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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种用于多阶段硒化硫化制备铜铟镓硒硫薄膜的装置-CN202221792568.8有效
发明人： 夏梽杰;韩晋琛;吴文烛;韩然然;刘祖刚;赵虹 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：一种用于多阶段进行硒化硫化制备铜铟镓硒硫薄膜的装置，包括一个具有三温区的管式炉、两个蒸发腔室、一个反应腔室和三个与基底相连的推拉杆，推拉杆中安装有进气管道和排气管道，作用是炉腔内载气的供应和废气的处理。通过以下三个阶段就可以实现同时或多阶段的硒化、硫化反应：反应阶段，将抽屉状的基底推入蒸发腔室和反应腔室，令混合气体从蒸发腔室流向反应腔室进行反应；排气阶段，令混合气体从反应腔室回流到蒸发腔室，并从蒸发腔室排出；基底冷却阶段，通过推拉杆将基底拉至炉腔内的冷却区域进行冷却。其中，在排气阶段使混合气体回流，更大程度地减少硒蒸汽、硫蒸气在反应腔室和管道内的冷凝，避免阻塞管道。
一种用于阶段硫化制备铜铟镓硒硫薄膜装置

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