专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]硅基液晶显示芯片制造方法及硅基液晶显示芯片-CN202011189724.7有效
  • 陈弈星;唐平大;于钦杭 - 南京芯视元电子有限公司
  • 2020-10-30 - 2022-08-05 - G02F1/1362
  • 本发明公开了一种硅基液晶显示芯片制造方法及硅基液晶显示芯片,方法包括:在衬底上淀积第一介电层;刻蚀第一介电层形成第一开口结构;淀积第一金属层填充第一开口结构形成焊盘通孔塞,刻蚀第一金属层形成焊盘结构;在第一金属层上淀积第二介电层和第三介电层;刻蚀第三介电层形成第二开口结构;刻蚀第一介电层和第二介电层,形成第三开口结构;淀积第二金属层填充第三开口结构和第二开口结构,形成像素电极通孔塞和像素电极结构;刻蚀第三介电层和第二介电层露出焊盘结构,完成硅基液晶显示芯片的制造。本发明可以使芯片焊盘结构位置低于像素电极位置,芯片整体平整度得到大幅度提高,从而可以精确控制液晶厚度,提高硅基液晶显示芯片性能。
  • 液晶显示芯片制造方法

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