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[实用新型]一种晶圆加工用快速流转系统-CN202221705534.0有效
发明人：朱跃刚;刘明 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及的晶圆加工用快速流转系统，包括边缘抛光机、贴附前清洗机、贴附机和剥离机，边缘抛光机的出料口设置有用于将抛光完成的晶圆输送至贴附前清洗机的第一输送装置，贴附前清洗机连接有将清洗完成的晶圆转移至氮气存储库中的第一转移机械手，氮气存储库的出料口连接有用于将存储在氮气存储库中的晶圆输送到贴附机的第二输送装置，贴附机的出料口设置有将贴附完成的晶圆输送至剥离机的第三输送装置。本实用新型的有益效果是：能够改善晶圆加工过程中的流转效率，降低卡料和等待的几率，在卡料较多时还能通过氮气存储库对晶圆进行存储，进而降低晶圆氧化或污染的几率，提高流转过程中的可靠性。
一种晶圆加工用快速流转系统

[实用新型]一种晶圆料盒智能存储柜-CN202220822178.4有效
发明人：黄益民;朱跃刚 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B65D25/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种晶圆料盒智能存储柜，包括存储柜本体，存储柜本体内具有储物腔，所述储物腔内设置有储物架，所述储物架上具有若干个用于存储晶圆料盒的存储区间，所述储物腔的侧面连接有氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件。本实用新型的有益效果是：通过氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件的设置，能够快速完成储物腔中氮气的换气，为晶圆构建出良好的存储环境，通过氮气浓度检测仪对储物腔中的氮气含量进行实时监测，在监测到储物腔中的氮气含量低于设定阈值时，能够通过连接在控制器的报警装置及时发出报警，降低存储在储物腔中的晶圆受损的几率。
一种晶圆料盒智能存储

[实用新型]一种探测器治具用上盖自动安装装置-CN202222124951.2有效
发明人：朱跃刚;杨佳晨;刘明 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种探测器治具用上盖自动安装装置，包括治具，所述治具上连接有上盖，所述上盖上设有定位孔，所述治具的上端面固定有定位销，所述治具的上端面还设有弹性搭扣，所述弹性搭扣搭在所述上盖的上端面上，所述治具的一侧设有上盖翻转机构，所述上盖翻转机构包括升降气缸，所述升降气缸的输出端设有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端连接有连接板的一端，所述连接板的另一端设有双杆夹爪气缸，所述夹爪气缸的两端均设有夹爪，所述连接板的端部还设有横杆，所述横杆的两端竖直可活动贯穿有推杆，所述推杆的顶端与所述横杆的上端面之间连接有弹簧，所述装置可自动实现治具上盖的安装和拆卸，提高工作效率。
一种探测器用上自动安装装置

[实用新型]一种晶圆加工用高洁净度输送装置-CN202221705486.5有效
发明人：朱跃刚;刘明 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及的晶圆加工用高洁净度输送装置，包括AGV小车、支撑台以及设置在支撑台上的储料容器，支撑台的底部与AGV小车接触，储料容器内放置有一个或多个储料盒，在每个储料盒内均设置有支撑板，每个储料盒中的支撑板的数量为2个，2个支撑板沿所在的储料盒的中轴线为轴对称设置，支撑板内侧开设有支撑凹槽，晶圆的两侧分别位于不同的支撑板上开设的支撑凹槽中，储料容器连接有用于去除储料容器中的微小颗粒的风淋管道。本实用新型的有益效果是：通过设置在储料容器中的储料盒对晶圆进行存储，然后通过风淋管道对储料容器的洁净度进行调整，使得储料容器中的洁净度高于外界环境的洁净度。
一种晶圆加工用洁净输送装置

[实用新型]一种阀杆直径检测机构-CN202222092598.4有效
发明人：朱跃刚;杨佳晨;黄益民 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种阀杆直径检测机构，包括底座、阀杆定位组件、直径检测组件和支撑台，支撑台通过连接杆与底座连接，阀杆定位组件包括固定板、顶针组件、用于驱动顶针组件转动的转动组件和用于推动转动组件运动的第一直线驱动装置，顶针组件与转动组件连接，固定板连接在支撑台上，在顶针组件和所述顶针组件之间形成用于夹持和定位阀杆的夹持区间。本实用新型的有益效果是：首先通过阀杆定位组件对阀杆的位置进行定位，然后通过第二直线驱动装置驱动直径检测组件沿阀杆的径向移动，从而对阀杆的直径进行检测；还能通过槽屑检测组件中的CCD相机对阀杆上的槽进行拍摄，然后通过图像检测系统对槽内的是否存在金属屑进行检测。
一种直径检测机构

[实用新型]一种阀杆多功能检测装置-CN202222093274.2有效
发明人：朱跃刚;杨佳晨;黄益民 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种阀杆多功能检测装置包括第一检测机构、第二检测机构、阀杆定位机构和用于对阀杆的位置进行移动的移载单元，阀杆定位结构包括第一支撑台和连接在第一支撑台上的支撑板，支撑板上连接有定位轮组件和下压机构且下压机构连接在定位轮组件上方，定位轮组件包括两个定位轮，在两个定位轮和下压机构之间形成用于对阀杆进行定位的定位区间，支撑板上开设有通孔，阀杆的一端位于通孔中，阀杆的另一端位于定位区间中。本实用新型的有益效果是：通过定位区间和通孔能够对阀杆进行有效定位，在定位完成后，通过CCD相机对阀杆进行拍摄，然后通过搭载或连接CCD相机的检测系统对拍摄的阀杆中的毛刺进行检测识别，检测效率高。
一种多功能检测装置

[实用新型]一种晶圆存储柜用料盒用输送设备-CN202220822165.7有效
发明人：黄益民;朱跃刚 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B65G1/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种晶圆存储柜用料盒用输送设备，包括设置在货架一侧或两个货架之间的导轨组件，导轨组件包括至少两根输送导轨，输送导轨上可移动的连接有移动滑块，移动滑块上连接有移动架，移动架上连接有用于夹持晶圆料盒的夹持结构，在两根输送导轨之间设置有驱动移动架沿输送导轨直线运动的驱动机构。本实用新型的有益效果是：能够通过货架一侧的移动架和连接在移动架上的夹持结构，实现晶圆料盒的上料、下料以及不同货架间的转运，由于输送导轨设置在两个货架之间，配合旋转电机能够实现两个货架上的晶圆料盒的上料和下料，相对于为每个货架配备单独的上料和下料结构，能够减少对空间的占用，提高单位面积内对晶圆料盒的存储量。
一种存储用料输送设备

[发明专利]创口贴包装设备的结构-CN202110085883.0有效
发明人：许的望;黄益民 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B65B7/20 文献下载
摘要：本发明公开了创口贴包装设备的结构，包括边缘设有包装盒夹具的旋转台、位于旋转台周围的包装盒上料机构、对底部封口结构进行折叠的第一折叠机构、创口贴供料机构、创口贴入盒机构、对顶部封口结构进行折叠的第二折叠机构、包装盒下料机构。包装盒上料机构将包装盒打开后送入旋转台的包装盒夹具中，在旋转台旋转过程中，第一折叠机构对包装盒的底部折叠封口，创口贴入盒机构将来自创口贴供料机构的创口贴放入包装盒，第二折叠机构对包装盒顶部封口。本发明为创口贴自动包装提供了结构上的条件，利于创口贴包装效率的提升。
创口包装设备结构

[发明专利]一种晶圆磨片机用自动上下料系统-CN202211386128.7在审
发明人：朱跃刚;刘明;杨佳晨 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及的一种晶圆磨片机用自动上下料系统，包括支撑台、磨片机、中转搬运机器人和磨片搬运机器人，支撑台设置在磨片机的一侧，中转搬运机器人和磨片搬运机器人均连接在支撑台的上表面；支撑台的上表面连接有未磨晶圆载具、已磨晶圆载具、假片放置载具和中转定位平台，中转搬运机器人用于将未磨晶圆载具中的晶圆转移至中转定位平台或将中转定位平台中的晶圆转移至已磨晶圆载具，磨片搬运机器人用于将中转定位平台中的待加工的晶圆转移至磨片机或将磨片机中磨片完成的晶圆转移至中转定位平台。本发明的有益效果是：结构简单，使用方便，改善晶圆的加工效率和加工质量，降低晶圆加工的时间成本。
一种晶圆磨片机用自动上下系统

[实用新型]一种阀杆检测机-CN202222093257.9有效
发明人：朱跃刚;杨佳晨;黄益民 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B07C5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种阀杆检测机，包括料盘上下料组件、检测机构、移载机构、上料机构和下料机构，所述料盘上下料组件用于将料盘输送到上料机构的上料位置或下料机构的下料位置，所述上料机构用于将阀杆从料盘转移至所述移载机构，所述移载机构用于将阀杆移动到检测机构，所述下料机构用于将检测完成的阀杆转移至所述料盘上下料组件或NG料槽。本实用新型的有益效果是：通过移载机构能够配合将阀杆移动到检测工位料盘上下料组件和上料机构快速将待检测的阀杆输送至检测工位进行检测，加快阀杆的检测效率，在检测结束后能够及时将阀杆输送至NG料槽或料盘上下料组件，实现对阀杆的快速检测。
一种检测

[实用新型]一种探测器自动上下料装置-CN202222106158.X有效
发明人：朱跃刚;杨佳晨;刘明 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种探测器自动上下料装置，包括框架，所述框架的台面上分别设有上料取放机构和下料取放机构，所述上料取放机构和下料取放机构之间设有高低温黑体测试区，所述上料取放机构和所述下料取放机构均包括XYZ轴移动模组，所述XYZ轴移动模组上连接有用于夹取产品的电动夹爪，所述台面的下方通过Z轴移动模组连接有料盘载板，所述台面上设有开口，所述开口的两侧设有料盘定位机构，所述台面上设有料盘搬运机构，所述上料取放机构一侧还设有CCD相机，所述上料取放机构和所述下料取放机构之间通过YZ轴移动模组连接有测试治具，所述测试治具上设有上盖，所述台面上设有上盖翻转机构，所述装置可产品的上下料和检测，大大提高了工作效率。
一种探测器自动上下装置

[实用新型]一种晶圆料盒存储柜用上料装置-CN202220822227.4有效
发明人：黄益民;朱跃刚 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B65G47/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种晶圆料盒存储柜用上料装置，包括上料小车和垂直上料组件，上料小车设置在垂直上料组件的一侧，垂直上料组件包括输送支架、驱动轴、输送电机、第一屏蔽门、第二屏蔽门和安装框架，驱动轴的数量为2个，2个驱动轴设置在输送支架的两侧，其中一驱动轴与输送电机传动连接，2个驱动轴之间连接有输送带。本实用新型的有益效果是：在晶圆料盒上料过程中，首先打开第一屏蔽门，将晶圆料盒输送到隔离区间中，然后关闭第一屏蔽门，之后打开第二屏蔽门，将晶圆料盒输送到对应的存储空间中，整个上料流程第一屏蔽门和第二屏蔽门不同时打开，能够显著减少氮气在晶圆料盒上料过程中的泄露，进而保持晶圆存储环境的稳定性。
一种晶圆料盒存储用上装置

[实用新型]一种防晶圆坠落的存储系统-CN202221031050.2有效
发明人：黄益民;刘明;朱跃刚;周志远;杨佳晨 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及的防晶圆坠落的存储系统，包括储物架，储物架包括至少两排立柱，同排的相邻的立柱之间连接有横杆，两排立柱之间通过斜杆相互连接，立柱的侧面连接有L形支撑板，相邻的L形支撑板之间形成用于容纳晶圆盒的容纳空间；L形支撑板包括第一板体和第二板体，第一板体连接在立柱上，第二板体连接在第一板体的侧面，第二板体的上表面为倾斜面，第二板体靠近晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较厚，第二板体远离晶圆盒放置晶圆的开口的一侧的厚度较薄。本实用新型的有益效果是：能够使得晶圆与水平面保持一定的夹角，防止抛光后的晶圆因表面过于光滑而滑落，从而提高晶圆存储的安全性和可靠性。
一种防晶圆坠落存储系统

[实用新型]一种PCB插接件机-CN202122179395.4有效
发明人：刘明;黄益民 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： H05K13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及的一种PCB插接件机，包括工作台，工作台上设置有插板供料机构、插接件供料机构、插接机构和卸料机构。PCB插接件机分别通过插接件供料机构和插板供料机构进行插接件和插板的上料，然后通过插接机构将若干个插接件依次插接在插板上，能够快速的将插接件插接在插板上，然后将插板及时转移到卸料区，从而完成对插接件的快速插接，通过控制装置来对横向位移模组、纵向位移模组、垂直位移模组、微调气缸、顶升气缸、驱动电机、夹持气缸以及光电传感器进行控制，能够使得插接件插接过程中，插接的过程更加精准，提高插接质量和插接效率。
一种 pcb 插接

[实用新型]一种传感器组装机-CN202122621780.X有效
发明人：黄益民;周志远 -专利权人： 唯实先端智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B23P21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种传感器组装机，包括工作台，工作台上设置有探头上料机构、探头组装移载机构、泡棉垫上料机构、橡胶圈上料机构、传感器本体上下料机构和传感器组装机构，探头上料结构设置载探头组装移载机构的一侧，泡棉垫上料机构和橡胶圈上料机构设置载探头组装移载机构的另一侧，传感器组装机构设置在探头组装移载机构的左侧或右侧，传感器本体上下料机构设置在传感器组装机构一侧。能够快速完成对传感器的组装和检测，并及时将检测不合格的传感器剔除，提高传感器的组装效率和组装质量。
一种传感器组装

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