空气过滤器。本实用新型实现了对晶圆料盒的清洗与吹干，保证了保证了晶圆的颗粒洁净度。
- 一种清洗
- [实用新型]一种陶瓷盘形貌量测设备-CN202121506819.7有效
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杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2021-07-02
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2021-11-30
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G01B21/20
- 本实用新型公开了一种陶瓷盘形貌量测设备，包括量测机架、位于所述量测机架上的量测平台、位于所述量测平台上的X轴模组、能够沿所述X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿所述Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于所述驱动气缸活塞杆端的量测传感器；所述量测平台数量为两个，所述量测平台通过减震支撑块与所述量测机架连接；所述X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组，所述驱动模组与所述X轴模组平行。本实用新型在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对陶瓷盘表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低。
- 一种陶瓷形貌设备
- [发明专利]一种料盒清洗机及其使用方法-CN202110849568.0在审
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杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万
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拓思精工科技（苏州）有限公司
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2021-07-27
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2021-11-02
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B08B9/34
- 本发明公开了一种料盒清洗机及其使用方法，包括输送线体、沿所述输送线体长度方向依次设置的清洗工位与吹干工位以及用于所述吹干工位供气的供气组件；所述输送线体上设置有治具架；所述清洗工位包括清洗腔室、用于液体输入的进液管以及位于所述清洗腔室内的清洗喷嘴，所述进液管包括药剂管与清水管，所述清洗喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行喷淋；所述吹干工位包括吹干腔室、用于气体输入的进气管以及位于所述吹干腔室内的吹干喷嘴，所述吹干喷嘴分别对料盒上端面与下端面进行吹干；所述供气组件包括依次连接设置的储气罐、空气加热器以及空气过滤器。本发明实现了对晶圆料盒的清洗与吹干，保证了保证了晶圆的颗粒洁净度。
- 一种清洗及其使用方法
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