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[实用新型]一种快速可拆卸的防尘转运工装-CN202321301972.5有效
发明人：张春堂;吴畏;姜小蛟 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B65D43/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及工件防尘转运技术领域，特别涉及一种快速可拆卸的防尘转运工装，包括底板、侧板、防护罩组件A和防护罩组件B；侧板有两片，竖立固定在底板的两端，防护罩组件A和防护罩组件B通过回转轴组件可旋转开合地安装在底板上；底板上固定有底隔板，两片侧板之间固定侧隔板，所述底隔板和侧隔板上对应均匀开设多道凹槽，用于分隔放置多个工件。本实用新型防尘转运工装材质采用耐腐、耐高温的非金属材料，防护罩组件A和防护罩组件B采用卡扣形式卡合和打开，且可拆卸地安装在底板上，可进行快速拆卸，实现工装的全流程转运，防止转运过程中的环境污染，减少人员上下料周转时间，可以保证工件在转运过程中的洁净度、质量和稳定性。
一种快速可拆卸防尘转运工装

[实用新型]一种适用于真空门阀的阀板自由度调节机构-CN202223520294.X有效
发明人：李加平;姜小蛟;谭晓东;辛洪旭;杨建辉 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F16K1/48 文献下载
摘要：本实用新型是一种适用于真空门阀的阀板自由度调节机构，包括阀板、阀板转接件、波形弹簧、真空螺钉一、真空螺钉二、推力轴承、传动轴；所述阀板通过两侧真空螺钉一安装在阀板转接件上，其中阀板背面具有螺纹孔，所述波形弹簧预压缩安装在阀板与阀板转接件中间；在真空螺钉一与阀板转接件中间安装推力轴承；所述传动轴与阀板转接件通过真空螺钉二组装在一起；在凸柱的端面具有容纳真空螺钉二的螺纹孔。解决门阀在关闭时由于误差导致的阀板与密封面贴合不紧密问题。安装预压紧的波形弹簧、弹簧与转接结构，通过调节螺钉扭矩，实现阀板两侧距离安装面的距离调节，进而实现密封压缩量调整及旋转自由度调节。大大规避了在调节过程中污染颗粒的产生。
一种适用于真空门阀自由度调节机构

[实用新型]一种钢管内外倒角装置-CN202321299774.X有效
发明人：赵闯;姜小蛟 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及钢管倒角技术领域，特别涉及一种钢管内外倒角装置，包括安装底板、驱动机构、浮动机构、倒角机构；安装底板中间开设通孔，两侧开设通孔；浮动机构用于为倒角机构提供靠近钢管的轴向力，倒角机构顶靠在钢管下边缘进行内外倒角；倒角机构安装在驱动机构的输出轴上；驱动机构安装于安装底板下方，用于带动倒角机构旋转；浮动机构和倒角机构安装于安装底板7上方，钢管位于所述内外倒角装置上方。本实用新型通过机械手夹持钢管，通过电机带动倒角机构旋转，并通过整体浮动机构及倒角机构来适应不同管径的钢管及切割力，实现了内外倒角同时进行，并且保证倒角的一致性和倒角精度。
一种钢管内外倒角装置

[发明专利]一种适用于半导体行业的真空矩形阀门-CN202210917372.5在审
发明人：李加平;姜小蛟;李茂成 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：本发明是一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，主要包括动力组件、升降组件、外壳组件、腔体组件构成；用于连接传输腔室与反应腔室的机构装置，或用于密封真空腔体。通过设计空间凸轮及轨道结构，输入为旋转动力源电机或转动气缸，实现了阀门的稳定上升及水平关闭，通过设计合理的升降路径及方式，规避了由振动产生污染颗粒的可能。实现阀门轴的升降及水平关闭，确保阀门在关闭时不会产生摩擦，且通过空间凸轮及轨道原理实现了动作周期内的顺滑运动。本发明具有结构简便、装配简单、维护方便等优势。
一种适用于半导体行业真空矩形阀门

[发明专利]一种半导体欠驱动L型运动真空阀门-CN202211684786.4在审
发明人：辛洪旭;李加平;姜小蛟;谭晓东;杨建辉 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： F16K3/18 文献下载
摘要：本发明属于半导体制造技术及真空阀门领域，具体涉及一种半导体欠驱动L型运动真空阀门。一种半导体欠驱动L型运动真空阀门，包括阀板，阀板座，真空螺钉，止推轴承，波纹管一体轴，气缸座，气缸，限位座，支点轴承，连杆座，支点连杆，连接轴，挡圈，衬套，短连杆，扭簧，气缸连接座，支撑板，封板，外壳；所述气缸上端通过螺钉与气缸座固接，气缸下端与气缸连接座连接；气缸连接座通过螺钉与连杆座连接。本发明实现阀板的竖直运动，降低制造成本，再通过平行四边形机构结合滑块压紧机构实现阀板的水平运动，保证阀板与门框密封面在完全贴合时，避免轻微摩擦产生的污染及损耗，且保证阀板及O‑ring受压均匀，保证阀的使用寿命。
一种半导体驱动运动真空阀门

[实用新型]一种适用于半导体行业的自适应阀板-CN202223366498.2有效
发明人： 姜小蛟;李加平;杨帅 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F16K3/314 文献下载
摘要：本实用新型是一种适用于半导体行业的自适应阀板，包括阀板、转轴、固定座、第一紧固螺钉、第二紧固螺钉、传动轴；阀板背面设有弧形沟槽，在弧形沟槽内布置有转轴；固定座扣合在转轴外侧，将固定座通过第二紧固螺钉固定安装在阀板上；转轴两端为台阶结构，中部固接有连接件，传动轴顶端插入到连接件内部，并通过第一紧固螺钉固定连接。该阀板适用于真空矩形阀门中。通过设计阀板背部结构，设计了一种可以自适应调节的阀板，实现了阀板在关闭过程中的垂直方向关闭。该自适应结构的阀板通过背部机构设计，避免了阀门在关闭过程中密封圈与阀壳的摩擦，从原理上减少污染粒子的产生，同时可以极大程度的增加其密封性能。
一种适用于半导体行业自适应

[发明专利]一种摆动式真空矩形阀门的装配工装-CN202110918958.9在审
发明人：李加平;姜小蛟 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B23P19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种摆动式真空矩形阀门的装配工装，包括弹簧压缩保持工装、传动轴组件不扭转工装、活塞杆长度保持工装和矩形阀门的腔体设置板；所述弹簧压缩保持工装包括支撑轴、第一转接板、连接板和螺杆。本发明通过设计弹簧压缩保持工装，大大提高了弹簧安装效率及安全性，从而为后续装配提供良好的装配环境与基础，此外本发明结构简单，操作方便；通过设计传动轴组件不扭转工装，确保了运动部件装配的准确性与精度，保证了装配过程各个部件的相互配合关系；通过设计活塞杆长度保持工装，设计特定长度的结构件，确保两个活塞杆在最长行程时进行装配，保证了阀门的稳定关闭与打开，同时降低了初始装配后机构的内部受力情况。
一种摆动真空矩形阀门装配工装

[发明专利]一种适用于半导体行业的真空矩形阀门-CN202110918196.2在审
发明人：李加平;姜小蛟 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： F16K31/163 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，包括阀门固定机构、气缸组件及设置件、导向组件、升降组件和外置气路；所述阀门固定机构包括真空腔体、腔体连接板和固定座，所述真空腔体通过螺栓固定设置在腔体连接板的顶部，所述固定座固定设置在腔体连接板的底部。本发明通过选用标准气缸组件作为动力源，针对活塞杆不能承受径向冲击载荷的特点，设计辅助导向机构，通过将径向力传导至安装座，从而保护升降组件，本文通过设计阀门上升与关闭行程及凸轮槽，确保阀门在关闭时不会产生摩擦，且通过上升与关闭行程比保证在动作周期内的低振动性，从而大大降低了微小颗粒的产生。
一种适用于半导体行业真空矩形阀门

[实用新型]一种大量程管件长度测量机构-CN202122133882.7有效
发明人：刘鑫;洪涛;姜小蛟 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大量程管件长度测量机构，包括安装底板，所述安装底板的上表面分别固定设置有高精度电缸和终端定位块，所述高精度电缸的输出端上表面固定设置有测量机构安装板。本实用新型通过测量气缸带动高精度位移传感器通过接触式测量方法测量出管件的长度，由标定样件的长度、高精度电缸的位置数值和高精度位移传感器的数值通过本专利公开的计算方法得出管件测量长度，高精度电缸的测量精度可达0.01㎜，高精度位移传感器的测量精度可达0.01㎜，因此设备的全量测量精度可控制在0.02mm以内，使得测量精度更高，高精度电缸调整位移传感器的测量位置，可测量不同长度的管状零件，增加了设备的测量量程。
一种量程长度测量机构

[实用新型]一种腔体阀真空度和振动测试治具-CN202121828177.2有效
发明人： 姜小蛟;刘鑫 -专利权人：沈阳富创精密设备股份有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种腔体阀真空度和振动测试治具，包括控制模块、氦测仪、加速度计、控制单元；控制模块通过网络与控制单元连接；控制单元通过线路与真空度仪连接；控制单元通过线路与电磁阀输入端连接，电磁阀输出端与加速度计连接；加速度计与控制单元之间并联连接有第一传感器和第二传感器；加速度计布置于测试腔体上部的被测腔体阀外侧；测试腔体输出端通过管路与氦测仪连接；在输出管路上设有真空度仪和开关阀门。可以方便快捷输出测试结果，避免了手动计量和读取参数可能导致的错误，保证了测试结果的准确性。极大的提高了腔体阀往复运动时测试的效率和准确度，保证产品质量。
一种腔体阀真空振动测试

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