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[发明专利]生产天车的事件触发控制器设计方法-CN202211656444.1在审
发明人：刘来友;李荣明;於阳阳;胡邦明;姚卫俭 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种生产天车的事件触发控制器设计方法，包括：采集天车车辆数据，根据天车车辆数据建立天车轨道岔路口的状态空间模型；建立天车控制系统的事件触发机制；设定天车控制系统在事件触发机制下的正性和稳定性条件，根据状态空间模型、事件触发机制和天车控制系统在事件触发机制下的正性和稳定性条件，构建天车控制系统的事件触发控制器，事件触发控制器具有正性和稳定性。该方法将正切换系统应用于建立状态空间模型，设计事件触发控制状态反馈控制器，应用该控制器能够控制天车避开拥堵轨道，从而控制拥塞轨道岔路口的天车数量，可以改善轨道天车流量大而造成的拥堵问题，使天车物料搬运系统平稳运行，具有良好的控制效果。
生产天车事件触发控制器设计方法

[实用新型]一种晶圆刻蚀设备及系统-CN202223425679.8有效
发明人：王鹏;李荣民;於阳阳;胡邦明;姚卫俭 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆刻蚀设备及系统，应用于图像检测领域，该设备包括：刻蚀设备本体和至少2个摄像头；其中，刻蚀设备本体的侧面开有开口，开口处密封连接有透光板，通过透光板将开口密封；摄像头设置在透光板外侧，沿刻蚀设备本体对位设置。本实用新型通过在刻蚀设备本体的侧面开有开口，并在开口处密封连接有透光板，通过透光板将开口密封，在透光板外侧沿刻蚀设备本体对位设置至少2个摄像头，能够在刻蚀设备对晶圆进行刻蚀的同时，准确检测晶圆的位置，能够在晶圆处于不当位置时，及时停止刻蚀操作，避免了对刻蚀设备内部器件造成损坏的问题，同时利用摄像头对晶圆位置进行检测，提高了检测的效率。
一种刻蚀设备系统